DE69617015T2

DE69617015T2 - Biegbare spiegeln und herstellungsverfahren

Info

Publication number: DE69617015T2
Application number: DE69617015T
Authority: DE
Inventors: L Hoffman; J Krisko; A Maxwell
Original assignee: Cardinal IG Co
Current assignee: Cardinal CG Co
Priority date: 1995-06-29
Filing date: 1996-06-25
Publication date: 2002-03-21
Anticipated expiration: 2016-06-26
Also published as: CA2225234A1; EP0835465A1; DK0835465T3; ATE208906T1; DE69634370T2; JP2004157556A; DE69617015D1; ATE289422T1; EP1113295B1; WO1997001775A1; MX9800059A; CA2225234C; US6142642A; EP0835465B1; DE69634370D1; JP3549896B2; ES2163642T3; EP1113295A3; JP2000501194A; EP1113295A2

Description

Die Erfindung betrifft Spiegel und insbesondere solche Spiegel, die derart hergestellt werden, daß man flache Substrate verwendet, die danach in der Hitze zu einer gewünschten gekrümmten Gestalt verformt werden.
Gekrümmte Spiegel werden im allgemeinen als Rückspiegel für Kraftfahrzeuge, als reflektierende Oberfläche für Teleskope und für dergleichen mehr verwendet. Gekrümmte Spiegel werden allgemein hergestellt, indem man zunächst eine Glasfolie oder ein anderes blatt- oder tafelartiges Substrat zu der gewünschten gekrümmten Gestalt verformt und anschließend einen reflektierenden Überzug auf eine Seite oder beide Seiten des Substrates aufbringt. Beispielsweise können gekrümmte Spiegel, wie sie beim Karneval zur Hervorbringung von amüsanten, verzerrten Spiegelungen eines Betrachters verwendet werden, dadurch hergestellt werden, daß man zunächst eine Glasfolie in die gewünschte Form bringt und anschließend eine Oberfläche des Glassubstrates mit metallischem Silber und einem darüber liegenden Schutzlack beschichtet.
Spiegel können auch hergestellt werden, indem man eine Sputtering-Technik mit Hilfe eines Magnetrons anwendet, wie beispielsweise in Chapin, US-PS 4,166,018 beschrieben. Bei Spiegeln dieses Typs kann Chrom oder Silber als reflektierende Schicht verwendet werden. Wenn gekrümmte Spiegel unter Anwendung eines Sputtering-Verfahrens mit Hilfe eines Magnetrons hergestellt werden, so werden die Glassubstrate für die Spiegel zunächst typischerweise in einer Größe zu der gewünschten Form gebogen, die für die Herstellung von zwei oder mehr Spiegeln ausreicht. Nachdem die gebogenen Glasstücke in einer Einrichtung für das absatzweise erfolgende Waschen von gekrümmten Glasteilen oder auf einem Träger in einem kontinuierlich betriebenen System gewaschen worden sind, werden sie auf einen geeigneten Träger gelegt und durch Sputtering mit Hilfe eines Magnetrons beschichtet. Zufolge der Krümmung der Substrate sind die auf diese Weise erzeugten reflektierenden Beschichtungen jedoch nicht gleichmäßig. Das Herstellungsverfahren selbst ist langwierig und zeitraubend, da es verlangt, daß zahlreiche kleine Glassusbstrate von Hand auf einen Träger gelegt werden, der durch eine Vorrichtung für das Sputtering mit Hilfe eines Magnetrons hindurchgeleitet wird, und jedes einzelne Spiegelstück wiederum von Hand von dem Träger genommen werden muß, wenn das Sputtering vollständig durchgeführt ist.
Um diese Schwierigkeiten zu vermeiden, wäre es wünschenswert, zunächst eine reflektierende Beschichtung auf eine flache Glasfolie oder ein anderes Substrat unter Ausbildung eines Spiegels mit Hilfe von Sputtering abzuscheiden und anschließend den Spiegel, wie gewünscht, zu biegen und zu zerschneiden. Jedoch tritt eine Schwierigkeit auf, wenn flache Glasfolien mit der üblichen reflektierenden Schicht unter Verwendung von beipielsweise Chrom als reflektierendem Metall beschichtet und anschließend hitzeverformt werden. Wenn die beschichteten Folien oder Platten auf eine Temperatur erhitzt werden, die ausreicht, um eine dauerhafte Verformung, d. h. das plastische Fließen des Substrates zu ermöglichen (etwa 1110 bis 1130ºF bzw. etwa 599 bis 610ºC für Glas) und das Glas verformt wird, entstehen auf den Überzügen leicht Fehlstellen, die als Grübchen bezeichnet werden können. Die Grübchen erscheinen als mit dem Auge erfaßbare kleine kreisrunde Fehlstellen mit geringer Reflexion. Die Ursache für die Entwicklung der Grübchen ist nicht völlig geklärt, jedoch glaubt man, daß ihre Entstehung eine Funktion von Spannungen ist, die während des Verformens in einem oder mehreren der durch Sputtering abgeschiedenen reflektierenden Filme, die die reflektierende Schicht bilden, entstehen.
Aus US-A-4,826,525 ist ein System zur Herstellung von gebogenem und bzw. oder angelassenem Glas, welches eine Beschichtung aus einem Metall von einer Ordnungszahl von 22 bis 29 aufweist, bekannt. Eine dünne Aluminiumbeschichtung wird auf den Metallüberzug aufgebracht, um den Verlust an wärme- und lichtreflektierenden Eigenschaften des beschichteten Glases auf ein Minimum herabzudrücken. Aus JP-A-3 191 301 ist die Verwendung einer Grundschicht aus Silicium bekannt, um einen reflektierenden Film aus Gold auf der Oberfläche eines Substrates anhaften zu lassen.
Die Erfindung betrifft einen hitzeverformbaren Spiegel, der in der Lage ist, bei erhöhten Temperaturen im wesentlichen ohne Schaden für die reflektierende Beschichtung zu einem gekrümmten Spiegel verformt zu werden.
Gegenstand der Erfindung ist ein hitzeverformbarerer Spiegel aus einem flachen Substrat, welches aufgrund von Einwirkenlassen von Wärme zum plastischen Fließen in der Lage ist, und einer auf einer Oberfläche des Substrats gebildeten, durch Sputtering abgeschiedenen reflektierenden Beschichtung, wobei der Spiegel bei erhöhter Temperatur im wesentlichen ohne Schaden für die reflektierende Beschichtung verformbar ist, und die reflektierende Beschichtung
a. eine reflektierende Schicht, die von dem Substrat weiter entfernt angeordnet ist als eine Grundschicht und durch Abscheiden eines relfektierenden, metallischen Films durch Sputtering gebildet ist, sowie
b. eine dauerhafte Schutzschicht, die von dem Substrat weiter entfernt angeordnet ist als entweder die Grundschicht oder die reflektierende Schicht, wobei die Schutzschicht eine hinreichende Sperre für den Durchtritt von Sauerstoff darstellt, um zu verhindern, daß die Reflexion des Spiegels aufgrund des Biegens in der Hitze auf weniger als 50% absinkt,
umfaßt, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundschicht durch Sputtering hergestellt ist und einen Film aus Silicium und einen aus rostfreiem Stahl umfaßt, wobei der Siliciumfilm dem Substrat näher ist als der Film aus rostfreiem Stahl.
Die reflektierende Schicht wird durch Abscheiden eines reflektierenden, metallischen Films aus beispielsweise Titan oder Aluminium mit Hilfe von Sputtering gebildet, wobei Titan bevorzugt ist.
Die Schutzschicht soll ein hinreichendes Hindernis für den Durchtritt von Sauerstoff bieten, um zu verhindern, daß die Reflexion des Spiegels aufgrund des Biegens in der Hitze auf weniger als 50% fällt.
Die Schutzschicht besteht vorzugsweise aus durch Sputtering abgeschiedenem Siliciumnitrid, durch Sputtering abgeschiedenem Aluminiumoxid oder durch Sputtering abgeschiedenem Siliciumdioxid, wobei das Siliciumnitrid bevorzugt ist.
Wenn ein hitzeverformbarer Spiegel gemäß der Erfindung bei einer Temperatur verformt wird, die oberhalb der Temperatur liegt, bei der die Schichten der reflektierenden Beschichtung abgeschieden werden, können zwischen den verschiedenen durch Sputtering abgeschiedenen Filmen eine Atomdiffusion und bzw. oder strukturelle Umlagerungen auftreten, welche die reflektierenden Eigenschaften des erzeugten gebogenen Spiegels verändern. Die hitzeverformbaren Spiegel gemäß der Erfindung behalten jedoch in großem Umfang und vorzugsweise vollständig ihre wichtigen optischen Eigenschaften (niedrige Durchlässigkeit, hohe Reflexion) bei, wenn sie auf diese Weise erhitzt und verformt werden.
In einer weiteren Ausführungsform betrifft die Erfindung einen gekrümmten Spiegel, der dadurch hergestellt ist, daß man einen hitzeverformbaren Spiegel der oben beschriebenen Art herstellt und ihn einer Wärmebehandlung bei einer Temperatur unterzieht, bei der das Substrat in der Lage ist, plastisch deformiert zu werden (beispielsweise bei der Glasübergangstemperatur im Falle eines Glassubstrates), den flachen Spiegel bei dieser Temperatur zu der gewünschten gekrümmten Gestalt verformt, um einen gekrümmten Spiegel zu erzeugen, und anschließend den gekrümmten Spiegel unter Aufrechterhaltung seiner gekrümmten Gestalt abkühlt. Der erhaltene gekrümmte Spiegel behält erwünschtermaßen mindestens etwa 100% des Reflexionsvermögens und nicht über etwa 150% der Durchlässigkeit, des hitzeverformbaren flachen Spiegels bei, aus dem er hergestellt worden ist.
Gekrümmte Spiegel gemäß der Erfindung weisen zweckmäßigerweise eine halbkugelige Reflexion von mindestens 50% (gemessen unter Verwendung eines Reflektometers und einer integrierenden Kugel über den Wellenlängenbereich von 200 bis 2600 nm) sowie eine Durchlässigkeit von nicht über etwa 4% auf. Die Reflexion wird unter Verwendung eines Reflektormeters mit einer Wolframlampe bei einer Fadentemperetur von 2854 K und einem Einfallswinkel von 25º ± 5º gemessen, wobei eine Detektorzelle, die annähernd das menschliche Auge verdoppelt, (photopische Standardkurve CIE) und eine integrierende Kugel eingesetzt werden. Zusätzlich zu den guten optischen Eigenschaften für das Spiegelerzeugnis muß der Filmstapel sowohl im flachen als auch im gebogenen Zustand mechanisch und chemisch dauerhaft sein.
Die Erfindung wird im folgenden anhand von Zeichnungen näher erläutert, worin bedeuten:
Fig. 1 einen schematischen Querschnitt durch die auf das Substrat aufgebrachten Schichten eines hitzeverformbaren Spiegels gemäß der Erfindung und
Fig. 2 eine schematische Darstellung, welche die Anwendung einer Vorrichtung für die Verformung in der Hitze zeigt.
Fig. 1 zeigt einen hitzeverformbaren Spiegel 10 gemäß der Erfindung, bei dem das flache, plattenartige Substrat 12 Glas ist. Glas ist das bevorzugte Substrat, jedoch können auch andere Substrate verwendet werden, die in der Lage sind, bei Erhitzen plastisches Fließen aufzuweisen, wie beispielsweise Kunststoff (z. B. Polymethylmethactrylat) und Metalle (z. B. Aluminium). Durch Sputtering werden auf die flache Oberfläche 20 des Substrates aufeinanderfolgend eine Grundschicht 14, eine relfektierende Schicht 16 und eine Schutzschicht 18 unter Ausbildung einer reflektierenden Beschichtung abgeschieden. Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 1 wird die Grundschicht 14 unmittelbar auf eine flache Oberfläche 20 des Substrates durch Sputtering abgeschieden. Die Grundschicht umfaßt einen Film 22 aus Silicium, der durch Sputtering auf die Glasoberläche unter Anwendung einer Sputtering-Technik mit einem Magnetron abgeschieden wird, wie aus Chapin, US-PS 4,166,018 bekannt, worauf hiermit ausdrücklich Bezug genommen wird. Der Ausdruck "Abscheiden durch Sputtering" wird im vorliegenden Fall verwendet, um Beschichtungen des Typs zu bezeichnen, der durch Sputtering mit Hilfe eines Magnetrons erzeugt wird. Die Technik des Sputterings mittels eines Magnetrons ist wohlbekannt.
Der Siliciumfilm 22 kann selbstverständlich von einem Siliciumtarget in einer Argonatmosphäre bei etwa 3mT abgeschieden werden. Der Siliciumfilm 22 kann in seiner Dicke beträchtlich schwanken, die Dicke liegt jedoch zweckmäßig zwischen 300 und etwa 1500 Å. Siliciumfilme von etwa 400 Å Dicke haben gute Ergebnisse gezeigt. Wenngleich die folgende Erklärung nicht bindend ist, scheint es so, daß die Siliciumschicht dazu neigt, die mechanischen Belastungen, die in der reflektierenden Beschichtung entstehen, wenn der hitzeverformbare Spiegel gebogen wird, zu verringern. Jedoch kann die Verwendung dickerer Siliciumfilme zu Verminderungen der Reflexion des gebogenen Spiegels führen, weshalb einige Sorgfalt darauf verwendet werden muß, die Dicke des Siliciumfilms zu steuern.
Wie in Fig. 1 gezeigt, umfaßt die Grundschicht 14 einen Film 24 aus rostfreiem Stahl, der über dem Siliciumfilm 22 abgeschieden ist. Der Film aus rostfreiem Stahl 24 dient dazu, die Durchlässigkeit der reflektierenden Beschichtung zu verringern und erhöht die Reflexion. Die Dicke der Schicht auf rostfreiem Stahl 24 kann beträchtlich variieren, liegt vorzugsweise jedoch im Bereich von etwa 50 bis 250 Å, wobei die besten Ergebnisse erzielt werden, wenn die Schicht aus rostfreiem Stahl eine Dicke von nicht etwa über 225 Å besitzt. Ein zusätzlicher Zweck des Films 24 aus rostfreiem Stahl besteht darin, daß er die Reaktion zwischen dem darunterliegenden Silicumfilm 22 und dem reflektierenden Metallfilm 16, welcher danach aufgebracht wird, inhibiert. Beispielsweise kann in Abwesenheit der Schicht 24 aus rostfreiem Stahl eine Reaktion zwischen dem Siliciumfilm 22 und dem Titanfilm 16 zur Bildung von Titansilicid führen, das die Reflexion der reflektierenden Beschichtung verringern kann.
Gemäß Fig. 1 ist eine reflektierende Schicht über der Grundschicht 14 angeordnet. Die Schicht 16 wird zweckmäßigerweise durch Sputtering-Abscheidung eines reflektierenden metallischen Films gebildet; Titan und Aluminium sind für Metalle, die für die Schicht 16 verwendet werden können typisch, wobei das bevorzugte Metall Titan ist. Die Dicke der reflektierenden Schicht 16 sollte derart sein, daß sie dem Spiegel eine Reflexion (halbkugelige Reflexion, gemessen unter Verwendung eines Reflektometers und einer integrierenden Kugel über den Wellenlängenbereich von 200 bis 2600 nm) von mindestens 50% und eine Durchlässigkeit von nicht über 4,0% verleiht. Die Reflexion erfolgt hauptsächlich von der äußeren Oberfläche 26 der Schicht 16 aus. Wie oben erwähnt, trägt die darunter befindliche Schicht aus rostfreiem Stahl zu der Reflexion bei. Vorzugsweise besteht die reflektierende Schicht 16 aus durch Sputtering abgeschiedenem metallischem Titan von einer Dicke im Bereich von 50 bis 250 Å und vorzugsweise 100 bis 250 Å, wobei eine Dicke von etwa 175 Å gute Ergebnisse liefert.
Bei 18 ist in Fig. 1 eine Schutzschicht dargestellt, die zweckmäßigerweise durch Sputtering unmittelbar auf die metallische, reflektierende Schicht 16 abgeschieden ist und aus einem mechanisch und chemisch widerstandsfähigen Material besteht, das den Durchtritt von Sauerstoff auf die darunterliegende Metallschicht oder die Metallschichten während des Biegevorganges verhindert. Die Schutzschicht verhindert zweckmäßig den Durchtritt von Sauerstoff so stark, daß während des Hitzeverformens die Reflexion nicht auf unter 50% verringert wird. Als Schutzschicht oder in der Schutzschicht können Filme aus Siliciumnitrid oder Aluminiumoxid verwendet werden, und es ist daran gedacht, auch Filme aus Siliciumdioxid dafür zu verwenden. Bevorzugt sind durch Sputtering abgeschiedene Filme aus Siliciumnitrid, deren Dicke von etwa 50 bis 150 Å reichen kann, wobei Dicken im Bereich von etwa 100 Å bevorzugt sind.
Selbstverständlich können auch andere und weitere Schichten aus durch Sputtering abgeschiedene Materialien zwischen oder auch zu beiden Seiten von Grundschicht, reflektierender Schicht und Schutzschicht angeordnet werden, vorausgesetzt, daß derartige zusätzliche Schichten nicht zu der unerwünschten Grübchenbildung oder anderen Fehlern der reflektierenden Schicht führen, wenn der Spiegel dem Hitzeverformen unterworfen wird. Beispielsweise kann rostfreier Stahl beim Substrat zugesetzt werden, um die Durchlässigkeit weiter zu erniedrigen. Dünne Aluminium- oder Silberfilme können oberhalb oder unterhalb der reflektierenden Schicht zugesetzt werden, um die Reflexion zu erhöhen. Vorzugsweise stoßen jedoch die entsprechenden Grund- reflektierenden und Schutzschichten aneinander, d. h. sie werden ohne Zwischenschichten gebildet. So wird die Grundschicht 14 vorzugsweise unmittelbar auf der flachen Oberfläche 20 eines Glas- oder anderen Substrats gebildet, und soweit die Grundschicht 14 aus Filmen 22 und 24 aus Silicium und rostfreiem Stahl gebildet wird, werden die zuletzt genannten Filme zweckmäßigerweise derart aufgebracht, daß der Film aus rostfreim Stahl 24 unmittelbar auf dem Siliciumfilm 22 durch Sputtering abgeschieden wird. Der Film 16 aus reflektierendem Metall wird zweckmäßigerweise durch Abscheiden von Titan oder Aluminium durch Sputtering unmittelbar auf die exponierte Oberfläche der Grundschicht 14 gebildet. Die Schutzschicht 18 wird analog zweckmäßigerweise unmittelbar auf die reflektierende Schicht 16 durch Sputtering aufgebracht.
Fig. 2 zeigt eine erhitzte Form, wie sie sich zur Hitzeverformung von gebogenen Glasfolien oder Glastafeln eignet. Formen diesen Typs werden für diesen Zweck herkömmlicherweise bei der Herstellung von beispielsweise gekrümmten Windschutzscheiben für Kraftfahrzeuge und gekrümmten Glasscheiben verwendet, die anschließend mit einer Spiegeloberfläche zur Verwendung als Kraftfahrzeug-Rückspiegel und dergleichen ausgerüstet werden.
Die Form besteht aus einer Matrize 40 mit einer konkaven, nach oben gerichteten Oberfläche 42 und einer Patrize 44 mit einer nach unten gerichteten konvexen Oberfläche 46. Im Betrieb werden die Formteile auf die Erweichungstemperatur von Glas erhitzt, und ein hitzeverformbarer Spiegel, wie derjenige von Fig. 1, wird auf die Oberfläche der Matrize gelegt, wobei seine reflektierende Beschichtung 28 nach unten gerichtet ist. In dem Maße, wie die flache Glastafel auf ihren Erweichungspunkt erhitzt wird, sackt sie nach unten in Übereinstimmung mit der oberen Oberfläche 42 der Form. Danach wird die Patrize 44 der Form nach unten gegen die äußere Oberfläche der Glasscheibe gedrückt und stellt eine glatte Übereinstimmung zwischen Glasscheibe und Oberfläche 42 sicher. Wenn das Verformen beendet ist, werden die Formen auf unterhalb der Glasübergangstemperatur des Spiegels 10 gekühlt, die Formteile von einander getrennt und der gebogene Spiegel entfernt. Die Betriebstemperaturen der Form liegen üblicherweise im Bereich von 1110 bis 1130ºF (etwa 599 bis 610ºC).
Die reflektierenden Beschichtungen von Spiegeln gemäß der Erfindung müssen eine beträchtliche Dauerhaftigkeit aufweisen. D. h., die Beschichtungen müssen Widerstandsfähigkeit gegenüber Abrieb, extremen Wärme- und Kälteeinwirkungen, Feuchtigkeit und Lösungsmitteln, wie beispielsweise Alkoholen und Salzsprühlösungen, aufweisen. Die Abriebfestigkeit kann gemessen werden, indem man einen normalen Bleistiftradiergummi (Blaisdell® Nr. 536T oder Äquivalent), der mit einem Kilogramm Last beladen ist, 100mal vor und zurück über eine mit Methanol gesäuberte beschichtete Oberfläche reiben läßt. Um den Test zu bestehen, darf die Beschichtung keinen wesentlichen Filmverlust oder keine wesentliche Verringerung der Reflexion zeigen. Die Haftung des durch Sputtering aufgebrachte Filmstapels an dem Substrat kann untersucht werden, indem man versucht, die Beschichtung mit einem druckempfindlichen Klebeband wie MIL-C- 48497A beschrieben, abzuziehen. Die Festigkeit gegenüber Alkohol kann untersucht werden, indem man einen Bereich auf der Beschichtung mit einem mit Isopropanol getränkten, sauberen Tuch unter Handdruck reibt. Ein Salzsprühversuch ist in ASTM B-117 beschrieben und wird 240 Stunden lang durchgeführt. Um die Widerstandsfähigkeit gegenüber Feuchtigkeit zu untersuchen, wird ein beschichtetes Probestück 500 Stunden lang in eine Feuchtigkeitskammer, die bei 45ºC und 98 bis 100% relativer Feuchtigkeit gehalten wird, exponiert. Nach jedem der oben beschriebenen Versuche werden die untersuchten Beschichtungen visuell untersucht, um etwaige Fehler festzustellen.

Beispiel 1

Unter Verwendung einer herkömmlichen Sputtering-Anlage mit einem Magnetron wurden die oberen, gesäuberten Oberflächen von flachen Glasplatten einem Sputtering von verschiedenen Targets aus in eine Reihe von aufeinanderfolgenden Zonen unterworfen, wobei die Fortbewegungsgeschwindigkeit der Glasplatten sowie die an die verschiedenen Sputtering-Einheiten mit Magnetron gelieferte elektrische Energie derart gewählt werden, daß die gewünschten Dicken der verschiedenen, durch Sputtering erzeugten Filme erzielt werden. Drei der Zonen, die anfangs von den Glasplatten erreicht werden, wurden mit Siliciumtargets und einer Argonatmosphäre ausgestattet, was zu einer Abscheidung eines Siliciumfilms durch Sputtering führte, der eine Dicke von etwa 400 Å aufwies. Die Platten gelangten danach in eine Zone, in der von einem Target aus rostfreiem Stahl rostfreier Stahl durch Sputtering bis zu einer Dicke von etwa 175 Å aufgebracht wurde. Nach der Zone mit rostfreiem Stahl gelangten die Glasplatten durch eine Zone mit einem Titantarget in einer Argonatmosphäre, wo metallisches Titan auf die Oberfläche aus rostfreiem Stahl bis zu einer Dicke von etwa 200 Å durch Sputtering aufgebracht wurde. Danach gelangten die Glasplatten nach Verlassen der Titanzone in zwei aufeinanderfolgende Zonen mit Siliciumtargets in einer Stickstoffatmospähre, wo Siliciumnitrid bis zu einer Enddicke von etwa 100 Å durch Sputtering aufgebracht wurde. Der erhaltene hitzeverformbare Spiegel wurde hinsichtlich Durchlässigkeit, Relfexion und Farbeigenschaften untersucht und anschließend im oben beschriebenen Verformungsverfahren bei einer Temperatur von etwa 1120ºF (604ºC) unterzogen. Nach Entfernen des erhaltenen gekrümmten Spiegels aus der Form wurde der Spiegel auf Beschichtungsfehler untersucht und außerdem Testen zur Bestimmung von Reflexion, Durchlässigkeit, Farbe und Dauerhaftigkeit unterworfen. Kein Schleier oder anderer physikalischer Mangel wurde beobachtet. Die Reflexion vor und nach dem Biegen betrug 57%, die Durchlässigkeit des gebogenen Spiegels betrug 2, 2% und die Reflexionsfarbkoordinaten des gebogenen Films (Hunter L,a, b-System, Illumination D 65) betrugen a = 1,22 und b = 5,80. Die Analyse des Endproduktes zeigte eine gewisse Diffusion von Eisen und Chrom aus der Schicht aus rostfreiem Stahl in die Siliciumschicht unter Bildung von Siliciden ohne schädliche Wirkung auf den Spiegel.

Claims

1. Hitzeverformbarer Spiegel (10) aus einem flachen Substrat (12), welches aufgrund von Einwirkenlassen von Wärme zum plastischen Fließen in der Lage ist, und einer auf einer Oberfläche des Substrats (12) gebildeten, durch Sputtering abgeschiedenen reflektierenden Beschichtung (28) aus

a) einer reflektierenden Schicht (16), die von dem Substrat weiter entfernt angeordnet ist als eine Grundschicht (14) und durch Abscheiden eines reflektierenden metallischen Films durch Sputtering gebildet ist, sowie

b) einer dauerhaften Schutzschicht (18), die von dem Substrat (12) weiter entfernt angeordnet ist als entweder die Grundschicht (14) oder die reflektierende Schicht (16),

dadurch gekennzeichnet, daß die Grundschicht (14) durch Sputtering hergestellt ist und einen Film aus Silicium und einen aus rostfreiem Stahl (22, 24) umfaßt, wobei der Siliciumfilm (22) dem Substrat (12) näher ist als der Film aus rostfreiem Stahl (24), daß der Spiegel (10) bei erhöhter Temperatur im wesentlichen ohne Schaden für die reflektierende Beschichtung verformbar ist und die Schutzschicht (18) eine hinreichende Sperre für den Durchtritt von Sauerstoff darstellt, um zu verhindern, daß die Reflexion des Spiegels aufgrund des Biegens in der Hitze auf weniger als 50% absinkt.

2. Spiegel gemäß Anspruch 1, wobei die dauerhafte Schutzschicht (18) Siliciumnitrid, Aluminiumoxid oder Siliciumoxid enthält.

3. Spiegel gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die reflektierende Schicht (16) aus durch Sputtering abgeschiedenem Titan oder Aluminium besteht.

4. Spiegel gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die reflektierende Schicht (16) aus durch Sputtering abgeschiedenem, metallischem Titan von 50 bis 250 Å Dicke besteht.

5. Spiegel gemäß Anspruch 4, wobei der Titanfilm (16) nicht dicker als etwa 225 Å ist.

6. Spiegel gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Siliciumfilm (22) eine Dicke von 300 bis 1500 Å aufweist.

7. Spiegel gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, der zwischen dem Siliciumfilm (22) und der reflektierenden Schicht (16) einen durch Sputtering abgeschiedenen Film aus rostfreiem Stahl von einer Dicke von 50 bis 250 Å aufweist.

8. Spiegel gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Substrat (12) aus Glas besteht.

9. Spiegel gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die entsprechenden Filme Dicken aufweisen, die dazu führen, daß die reflektierende Beschichtung eine Durchlässigkeit von nicht über etwa 4% und eine Reflexion von nicht unter etwa 50% aufweist.

10. Verfahren zur Herstellung eines gekrümmten Spiegels, wobei man einen Spiegel (10) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche auf eine Temperatur erhitzt, bei der das Substrat zur plastischen Verformbarkeit in der Lage ist, den Spiegel (10) bei dieser Temperatur zu einer gewünschten gekrümmten Gestalt biegt und den Spiegel (10) während des Aufrechterhaltens der gebogenen Gestalt abkühlt.

11. Hitzeverformter, gekrümmter Spiegel (10) mit einer Reflexion von mindestens 50% und mit einem gekrümmten Substrat (12) sowie einer durch Sputtering abgeschiedenen reflektierenden Beschichtung (28) auf einer Oberfläche des Substrats (12), wobei die reflektierende Beschichtung (28)

a) eine reflektierende Schicht (16), die von dem Substrat weiter entfernt angeordnet ist als eine Grundschicht (14) und durch Abscheiden eines reflektierenden metallischen Films durch Sputtering gebildet ist, sowie

b) eine dauerhafte Schutzschicht (18), die von dem Substrat (12) weiter entfernt angeordnet ist als entweder die Grundschicht (14) oder die reflektierende Schicht (16), umfaßt,

dadurch gekennzeichnet, daß die Grundschicht (14) durch Sputtering hergestellt ist und einen Film aus Silicium und einen aus rostfreiem Stahl (22, 24) umfaßt, wobei der Siliciumfilm (22) dem Substrat (12) näher ist als der Film aus rostfreiem Stahl (24), und daß die Schutzschicht (18) eine hinreichende Sperre für den Durchtritt von Sauerstoff darstellt, um zu verhindern, daß die Reflexion des Spiegels aufgrund des Biegens in der Hitze auf weniger als 50% absinkt.