DE4217705A1 - Verfahren und Einrichtung zur Materialbearbeitung mittels eines Hochenergie-Laserstrahles sowie Verwendungen dieser Einrichtung - Google Patents
Verfahren und Einrichtung zur Materialbearbeitung mittels eines Hochenergie-Laserstrahles sowie Verwendungen dieser EinrichtungInfo
- Publication number
- DE4217705A1 DE4217705A1 DE4217705A DE4217705A DE4217705A1 DE 4217705 A1 DE4217705 A1 DE 4217705A1 DE 4217705 A DE4217705 A DE 4217705A DE 4217705 A DE4217705 A DE 4217705A DE 4217705 A1 DE4217705 A1 DE 4217705A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- focus
- focusing
- mirror surface
- beam divergence
- laser beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 11
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 8
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 4
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims description 3
- 239000003518 caustics Substances 0.000 claims description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 abstract description 7
- 238000003466 welding Methods 0.000 abstract description 6
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 210000003608 fece Anatomy 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/04—Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
- B23K26/046—Automatically focusing the laser beam
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
- B23K26/0643—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising mirrors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/0665—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by beam condensation on the workpiece, e.g. for focusing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/50—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece
- B23K26/53—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece for modifying or reforming the material inside the workpiece, e.g. for producing break initiation cracks
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren gemäß dem Oberbegriff des Anspruches
1 und eine Einrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 4 sowie
deren Verwendungen für neuartige Laserstrahl-Bearbeitungsvorgänge.
Die gattungsgemäßen Maßnahmen sind Gegenstand der eigenen älteren Anmel
dung P 41 08 419.5 vom 15. März 1991. Dort ist in möglichst großem Abstand
von einer fliegenden Bearbeitungsoptik, dem sogenannten Fokussierkopf,
und damit möglichst dicht hinter der Strahlquelle ein sphärischer
Spiegel mit einstellbarer Krümmung seiner kugelkappenähnlichen mittle
ren Spiegelfläche vorgesehen, um durch gesteuerte Veränderung der
Strahldivergenz trotz betriebszeitabhängiger Verlagerung der Strahl
taille vor der Strahlquelle und trotz unterschiedlich langer Strahl
wege bis zur Fokussieroptik eine möglichst konstant große Ausleuchtung
der Fokussieroptik und dadurch eine konstante optimale Fokusfleck
geometrie auch dann zu erzielen, wenn sich beispielsweise längs
langer Schneidstrecken die Strahlweglänge stark ändert.
Vorliegender Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, weitere Optimierungs-
und Anpassungsmöglichkeiten der Laserstrahl-Bearbeiung im Hinblick
auf die Materialien und die Stärken der zu bearbeitenden Werkstücke
zu eröffnen.
Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß im wesentlichen dadurch gelöst,
daß die gattungsbildenden Maßnahmen nach dem jeweiligen Kennzei
chnungsteil des Anspruches 1 bzw. des Anspruches 4 weitergebildet
sind und diese Einrichtung insbesondere nach Anspruch 10 oder 11
verwendet wird.
Mit dieser Anordnung eines deformierbaren sphärischen Spiegels mög
lichst dicht vor der Fokussieroptik (möglichst sogar integriert
in den Bearbeitungskopf unter Ersatz eines sonst dort vorgesehenen
Umlenkspiegels) kann wegen minimaler Strahlweglänge zur Fokussieroptik
trotz großer Divergenzänderung deren Ausleuchtung und damit die
Strahlkaustik praktisch konstant gehalten und zugleich die wirksame
Lage des Fokus vor der Fokussierkopf-Düse in weiten Grenzen einge
stellt werden. Eine solche variable Fokusverschiebung stellt eine
vorteilhafte Ergänzung für Arbeitskopf-Düsen dar, die der prozeß
unterstützenden Arbeitsgaszufuhr an der Wechselwirkungsstelle dienen
und einen möglichst großen Arbeitsabstand zum Düsenausgang bei gleich
zeitig großem Arbeitsbereich und großem Durchmesser des Düsenausgangs
für den Laserstrahl aufweisen, wie im Falle von z. B. Zweistrahl-
Lavaldüsen. Wegen der einstellbaren Fokuslage können sich Abstands
regelungen zwischen Arbeitskopf und Werkstück künftig erübrigen.
Aus gleichem Grund kann ein Wechsel von Düsen oder von Fokussier
optiken in Abhängigkeit von verschiedenen Bearbeitungsaufgaben weit
gehend entfallen, da eine Anpassung an die aktuelle Bearbeitungs
aufgabe schon durch die Fokuslage möglich wird. So kann nun mit
demselben Bearbeitungskopf wahlweise getrennt oder geschweißt werden,
da die Fokuslage je nach geforderter Einwirkungsart und Tiefe ver
stellbar ist.
Besonders vorteilhaft ist die nach der Erfindung sich ergebende
Möglichkeit einer periodischen Verschiebung der wirksamen Fokuslage
durch variable Strahldivergenz unmittelbar vor der Fokussieroptik.
Die daraus resultierende kontinuierliche Auf- und Abbewegung des
wirksamen Brennfleckes, die dank des Piezoelektrischen-Aktuators im
Zentrum hinter der verwölbbaren Spiegelfläche mit vergleichsweise
hoher Frequenz realisierbar ist, erlaubt eine Materialbearbeitung
auf der Stelle mit großer Tiefenschärfe und damit Schneid- oder
Schweißvorgänge auch über sehr große Materialstärken. Durch Über
lagerung von Fokuslagenshift und Vorschubbewegung lassen sich zeit
lich veränderliche Mechanismen in der Strahl-Werkstoff-Wechselwirkung
erzielen. Dies läßt sich u. a. zum Laserstrahlschneiden dicker Bleche
ausnutzen. Eine periodische Verlagerung des Fokus bewirkt eine Art
Sägewirkung. Die Anwendung der vertikalen Fokuspunktverlagerung beim
Laserstrahlschweißen kann je nach zeitlichem Verlauf der Oszillations
frequenz zu einer gezielten Beeinflussung der Schweißnahtgeometrie
(z. B. Steppnähte) oder ihrer anderen Parameter (Einschweißtiefe,
Schweißnahtbreite) ausgenützt werden.
Beim Bearbeiten konturierter bzw. profilierter Werkstückoberflächen
ist ein Einhalten des für den Prozeß optimalen Abstand Düse-Blech
und damit der Fokuslage bzgl. dem Werkstück aufgrund von Kollisions
gefahr bzw. begrenzter Dynamik mechanischer Nachführachsen häufig
nicht möglich. Durch Nachführen des Fokus mittels eines deformierbaren
Spiegels läßt sich hierdurch dennoch ein gleichbleibendes Bearbeitungs
ergebnis erzielen.
Zusätzliche Alternativen und Weiterbildungen sowie weitere Merkmale
und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den weiteren Ansprüchen
und, auch unter Berücksichtigung der Darlegungen in der Zusammenfas
sung, aus nachstehender Beschreibung eines in der Zeichnung unter
Beschränkung auf das Wesentliche stark abstrahiert aber angenähert
maßstabsgerecht skizzierten bevorzugten Realisierungsbeispiels zur
erfindungsgemäßen Lösung. In der Zeichnung zeigt:
Fig. 1 einen Axial-Längsschnitt durch einen kompakten Laser-Fokussier
kopf mit adaptierter prozeßoptimierender Optik und
Fig. 2 in vergrößerter Darstellung die Wirkung der Brennfleck-Ver
schiebung vor dem Düsenaustritt des Fokussierkopfes nach Fig. 1.
Der in der Zeichnung skizzierte Fokussierkopf 11 wird mit einem
Laserstrahl 12 beschickt, der vor seinem Austritt durch die Düse
13 eine, vorzugsweise reflektive, Fokussieroptik 14 mit vergleichs
weise großer Brennweite f2 passiert. Der Fokus F liegt je nach dem
zu vollziehenden Bearbeitungsvorgang an der oder dicht unter der,
der Düse 13 zugewandten, Oberfläche 15 eines metallenen Werkstückes
16.
Im Strahlengang kurz vor der Fokussieroptik 14 und somit wie darge
stellt möglichst noch innerhalb des Fokussierkopfes 11 ist eine
variable Optik 17 mit sphärisch deformierbarer Spiegeloberfläche
18 in Form z. B. einer reflektierenden Metallplatte angeordnet,
hinter deren Zentrum ein elektrisch ansteuerbarer Aktuator 19 ein
gespannt ist, der vorzugsweise als vorgespannter Stapel aus piezo
elektrischen Elementen erstellt ist. Die mittlere Brennweite f1
der kugelkappenförmig auswölbbaren Spiegeloberfläche 18 ist sehr
groß im Vergleich zur festen Brennweite f2 der Fokussieroptik 14.
Damit läßt sich die wirksame Lage des Fokus F . . . F′ in der Praxis
um mehrere Millimeter in Abstrahlrichtung 20 verschieben. Der Fokushub
dF ist also abhängig von der momentanen Brennweite f1 und damit
vom Aktuatorhub h, der seinerseits eine Funktion der Steuerspannung
u aus einer Spannungsquelle 21 ist.
Über die Steuerspannung u kann die Lage des Fokus F . . . F′ am oder im
Werkstück 16 so eingestellt werden, daß mit derselben Einrichtung
wahlweise verschiedene Bearbeitungsverfahren an unterschiedlichen
Werkstoffen prozeßoptimiert durchführbar werden. So lassen sich
z. B. mit derselben Einstellung ein Schneid- und ein Schweißvorgang
auch an verschiedenen Materialien durchführen, so daß eine echte
Prozeßoptimierung über die variable Optik 17 ermöglicht ist. Die
axiale Fokusverlagerung paßt zugleich die Zufuhr eines prozeßun
terstützenden Arbeitsgases an. Wenn die Spannungsquelle 21 eine
periodisch schwankende Steuerspannung u liefert, dann wird der
Fokus F . . . F′ kontinuierlich auf und ab bewegt. Damit kann beim
Schweißen eine wünschenswerte Tiefenwirkung erzielt werden, während
das Schneiden unter Vorschub des Werkstückes 16 relativ zur Düse 13
eine Art Sägeeffekt hervorruft, indem die Zonen des aufwärts
und abwärts verschobenen Brennfleckes in aufeinanderfolgend be
nachbarte Materialbereiche verlagert werden. Diese pulsierende
Brennfleck-Lage führt dazu, daß das angeschmolzene Material nicht
mehr am unteren Ende des Werkstückes 16 verklebt, sondern förm
lich ausgeblasen wird, was eine durchgehend große Schnittbreite
auch noch in sehr dicken Blechen erbringt. So ist es durch diesen
Sägeeffekt möglich, Dickbleche in der Größenordnung von beispielsweise
20 mm mit einem 2-kW-Laser eindeutig zu trennen, was mit der her
kömmlichen Konstanthaltung oder Nachführung des Brennflecks in der
Nähe der Werkstück-Oberfläche 15 überhaupt nicht realisierbar ist.
Claims (11)
1. Verfahren zur Materialbearbeitung mittels eines Hochenergie-
Laserstrahles, dessen Strahldivergenz vor seiner Fokussierung
über einen deformierbaren Spiegel beeinflußbar ist,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Aufweitung der Strahldivergenz so dicht vor der Strahl
fokussierung erfolgt, daß bei im wesentlichen konstantbleibender
Strahlkaustik die axiale Fokuslage verändert wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
gekennzeichnet durch eine periodische Veränderung der Strahl
divergenz.
3. Verfahren nach Anspruch 2,
gekennzeichnet durch eine Überlagerung von Vorschub- und Fokus
lagebewegungen am oder im Werkstück.
4. Einrichtung zur Materialbearbeitung mittels eines Hochenergie-
Laserstrahles, die im Strahlengang vor ihrer Fokussieroptik (14)
mit einer variablen Optik (17) zur Beeinflussung der Strahldiver
genz ausgestattet ist,
dadurch gekennzeichnet,
daß die variable Optik (17) eine auswölbbare Spiegeloberfläche
(18) dicht vor der Fokussieroptik (14) aufweist.
5. Einrichtung nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß die variable Optik (17) unter Ersatz eines Umlenkspiegels
im Fokussierkopf (11) angeordnet ist.
6. Einrichtung nach Anspruch 4 oder 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß ein vorgespannter piezoelektrischer Aktuator (19) im Zentrum
hinter der Spiegeloberfläche (18) zur Einstellung der wirksamen
Lage des Fokus (F,F′) aus einer Spannungsquelle (21) ansteuerbar
ist.
7. Einrichtung nach Anspruch 6,
gekennzeichnet durch eine periodische Steuerspannung (u) für
periodische Verlagerung des Fokus (F . . . F′).
8. Einrichtung nach einen der Ansprüche 4 bis 7,
gekennzeichnet durch Anpassung des Fokussierkopfes (11) an eine
Materialbearbeitungsaufgabe über Ansteuerung seiner variablen
Optik (17).
9. Einrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 8,
gekennzeichnet durch ihren Einsatz zusammen mit einer Düse für
prozeßunterstützende Gaszuführung an die Wechselwirkungsstelle
der aktuellen Fokuslage.
10. Verwendung einer Einrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 9
zum Bearbeiten von Dickblech durch Überlagerung von Vorschub-
und Füge-, Abtrag- oder Trennbewegungen aufgrund Relativbewe
gung des Werkstückes quer zur Oszillationsbewegung des Fokus.
11. Verwendung einer Einrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 9
zum Erzielen eines gleichmäßigen Bearbeitungsergebnisses beim
Bearbeiten auch konturierter bzw. profilierter Werkstückober
flächen ohne Düsen-Nachführung bzw. Abstandsregelungen.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4217705A DE4217705C2 (de) | 1992-06-01 | 1992-06-01 | Einrichtung zur Materialbearbeitung |
DE9218664U DE9218664U1 (de) | 1992-06-01 | 1992-06-01 | Einrichtung zur Materialbearbeitung mittels eines Hochenergie-Laserstrahles |
CH01607/93A CH687132A5 (de) | 1992-06-01 | 1993-05-28 | Verfahren und Einrichtung zur Material- bearbeitung mittels eines Laserstrahles sowie Verwendungen dieser Einrichtung. |
IT93MI001115A IT1264513B1 (it) | 1992-06-01 | 1993-05-28 | Procedimento e dispositivo per la lavorazione di materiali per mezzo di un raggio laser ad alta energia, nonche' applicazioni di tale |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4217705A DE4217705C2 (de) | 1992-06-01 | 1992-06-01 | Einrichtung zur Materialbearbeitung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4217705A1 true DE4217705A1 (de) | 1993-12-02 |
DE4217705C2 DE4217705C2 (de) | 1995-04-20 |
Family
ID=6459940
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4217705A Expired - Lifetime DE4217705C2 (de) | 1992-06-01 | 1992-06-01 | Einrichtung zur Materialbearbeitung |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
CH (1) | CH687132A5 (de) |
DE (1) | DE4217705C2 (de) |
IT (1) | IT1264513B1 (de) |
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4420347A1 (de) * | 1994-06-01 | 1995-12-07 | Laser Micro Praezision Lmp | Verfahren und Vorrichtung zum Abgleich von elektronischen Bauelementen |
DE4424492A1 (de) * | 1994-07-12 | 1996-01-25 | Diehl Gmbh & Co | Anordnung zur Werkstückbearbeitung mittels eines auf einen Brennfleck fokussierbaren Lasers |
US5777807A (en) * | 1994-06-17 | 1998-07-07 | Diehl Gmbh & Co. | Deformable mirror, in particular for a laser beam material machining apparatus |
EP1093881A2 (de) * | 1999-10-22 | 2001-04-25 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Laserschneidverfahren |
DE19947104C2 (de) * | 1998-09-30 | 2003-09-25 | Suzuki Motor Co | Verfahren und Einrichtung zum Laserschweißen |
EP1491279A1 (de) * | 2003-06-27 | 2004-12-29 | Schuler Held Lasertechnik GmbH & Co. KG | Multifokales Schweissverfahren und Schweisseinrichtung |
US7348517B2 (en) * | 2004-08-05 | 2008-03-25 | Fanuc Ltd | Laser cutting apparatus with a high quality laser beam |
EP1918062A1 (de) * | 2006-10-30 | 2008-05-07 | Danmarks Tekniske Universitet | Verfahren und System zur Laserverarbeitung |
WO2008052547A1 (en) * | 2006-10-30 | 2008-05-08 | Univ Danmarks Tekniske | Method and system for laser processing |
EP1695786B1 (de) * | 2005-02-25 | 2010-03-10 | Trumpf Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG | Anordnung zur Laserbearbeitung, insbesondere zum Laserschweissen von 3D-Bauteilen, mit einem ersten optischen Element zur Aufteilung eines Laserstrahles und einem zweiten optischen Element zur Fokusierung der Teilstrahlen |
DE102005019358B4 (de) * | 2004-04-27 | 2012-03-29 | Disco Corp. | Laserstrahl-Bearbeitungsmaschine |
DE102010049453A1 (de) * | 2010-10-23 | 2012-04-26 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg | Hochdynamisch translatorisch bewegbare Einrichtung zur Zusammenführung einer energetischen Strahlwirkung und eines Hilfsmediums an einem Wirkpunkt |
US8212177B2 (en) * | 2007-08-15 | 2012-07-03 | Caterpillar Inc. | Variable focus laser machining system |
CN102658431A (zh) * | 2012-05-18 | 2012-09-12 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种自动诊断并校正激光光束发散角及光束质量的装置 |
KR20130029719A (ko) * | 2011-09-15 | 2013-03-25 | 가부시기가이샤 디스코 | 레이저 가공 장치 |
DE102013225490A1 (de) * | 2013-12-10 | 2015-06-11 | Siemens Aktiengesellschaft | Oszillierendes Schweißverfahren |
EP2366486A3 (de) * | 2010-03-18 | 2016-12-21 | JENOPTIK Automatisierungstechnik GmbH | Vorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstückes mittels ablenkbarem Laserstrahl |
CN112122774A (zh) * | 2020-08-12 | 2020-12-25 | 深圳市圭华智能科技有限公司 | 一种压电促动器实时焦点跟踪系统 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19516376C2 (de) * | 1995-05-04 | 1998-12-03 | Blz Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Kontrolle und Regelung der Brennfleckposition bei der Lasermaterialbearbeitung |
JP3514129B2 (ja) * | 1998-07-22 | 2004-03-31 | スズキ株式会社 | レーザ加工装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3916264A1 (de) * | 1989-05-18 | 1990-11-22 | Diehl Gmbh & Co | Einrichtung zur strahlfuehrung bei der laser-werkstueckbearbeitung |
DE4108419A1 (de) * | 1991-03-15 | 1992-09-17 | Diehl Gmbh & Co | Einrichtung zur strahlbeeinflussung bei der werkstueckbearbeitung mit einem hochenergielaserstrahl |
-
1992
- 1992-06-01 DE DE4217705A patent/DE4217705C2/de not_active Expired - Lifetime
-
1993
- 1993-05-28 IT IT93MI001115A patent/IT1264513B1/it active IP Right Grant
- 1993-05-28 CH CH01607/93A patent/CH687132A5/de not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3916264A1 (de) * | 1989-05-18 | 1990-11-22 | Diehl Gmbh & Co | Einrichtung zur strahlfuehrung bei der laser-werkstueckbearbeitung |
DE4108419A1 (de) * | 1991-03-15 | 1992-09-17 | Diehl Gmbh & Co | Einrichtung zur strahlbeeinflussung bei der werkstueckbearbeitung mit einem hochenergielaserstrahl |
Non-Patent Citations (4)
Title |
---|
HOFFMANN, P., u.a.: "Processoptimizing adaptive optics for the beau delivay of high power CO¶2¶ lasers", in: "Proc SPIE 1834", 1993, S. 195-205 * |
JP 3-174 995 A. In: "Patents abstracts of Japan", 1991, Vol. 15/No. 414, Sec. M-1171 * |
JP 3-248 793 A. In: "Patents abstracts of Japan", 1992, Vol. 16/N. 44, Sec. M-1207 * |
JP 61-199 591 A. In: "Patents abstracts of Japan", 1987, Vol. 11/No. 28, Sec. M-557 * |
Cited By (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4420347A1 (de) * | 1994-06-01 | 1995-12-07 | Laser Micro Praezision Lmp | Verfahren und Vorrichtung zum Abgleich von elektronischen Bauelementen |
US5777807A (en) * | 1994-06-17 | 1998-07-07 | Diehl Gmbh & Co. | Deformable mirror, in particular for a laser beam material machining apparatus |
DE4424492A1 (de) * | 1994-07-12 | 1996-01-25 | Diehl Gmbh & Co | Anordnung zur Werkstückbearbeitung mittels eines auf einen Brennfleck fokussierbaren Lasers |
DE19947104C2 (de) * | 1998-09-30 | 2003-09-25 | Suzuki Motor Co | Verfahren und Einrichtung zum Laserschweißen |
EP1093881A2 (de) * | 1999-10-22 | 2001-04-25 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Laserschneidverfahren |
EP1093881A3 (de) * | 1999-10-22 | 2004-07-21 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Laserschneidverfahren |
EP1491279A1 (de) * | 2003-06-27 | 2004-12-29 | Schuler Held Lasertechnik GmbH & Co. KG | Multifokales Schweissverfahren und Schweisseinrichtung |
DE102005019358B4 (de) * | 2004-04-27 | 2012-03-29 | Disco Corp. | Laserstrahl-Bearbeitungsmaschine |
US7348517B2 (en) * | 2004-08-05 | 2008-03-25 | Fanuc Ltd | Laser cutting apparatus with a high quality laser beam |
EP1695786B1 (de) * | 2005-02-25 | 2010-03-10 | Trumpf Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG | Anordnung zur Laserbearbeitung, insbesondere zum Laserschweissen von 3D-Bauteilen, mit einem ersten optischen Element zur Aufteilung eines Laserstrahles und einem zweiten optischen Element zur Fokusierung der Teilstrahlen |
US9044824B2 (en) | 2006-10-30 | 2015-06-02 | Flemming Ove Olsen | Method and system for laser processing |
WO2008052547A1 (en) * | 2006-10-30 | 2008-05-08 | Univ Danmarks Tekniske | Method and system for laser processing |
EP1918062A1 (de) * | 2006-10-30 | 2008-05-07 | Danmarks Tekniske Universitet | Verfahren und System zur Laserverarbeitung |
US8212177B2 (en) * | 2007-08-15 | 2012-07-03 | Caterpillar Inc. | Variable focus laser machining system |
EP2366486A3 (de) * | 2010-03-18 | 2016-12-21 | JENOPTIK Automatisierungstechnik GmbH | Vorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstückes mittels ablenkbarem Laserstrahl |
DE102010049453A1 (de) * | 2010-10-23 | 2012-04-26 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg | Hochdynamisch translatorisch bewegbare Einrichtung zur Zusammenführung einer energetischen Strahlwirkung und eines Hilfsmediums an einem Wirkpunkt |
CN102990223B (zh) * | 2011-09-15 | 2016-02-10 | 株式会社迪思科 | 激光加工装置 |
KR20130029719A (ko) * | 2011-09-15 | 2013-03-25 | 가부시기가이샤 디스코 | 레이저 가공 장치 |
CN102990223A (zh) * | 2011-09-15 | 2013-03-27 | 株式会社迪思科 | 激光加工装置 |
KR101941291B1 (ko) * | 2011-09-15 | 2019-01-22 | 가부시기가이샤 디스코 | 레이저 가공 장치 |
CN102658431A (zh) * | 2012-05-18 | 2012-09-12 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种自动诊断并校正激光光束发散角及光束质量的装置 |
CN102658431B (zh) * | 2012-05-18 | 2014-09-03 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种自动诊断并校正激光光束发散角及光束质量的装置 |
DE102013225490A1 (de) * | 2013-12-10 | 2015-06-11 | Siemens Aktiengesellschaft | Oszillierendes Schweißverfahren |
CN112122774A (zh) * | 2020-08-12 | 2020-12-25 | 深圳市圭华智能科技有限公司 | 一种压电促动器实时焦点跟踪系统 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ITMI931115A1 (it) | 1994-11-28 |
ITMI931115A0 (it) | 1993-05-28 |
DE4217705C2 (de) | 1995-04-20 |
CH687132A5 (de) | 1996-09-30 |
IT1264513B1 (it) | 1996-09-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE4217705A1 (de) | Verfahren und Einrichtung zur Materialbearbeitung mittels eines Hochenergie-Laserstrahles sowie Verwendungen dieser Einrichtung | |
DE102008022014B3 (de) | Dynamische Strahlumlenkung eines Laserstrahls | |
DE3916264C2 (de) | ||
WO2022037797A1 (de) | Verfahren zur herstellung mindestens eines werkstückteils und eines restwerkstücks aus einem werkstück | |
DE10261422B4 (de) | Laserschweiß- und lötverfahren sowie Vorrichtung dazu | |
DD288933A5 (de) | Verfahren zur lasermaterialbearbeitung mit dynamischer fokussierung | |
DE10340931A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Bohren feinster Löcher | |
EP1832377B1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Schweißen eines Werkstückes | |
DE10309157B4 (de) | Verfahren zum Laserschweißen beschichteter Platten | |
EP2543451B1 (de) | Vorrichtung zum Fügen von Werkstücken | |
DE102009047995B3 (de) | Verfahren zur gratfreien trennenden Bearbeitung von Werkstücken | |
DE102013215346A1 (de) | Verfahren zum Laserentschichten von beschichteten Blechen und zugehörige Laserentschichtungsanlage | |
DE3344709A1 (de) | Verfahren zum entgraten von metallischen werkstueckraendern | |
DE102004005358B4 (de) | Verfahren zur Laserbearbeitung beschichteter Bleche und beschichtetes Blech | |
DE19902909A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Bearbeiten von Werkstücken mit Laserstrahlung | |
DE9218664U1 (de) | Einrichtung zur Materialbearbeitung mittels eines Hochenergie-Laserstrahles | |
DE19630521A1 (de) | Verfahren zum nebenzeitlosen Laser-Schweißen von Werkstücken in einer Fertigungslinie und Vorrichtung zur Durchführung desselben | |
EP4217141A1 (de) | Verfahren zum laserschneiden | |
DE19604205A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Fügen von Werkstücken durch Laserstrahlung | |
DE10322449B3 (de) | Verfahren zum Laserschweissen beschichteter Platten | |
DE10304709A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Laser-Hybridschweißen | |
DE102007059610A1 (de) | Laserbearbeitungskopf | |
DE3717960A1 (de) | Vorrichtung fuer das schweissen mit einem einen laserstrahl aussendenden laser | |
DE102018214742A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Lasermaterialbearbeitung eines Werkstücks mittels Photonenimpuls | |
DE102017105900A1 (de) | Verfahren zum stirnseitigen Laserschweißen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: DIEHL STIFTUNG & CO., 90478 NUERNBERG, DE |
|
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: DIEHL STIFTUNG & CO.KG, 90478 NUERNBERG, DE Owner name: BLZ BAYERISCHES LASERZENTRUM GEMEINNUETZIGE FO, DE |
|
R071 | Expiry of right | ||
R071 | Expiry of right |