JP2003185472A - アブソリュートエンコーダおよびその絶対値信号生成処理方法 - Google Patents
アブソリュートエンコーダおよびその絶対値信号生成処理方法Info
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Abstract
期、伝送方法に依存しない連続した補間絶対値信号を生
成できるアブソリュートエンコーダおよびその絶対値信
号生成処理方法を提供する。 【解決手段】 アブソリュートエンコーダにおいて、絶
対値信号生成部6で一定の周期ごとに生成される絶対値
信号を記憶する第1メモリ23と、第1メモリ23に入
力された絶対値信号の一周期前に生成された絶対値信号
を記憶する第2メモリ24と、第1メモリ23で記憶さ
れた絶対値信号と第2メモリ23で記憶された一周期前
に生成された絶対値信号とを比較して増減量を算出する
比較演算部25と、増減量を絶対値信号の生成周期間で
等比率に分割する分割処理部26と、一周期前に生成さ
れた絶対値信号を読み込み後、分割された増減量を段階
的に加減算する補間絶対値信号生成部27と、からなる
構成にしたものである。
Description
ンコーダおよびその絶対値信号生成処理方法に関する。
ことができるアブソリュートエンコーダは図4に示すよ
うになっている。なお、従来技術、本発明ともバーニア
形のアブソリュートエンコーダを例にとって説明する。
図4は従来のバーニア型アブソリュートエンコーダの信
号処理のブロック図である。図4において、1は回転デ
ィスク、2はスリット列、3は磁気センサ、4は位相変
調部、5は位相差信号生成部、6は絶対値信号生成部、
7は発振器、8は基準信号生成部、9は変調信号生成
部、20はデータ伝送部、21はモータ、22はモータ
制御装置である。
情報が形成され、それぞれピッチ数の異なる4組のスリ
ット列2が設けられている。磁気センサ3はMR素子と
バイアス磁石で構成され、スリットピッチと等しいピッ
チの2相の正弦波を出力する。磁気センサ3からの出力
は、位相変調部4に入力され、位相信号φ0〜φ3に変
換される。各位相信号は、位相差信号生成部5へ入力さ
れ、φ1、φ2、φ3はφ0との位相差を検出し、それ
ぞれ位相差信号(φ0−φ1)、(φ0−φ2)、(φ
0−φ3)となり、絶対値信号生成部6へ入力され、位
相信号φ0の周期で間欠的に絶対値信号pを生成する。
また、この生成された絶対値信号pは、回転ディスク1
が取り付けられたモータ21を制御するために利用され
るため、モータ制御装置22にデータ伝送部20によっ
てパラレル又はシリアル伝送される(例えば、再公表特
許WO/05553号公報)。
は以下の問題があった。図5はモータフィードバック回
転角度の関係図であって、(a)はモータ制御周期と絶
対値生成周期が同期の場合、(b)はモータ制御周期と
絶対値生成周期が非同期の場合を示す。 (1)間欠的に生成された絶対値信号pを利用して、制
御対象であるモータ21を一定速度で回転させる場合
に、モータ制御装置22のモータ制御周期と絶対値生成
周期が同期していれば図5(a)に示すような速度変動
のないモータフィードバック回転角度を得られるが、同
期するためにはモータ制御装置側とエンコーダ側でタイ
ミングを合わせる必要があり、また回転ディスク1やス
リット列2の仕様変更等で絶対値生成周期が変更された
場合にモータ制御装置22側も仕様を変更する必要があ
った。 (2)また、モータ制御周期と絶対値生成周期が非同期
であると、図5(b)に示すようにモータ制御装置22
が取得したモータフィードバック回転角度が速度変動を
もった信号になり、エンコーダは、連続した補間絶対値
信号を取得することは困難であった。 (3)また、初期設定時に絶対値を読み込み、その後の
動作はインクリメンタル信号を生成し、初期絶対値信号
をインクリメントする生成方法もあるが、ノイズ等によ
る誤動作があった場合、誤差が蓄積され、絶対位置がず
れるといった問題を生じていた。
れたものであり、間欠的に一定周期で生成される絶対値
信号から、絶対値生成周期やモータ制御装置の制御周
期、伝送方法に依存しない連続した補間絶対値信号を生
成できるアブソリュートエンコーダおよびその絶対値信
号生成処理方法を提供することを目的としている。
め、請求項1の本発明は、アブソリュートエンコーダに
係るものであって、同一ピッチの位置情報が形成され、
それぞれピッチ数の異なる複数個のスリット列と、前記
スリット列と相対的に移動し、前記位置情報を検出する
複数個のセンサと、前記センサからの信号を位相信号に
変換する位相変調部と、前記位相変調信号および任意の
2個の位相信号間の位相差信号をデジタル信号に変換す
る位相差信号生成部と、前記位相差信号生成部により変
換されたデジタル信号と位相差信号に基づいて一定周期
で絶対値位置に関する信号を生成する絶対値信号生成部
と、を備えたアブソリュートエンコーダにおいて、前記
絶対値信号生成部で一定の周期ごとに生成される絶対値
信号を記憶する第1メモリと、前記第1メモリに入力さ
れた絶対値信号の一周期前に生成された絶対値信号を記
憶する第2メモリと、前記第1メモリで記憶された絶対
値信号と前記第2メモリで記憶された前記一周期前に生
成された絶対値信号とを比較して増減量を算出する比較
演算部と、前記増減量を前記絶対値信号の生成周期間で
等比率に分割する分割処理部と、前記一周期前に生成さ
れた絶対値信号を読み込み後、前記分割された増減量を
段階的に加減算する補間絶対値信号生成部と、からなる
絶対値補間機能を有するものである。
コーダの絶対値信号生成処理方法に係るものであって、
それぞれピッチ数の異なる複数個のスリット列の位置情
報を複数個のセンサにより検出し、前記センサからの信
号を位相変調部により位相信号に変換し、前記位相変調
信号および任意の2個の位相信号間の位相差信号を、位
相差信号生成部によりデジタル信号に変換し、前記位相
差信号生成部により変換されたデジタル信号と位相差信
号に基づいて一定周期で絶対値位置に関する信号を、絶
対値信号生成部により生成するアブソリュートエンコー
ダにおいて、前記絶対値信号生成部で一定の周期ごとに
生成される絶対値信号を第1メモリにより記憶し、前記
第1メモリに入力された絶対値信号の一周期前に生成さ
れた絶対値信号を第2メモリにより記憶し、前記第1メ
モリで記憶された絶対値信号と前記第2メモリで記憶さ
れた前記一周期前に生成された絶対値信号とを、比較演
算部により比較して増減量を算出し、前記増減量を分割
処理部により、前記絶対値信号の生成周期間で等比率に
分割し、前記一周期前に生成された絶対値信号を読み込
み後、補間絶対値信号生成部により前記分割された増減
量を段階的に加減算し、連続した補間絶対値信号を生成
するようにしたものである。
いて説明する。図1は本発明の実施例を示すバーニア形
アブソリュートエンコーダの信号処理ブロック図であ
る。図2は本発明の実施例を示す分割処理部の構成例で
ある。図3は本発明の実施例を示すモータフィードバッ
ク回転角度の関係図である。なお、本発明の構成要素が
従来技術と同じものについてはその説明を省略し、異な
る点のみ説明する。図1において、23は第1メモリ、
24は第2メモリ、25は比較演算部、26は分割処理
部、27は補間絶対値信号生成部である。
りである。すなわち、アブソリュートエンコーダは、絶
対値信号生成部で一定の周期ごとに生成される絶対値信
号を記憶する第1メモリ23と、第1メモリ23に入力
された絶対値信号の一周期前に生成された絶対値信号を
記憶する第2メモリ24と、第1メモリ23で記憶され
た絶対値信号と第2メモリ24で記憶された一周期前に
生成された絶対値信号とを比較して増減量を算出する比
較演算部25と、増減量を絶対値信号の生成周期間で等
比率に分割する分割処理部26と、一周期前に生成され
た絶対値信号を読み込み後、前記分割された増減量を段
階的に加減算する補間絶対値信号生成部27と、からな
る構成されている点である。
出力は、位相変調部4に入力され、位相信号φ0〜φ3
に変換される。ここでの位相信号は変調信号zをセンサ
出力で変調した定常状態では一定周期の2値信号で、基
準信号φに対する位相信号のエッジ位置が位相情報にな
る。各位相信号は、位相差信号生成部5へ入力される。
スリット2−a0からの位相信号φ0は、位相差信号生
成部5−0で、基準信号φとの位相差を検出して、位相
信号φ0となる。スリット2−a1、2−a2、2−a
3からの位相信号φ1,φ2,φ3は、φ0との位相差
を検出し、それぞれ位相差信号(φ0−φ1)、(φ0
−φ2)、(φ0−φ3)となる。位相差信号部5の出
力は、位相差信号生成部5へ入力された2つの位相信号
のエッジ間に入る発信器7のクロック数でデジタル量に
変換された信号である。これらの信号は絶対値信号生成
部6へ入力され、絶対値信号pを生成する。絶対値信号
pは、絶対値信号生成部6で一定の生成周期ごとに生成
され、絶対値信号p(n)が生成されると、絶対値信号
p(n)を第1メモリ23に記憶しておくのと同時に、
第2メモリ24に一周期前に生成された絶対値信号p
(n−1)を記憶する。比較演算部25にて、第1メモ
リ23に記憶してある絶対値信号p(n)と第2メモリ
24に記憶してある絶対値信号p(n−1)とを比較し
増減量A(n−1)を算出する。分割処理部26は増減
量A(n−1)が入力され、増減量A(n−1)が生成
周期間で等比率に分割された信号を出力する。上記分割
処理部については、図2具体的な構成例を示すが、絶対
値生成周期とモータの最大回転速度から求まる最大増減
量に必要なビット数を予め算出しておき、そのビット数
に対応するBinary Rate Multipli
er回路を用いており、絶対値生成周期ごとに増減量を
Binary Rateとしてセットし、クロック入力
として絶対値生成周期を逓倍して得られる最大増減量に
必要な逓倍クロックを使用することで、生成周期間で等
比率に配分した増減パルスが出力される。補間絶対値信
号生成部27は、第2メモリ24に記憶された一周期前
に生成された絶対値信号p(n−1)を読み込み、分割
処理部26から出力される増減量A(n−1)に対応し
た生成周期間で等比率に配分した増減パルスを使用し
て、絶対値信号p(n−1)に加減算して補間絶対値信
号を生成する。生成された補間絶対値信号はデータ伝送
部20を介してモータ制御装置22にフィードバックさ
れ、そのデータを基にモータ21を制御する。こうする
ことで、生成周期毎に間欠的に生成される絶対値信号p
は、図3に示すような連続した絶対値信号へ補間するこ
とができる。
情報が形成され、それぞれピッチ数の異なる複数個のス
リット列2と、スリット列2と相対的に移動し、該位置
情報を検出する複数個のセンサ3と、センサ3からの信
号を位相信号に変換する位相変調部4と、位相変調信号
および任意の2個の位相信号間の位相差信号をデジタル
信号に変換する位相差信号生成部5と、位相差信号生成
部5により変換されたデジタル信号と位相差信号に基づ
いて一定周期で絶対値位置に関する信号を生成する絶対
値信号生成部6と、を備えたアブソリュートエンコーダ
において、絶対値信号生成部6で一定の周期ごとに生成
される絶対値信号を記憶する第1メモリ23と、第1メ
モリ23に入力された絶対値信号の一周期前に生成され
た絶対値信号を記憶する第2メモリ24と、第1メモリ
23で記憶された絶対値信号と第2メモリ23で記憶さ
れた一周期前に生成された絶対値信号とを比較して増減
量を算出する比較演算部25と、増減量を絶対値信号の
生成周期間で等比率に分割する分割処理部26と、一周
期前に生成された絶対値信号を読み込み後、分割された
増減量を段階的に加減算する補間絶対値信号生成部27
と、からなる構成にしたので、間欠的に一定周期で生成
される絶対値信号から、絶対値生成周期やモータ制御装
置22の制御周期、伝送方法に依存しない連続した補間
絶対値信号を生成することができる。また、モータ制御
装置22のモータ制御周期と絶対値生成周期を同期させ
ることもなく、正確なモータフィードバック回転角度を
得られ、回転ディスク1やスリット列2の仕様変更等で
絶対値生成周期が変更された場合もモータ制御装置22
側の仕様も変更する必要がなく、エンコーダ処理部の変
更で対応できる。さらに、生成周期毎に間欠的に生成さ
れる絶対値信号pを生成周期毎に読み込み補間するた
め、初期設定時に絶対値を読み込み、その後の動作はイ
ンクリメンタル信号を生成し、初期絶対値信号をインク
リメントする生成する方法に比べて、ノイズ等による誤
動作があった場合でも誤差が蓄積されることがないバー
ニア型アブソリュートエンコーダが実現できるという効
果がある。なお、本実施例は、アブソリュートエンコー
ダを回転型モータに適用した例について述べたが、本実
施例に限らず、リニアモータに適用したものでも良い。
また、スリット列の位置情報を検出するセンサについて
は、磁気式の例で説明したが、磁気センサに替えて、光
学式、あるいは磁気式と光学式を併用したものであって
も構わない。
一ピッチの位置情報が形成され、それぞれピッチ数の異
なる複数個のスリット列と、スリット列と相対的に移動
し、該位置情報を検出する複数個のセンサと、センサか
らの信号を位相信号に変換する位相変調部と、位相変調
信号および任意の2個の位相信号間の位相差信号をデジ
タル信号に変換する位相差信号生成部と、位相差信号生
成部により変換されたデジタル信号と位相差信号に基づ
いて一定周期で絶対値位置に関する信号を生成する絶対
値信号生成部と、を備えたアブソリュートエンコーダに
おいて、絶対値信号生成部で一定の周期ごとに生成され
る絶対値信号を記憶する第1メモリと、第1メモリに入
力された絶対値信号の一周期前に生成された絶対値信号
を記憶する第2メモリと、第1メモリで記憶された絶対
値信号と前記第2メモリで記憶された一周期前に生成さ
れた絶対値信号とを比較して増減量を算出する比較演算
部と、増減量を絶対値信号の生成周期間で等比率に分割
する分割処理部と、一周期前に生成された絶対値信号を
読み込み後、分割された増減量を段階的に加減算する補
間絶対値信号生成部と、からなる絶対値補間機能を有す
る構成にしたため。間欠的に一定周期で生成される絶対
値信号から、絶対値生成周期やモータ制御装置の制御周
期、伝送方法に依存しない連続した補間絶対値信号を生
成できる。また、モータ制御装置のモータ制御周期と絶
対値生成周期を同期させることもなく、正確なモータフ
ィードバック回転角度を得られ、回転ディスクやスリッ
ト列の仕様変更等で絶対値生成周期が変更された場合も
モータ制御装置側も変更する必要がなく、エンコーダ処
理部の変更で対応できる。さらに、生成周期毎に間欠的
に生成される絶対値信号pを生成周期毎に読み込み補間
するため、初期設定時に絶対値を読み込み、その後の動
作はインクリメンタル信号を生成し、初期絶対値信号を
インクリメントする生成する方法に比べて、ノイズ等に
よる誤動作があった場合でも誤差が蓄積されることがな
いバーニア型アブソリュートエンコーダが実現できると
いう効果がある。
トエンコーダの信号処理のブロック図である。
る。
転角度の関係図である。
信号処理のブロック図である。
て、(a)はモータ制御周期と絶対値生成周期が同期の
場合、(b)はモータ制御周期と絶対値生成周期が非同
期の場合を示したものである。
Claims (2)
- 【請求項1】 同一ピッチの位置情報が形成され、それ
ぞれピッチ数の異なる複数個のスリット列と、 前記スリット列と相対的に移動し、前記位置情報を検出
する複数個のセンサと、 前記センサからの信号を位相信号に変換する位相変調部
と、 前記位相変調信号および任意の2個の位相信号間の位相
差信号をデジタル信号に変換する位相差信号生成部と、 前記位相差信号生成部により変換されたデジタル信号と
位相差信号に基づいて一定周期で絶対値位置に関する信
号を生成する絶対値信号生成部と、を備えたアブソリュ
ートエンコーダにおいて、 前記絶対値信号生成部で一定の周期ごとに生成される絶
対値信号を記憶する第1メモリと、 前記第1メモリに入力された絶対値信号の一周期前に生
成された絶対値信号を記憶する第2メモリと、 前記第1メモリで記憶された絶対値信号と前記第2メモ
リで記憶された前記一周期前に生成された絶対値信号と
を比較して増減量を算出する比較演算部と、 前記増減量を前記絶対値信号の生成周期間で等比率に分
割する分割処理部と、 前記一周期前に生成された絶対値信号を読み込み後、前
記分割された増減量を段階的に加減算する補間絶対値信
号生成部と、から構成されていることを特徴とするアブ
ソリュートエンコーダ。 - 【請求項2】 それぞれピッチ数の異なる複数個のスリ
ット列の位置情報を複数個のセンサにより検出し、 前記センサからの信号を位相変調部により位相信号に変
換し、 前記位相変調信号および任意の2個の位相信号間の位相
差信号を、位相差信号生成部によりデジタル信号に変換
し、 前記位相差信号生成部により変換されたデジタル信号と
位相差信号に基づいて一定周期で絶対値位置に関する信
号を、絶対値信号生成部により生成するアブソリュート
エンコーダにおいて、 前記絶対値信号生成部で一定の周期ごとに生成される絶
対値信号を第1メモリにより記憶し、 前記第1メモリに入力された絶対値信号の一周期前に生
成された絶対値信号を第2メモリにより記憶し、 前記第1メモリで記憶された絶対値信号と前記第2メモ
リで記憶された前記一周期前に生成された絶対値信号と
を、比較演算部により比較して増減量を算出し、 前記増減量を分割処理部により、前記絶対値信号の生成
周期間で等比率に分割し、 前記一周期前に生成された絶対値信号を読み込み後、補
間絶対値信号生成部により前記分割された増減量を段階
的に加減算し、 連続した補間絶対値信号を生成するようにしたことを特
徴とするアブソリュートエンコーダの絶対値信号生成処
理方法。
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JP2001389000A JP2003185472A (ja) | 2001-12-21 | 2001-12-21 | アブソリュートエンコーダおよびその絶対値信号生成処理方法 |
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JP2003185472A true JP2003185472A (ja) | 2003-07-03 |
Family
ID=19188224
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2001389000A Pending JP2003185472A (ja) | 2001-12-21 | 2001-12-21 | アブソリュートエンコーダおよびその絶対値信号生成処理方法 |
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Country | Link |
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WO2003054485A1 (fr) | 2003-07-03 |
KR20040075894A (ko) | 2004-08-30 |
US7266567B2 (en) | 2007-09-04 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A521 | Request for written amendment filed |
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