DE4142272A1 - Verfahren zum halten einer platte, plattentraeger und plattenmontagevorrichtung mit dem plattentraeger - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Halten einer Platte, einen Plattenträger und eine Plattenmontagevorrichtung mit einem Plattenträger zum Auflegen eines Kunststoffbandes auf die Platte.

Eine Anzahl von Halbleiterelementen wird in Längs- und in Quer­ richtung von einer Platte - auch wafer genannt abgelangt. Beim Abtrennen der Halbleiterelemente von der Platte wird ein Kunststoff­ band vor dem Trennen der Platte auf die Rückseite der Platte aufge­ legt, so saß sich die abgetrennten Halbleiterelemente nicht vorzeitig losen. Das Auflegen des Bandes erfolgt automatisch mit Hilfe einer sogenannten Tischmontagevorrichtung.

Die Tischmontagevorrichtung ist in der Regel folgendermaßen kon­ struiert. Ein Platteneinzug zieht eine Platte nach der anderen von einer Plattenstapeleinspannvorrichtung ein, und nach dem Ausrichten der Platte mit Hilfe eines Plattenausrichters wird die Platte von einer Plattentransportvorrichtung so in eine Bandauftragsposition gebracht, daß die Platte umgedreht ist. Eine Vorrichtung zum Ausrichten des Außenrahmens zieht dagegen einen Außenrahmen nach dem anderen von einer Außenrahmenstapeleinspannvorrichtung ein und richtet den Außenrahmen aus, wonach der Außenrahmen von einer Außenrah­ mentransportvorrichtung in eine Bandauftragsposition gebracht wird. Danach drückt eine Bandauftragsvorrichtung ein Band gegen die von einem Plattentrager in der Bandauftragsstation gehaltenen Platte und ebenso gegen den von dem Außenrahmenträger in der Bandauftrags­ station gehaltenen Außenrahmen. Nicht beendtigte auf die Platte und den Außenrahmen aufgetragene Bandabschnitte werden dann von der Schneidevorrichtung abgeschnitten und entfernt, und die Platte, der Außenrahmen und das Band, die aneinander haften, werden von einer Transporteinrichtung aus der Bandauftragsstation in eine bestimmte Einspannvorrichtung, wie beispielsweise die Außenrahmenstapelein­ spannvorrichtung, transportiert.

Der Transport der Platte und der Transport des Außenrahmens in die Bandauftragsstation können gleichzeitig ablaufen, um die Taktzeit da­ durch zu verkürzen. Die Transporte können jedoch auch nacheinander ausgeführt werden, um zu verhindern, saß sich die Bewegungen des Plattentransportes und des Außenrahmentransportes überkreuzen.

Fig. 8 zeigt beispielsweise einen Plattenträger 100 nach der oben genannten Art mit einer Tischplatte 101, einem im wesentlichen ringförmig ausgebildeten Aufnehmer 102, der sich entsprechend der Außenkante einer Platte W über die Oberflache der Tischplatte 101 hinaus erhebt, einer an die Oberfläche des Aufnehmers 102 ange­ formten und mit einer Vakuumquelle verbundenen Vakuumöffnung 103, einem zwischen der Tischplatte 101 und der umgekehrt auf den Aufnehmer 102 gesetzten Platte W ausgebildeten Druckraum 104 und einer an der Oberfläche der Tischplatte 101 und innerhalb des Auf­ nehmers 102 angeformten und mit einer Druckluftquelle verbundenen Druckluftzuführöffnung 105.

Der Randabschnitt der Platte W wird unmittelbar nach dem Absetzen der umgedrehten Platte auf dem Aufnehmer 102 und unmittelbar vor Herausnahme auf dem Aufnehmer 102 angesaugt. Beim Auftragen eines Bandes auf die Platte durch die Bandauftragsvorrichtung wird Druckluft mit einem durch einen Mikroregler gesteuerten Druck von der Druckluftquelle zugeführt, um die Platte W zu halten.

Nach dem Stand der Technik, nach dem der vom Druckraum 104 auf die Platte W einwirkende Haltedruck höher eingestellt ist als der auf den Aufnehmer 102 zum Ansaugen des Randabschnitts der Platte W einwirkende Saugdruck, ist die Haftung der Platte W auf dem Auf­ nehmer 102 instabil, so daß es leicht zu einer Verschiebung der Platte W kommen kann. Der auf die Platte W ausgeübte Haltedruck kann also nicht höher sein als der Saugdruck zum Ansaugen des Außenabschnitts der Platte W auf dem Aufnehmer 102.

Die auf den Randabschnitt der Platte W ausgeübte Saugkraft ent­ spricht einem Öffnungsbereich der Ansaugöffnung 103, der Öffnungsbeteich der Ansaugöffnung 103 entspricht jedoch im wesentli­ chen einer Größe der Platte W. Die auf den Randabschnitt der Platte W ausgeübte Saugkraft ist entsprechend einer Größe der Platte W begrenzt, was bedeutet, daß der auf die Platte W ausgeübte Halte­ druck ebenfalls entsprechend einer Größe der Platte W begrenzt ist. Eine Größe des Öffnungsbereichs der Ansaugöffnung 103 steht dar­ über hinaus in einem Verhältnis zur Größe eines Durchmessers der Platte W, wo die Öffnungsbreite der Ansaugöffnung in ihrer radialen Richtung unabhängig von der Größe des Bereichs der Ansaugöffnung dieselbe ist. Andererseits steht die Fläche des mit der Platte W in Berührung stehenden Druckraumes 104 durch Multiplikation mit sich selbst in einem Verhältnis zu einem Durchmesser der Platte W, so daß der Haltedruck pro Fläche der Platte abnimmt, je größer der Durchmesser der Platte wird. Daraus folgt, daß der Haltedruck mit größer werdendem Plattendurchmesser nicht mehr ausreicht, so daß die Platte W nicht ausreichend fest gegen das Band gedrückt wird und es zwischen der Platte W und dem Band zur Blasenbildung kommen kann.

Nach dem beschriebenen Stand der Technik ist das Band praktisch nicht ohne Blasenbildung zwischen der Platte W und dem Band auf die Platte W mit einem Durchmesser von 8 Zoll auftragbar, und in einigen Fällen bilden sich Blasen, wenn das Band auf die Platte W mit einem Durchmesser von 5 Zoll aufgetragen wird.

Kommt es zwischen der Platte W und dem Band zur Blasenbildung, kann dieses dazu führen, daß die Halbleiterelemente ausfallen, wenn die Blasen beim Zerteilen platzen, und daß die von dem Band gehal­ tenen Halbleiterelemente durch die ausgefallenen Halbleiterelemente beschädigt werden.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Ver­ fahren zum Halten einer Platte, einen Plattenträger und eine Platten­ montagevorrichtung mit dem Plattenträger zu schaffen, mit denen ein Band auf eine Platte mit großen Durchmesser auftragbar ist.

Die vorliegende Erfindung basiert zur Lösung dieser Aufgabe zum Halten einer Platte zunächst auf folgenden Schritten: Auflegen der Platte und eines Außenrahmens umgedreht auf einen Tisch, Aufdrüc­ ken und Anheften eines Bandes auf die Rückseiten der Platte und des Außenrahmens mit Hilfe einer Rolle, während ein Randabschnitt der Platte angesaugt wird, und Aufbringen eines Haltedrucks (Sicherungs­ druck) auf eine Oberfläche der Platte mit Hilfe von Druckluft, und bedient sich folgender Mittel.

Das Verfahren umfaßt darüber hinaus das Teilen eines zwischen der Tischplatte und der Platte gebildeten Druckraumes in einen ersten Druckraum eines mittleren Abschnitts der Tischplatte und in einen zweiten Druckraum eines Randabschnitts der Tischplatte mit Hilfe einer druckeinstellenden Wand, die von der Tischplatte in die Nähe der Platte reicht, das Aufbringen eines Haltedrucks (Sicherungsdruck) durch von einer Druckluftquelle dem ersten Druckraum zugeführte Druckluft mit Hilfe einer Drosselfunktion eines zwischen der druck­ regulierenden Wand und der Platte ausgebildeten Drosselkanals, und den Aufbau eines weiteren Haltedrucks aus durch den Drosselkanal von dem ersten Druckraum dem zweiten Druckraum zugeführter Druckluft mit Hilfe einer Drosselfunktion einer Drosselöffnung zur Herstellung der Verbindung zwischen dem zweiten Druckraum und der Atmosphäre.

Bei dem der vorliegenden Erfindung zugrundeliegenden Verfahren zum Halten der Platte reicht die Verwendung eines Bandes aus, das unter Druckaufwendung an der Platte haftet und dessen Grundband auf einer Seite mit einer Haft- oder Klebschicht versehen ist.

Das Grundband kann ein Band aus thermoplastischem Harz oder aushärtendem Harz und vorzugsweise zum Beispiel aus Zellophan, Zelluloseazetat, Polyäthylen, Polypropylen, Polyvinylchlorid, Poly­ styrol, Polyester wie Polyäthylenterephthalat, Polykarbonat, Polyamid oder Polyimid bestehen.

Die auf einer Seite des Grundbandes ausgebildete Haftschicht kann aus zähem Kleber bestehen, der auf Keramik, die normalerweise zur Herstellung der Platte verwendet wird, und auf Metall, aus dem der Außenrahmen besteht, haftet. Der Kleber kann beispielsweise Ep­ oxidharz, Vinylazetat, Polyvinylalkohol, Polyvinylazetal, Vinyl­ chlorid, Polyamid, Polyäthylen, Zellulose, Akrylharz, Chloro­ pren(Neopren), Nitrilgummi, Styrolgummi, Polysulfid, Isobutyleng­ ummi oder Silikongummi sein.

Der in der vorliegenden Erfindung verwendete Kleber ist ein Schmelzkleber (thermoplastisch), der auf Keramik, die normalerweise zur Herstellung der Platte verwendet wird, und auf Metall, aus dem der Außenrahmen besteht, haftet. Hier können beispielsweise Äthy­ lenvinylazetat, Polyäthylen, Polyamid, Polyester oder Petroleumharz verwendet werden.

In dem dieser Erfindung zugrundeliegenden Verfahren zum Halten der Platte kann Druckluft nach Erwärmung der Druckluft dem ersten Druckraum zugeführt werden. Bei der Zuführung erwärmter Druck­ luft empfiehlt es sich, das Band und die Platte kurzzeitig leicht und sicher zusammenzubringen.

Die Temperatur der Druckluft richtet sich nach dem jeweils verwen­ deten Bandmaterial. Die Temperatur liegt je nach Material des Grundbandes und dessen Kleberschicht in der Regel in einem Bereich von 45°C bis 150°C. Besteht das Grundband beispielsweise aus Vinylchlorid und die Kleberschicht aus Epoxidharz, liegt die Tempe­ ratur zwischen 60° und 130°C.

Die Fläche des ersten Druckraumes und der Abstand zwischen der druckeinstellenden Wand und der Platte ist entsprechend dem Zufüh­ rungsdruck der Druckluft und dem für die Platte erforderlichen Haltedruck ausgelegt.

Ein der vorliegenden Erfindung zugrundeliegender Plattenträger umfaßt zur Lösung der Aufgabe eine Tischplatte, einen im wesentli­ chen ringförmigen sich von einer Oberfläche der Tischplatte ent­ sprechend einem Randabschnitt der Platte erstreckenden Aufnehmer, eine an einer Oberfläche des Aufnehmers angeformte und mit einer Vakuumquelle verbundene Saugöffnung, einen in dem Aufnehmer und zwischen der Tischplatte und der umgekehrt auf den Aufnehmer gesetzten Platte ausgebildeteten Druckraum, und eine im Aufnehmer und an der Oberfläche der Tischplatte ausgebildete und mit der Druckluftquelle verbundene Druckluftzuführungsöffnung, und bedient sich folgender Mittel.

Die Vorrichtung umfaßt darüber hinaus eine ringförmige in einem mittleren Abschnitt der Tischplatte angeordnete druckeinstellende Wand, die sich von der Tischplatte in die Nähe der auf dem Auf­ nehmer aufliegenden Platte erstreckt und den Druckraum in einen ersten innerhalb der druckeinstellenden Wand befindlichen Druckraum und in einen zweiten außerhalb dieser Wand befindlichen Druckraum unterteilt, wobei der genannte erste Druckraum mit der druckluftzu­ führenden Öffnung verbunden ist und die an der Tischplatte ausge­ bildete Drosselöffnung den zweiten Druckraum mit der Atmosphäre verbindet.

Bei dem der vorliegenden Erfindung zugrundeliegenden Plattenträger empfiehlt es sich zur Erreichung einer leichten und festen kurzfristi­ gen Haftung zwischen der Platte und dem Band durch Zuführung von Druckluft nach Erwärmung der Luft in den ersten Druckraum, z. B. eine Heizung vorzusehen, die an die rückwärtige Seite der Tisch­ platte angeschlossen ist, und in der Heizung einen Endabschnitt eines druckluftzuführenden Kanals zur Herstellung der Verbindung der Druckluftquelle mit der druckluftzuführenden Öffnung anzuordnen, so saß die in dem Endabschnitt erwärmte Druckluft in den ersten Druckraum abgegeben wird.

Darüber hinaus ist eine der vorliegenden Erfindung zugrundeliegende Plattenmontagevorrichtung zur Lösung der beschriebenen Aufgabe mit einem Plattenträger versehen.

Die wesentliche Funktion der vorliegenden Erfindung wird im fol­ genden beschrieben:

Die Druckluft wird in den ersten von einer druckeinstellenden Wand umgebenen Druckraum geführt, und die Mitte der Platte wird durch ihren dynamischen und statischen Druck gehalten.

Zum Aufbau des dynamischen Drucks empfiehlt sich eine kleinere Fläche des ersten Druckraumes, jedoch reicht der dynamische Druck allein nicht zum Aufbau des erforderlichen Haltedrucks aus. Zum Aufbau des zum Auftragen des Bandes auf die Platte erforderlichen Haltedrucks muß die Fläche des ersten Druckraums daher vergrößert werden. Der statische Druck innerhalb des ersten Druckraums wird bestimmt durch eine Drosselfunktion des ringförmig ausgebildeten zwischen der Oberkante der druckeinstellenden Wand und der Platte angeformten Drosselkanals. Die Platte wird dadurch mit einen ge­ wünschten Druck so in einer Stellung gehalten, daß sie durch Festle­ gen des Drucks der zugeführten Luft und der Fläche des ersten Druckraums einen bestimmten Abstand zur Kante der druckeinstel­ lenden Wand läßt.

Da der zweite Druckraum, in den die Druckluft aus dem ersten Druckraum hinüberfließt, über eine Drosselöffnung oder Öffnungen mit der Atmosphäre verbunden ist, kann der auf die ganze Platte wirkende Haltedruck deutlich niedriger sein als der Saugdruck zum Ansaugen des Randabschnitts der Platte, so daß die Platte fest auf den Aufnehmer angesaugt wird.

Die Vorteile des dieser Erfindung zugrundeliegenden Verfahrens zum Halten der Platte werden im folgenden beschrieben.

Der gewünschte Haltedruck kann mit Hilfe der dem ersten Druck­ raum zugeführten Druckluft konzentriert auf die Mitte der Platte gegeben werden, und der weitere aus dem zweiten Druckraum auf die Platte gegebene Haltedruck ist nahe dem atmosphärischen Druck, so daß der auf die ganze Platte mit einem großen Durchmesser wirkende Haltedruck anders als der Saugdruck zum Befestigen der Platte klei­ ner eingestellt werden kann.

Dadurch ist ein durch einen Druck einer Druckrolle bedingtes Ver­ biegen der Platte sicher vermeidbar, so saß ein Band fest auf die Platte mit einem großen Durchmesser aufgelegt und angedrückt wer­ den kann. Auch der Einschluß von Blasen zwischen der Platte und dem Band ist vermeidbar. Die Platte wird dann angesaugt und fest auf der Tischplatte gehalten, so daß sie sich nicht verschieben oder verrutschen kann.

Da der Haltedruck über einen Abstand zwischen der Platte und der druckeinstellenden Wand reguliert wird, kann eine Streuung des Hal­ tedrucks verhindert werden, so daß das Band fest auf die Platte aufgelegt werden kann, und der Haltedruck muß nicht korrigiert werden, so daß durch Korrektur bedingte Kosten erheblich reduziert werden können.

In dem Verfahren zum Halten der Platte, bei dem erwärmte Druck­ luft aus einer Druckluftquelle in den ersten Druckraum eingeführt wird, kann das Band leichter und sicherer auf die Platte und den Außenrahmen aufgelegt werden.

Der dieser Erfindung zugrundeliegende Plattenträger oder die Plat­ tenmontagevorrichtung kann mit Hilfe der in den ersten Druckraum eingeführten Druckluft den gewünschten konzentriert auf die Mitte der Platte einwirkenden Haltedruck beeinflussen, und der weitere aus dem zweiten Druckraum auf die Platte einwirkende Haltedruck ist nahe dem atmosphärischen Druck, so daß der auf die ganze Platte einwirkende Haltedruck kleiner eingestellt sein kann als der Saug­ druck zum Befestigen der Platte.

Dadurch ist ein durch einen Druck einer Druckrolle bedingtes Ver­ biegen der Platte sicher vermeidbar, so daß ein Band fest auf die Platte mit einem großen Durchmesser aufgelegt und angedrückt wer­ den kann. Auch der Einschluß von Blasen zwischen der Platte und dem Band ist vermeidbar. Die Platte wird dann angesaugt und fest auf der Tischplatte gehalten, so daß sie sich nicht verschieben oder verrutschen kann.

Bei dem dieser Erfindung zugrundeliegenden Plattenträger oder der Plattenmontagevorrichtung, in dem die Vorrichtung darüber hinaus eine an die Rückseite der Tischplatte montierte Heizung und zur Herstellung der Verbindung zwischen Druckluftquelle und Druck­ luftzufuhröffnung einen in der Heizung installierten Endabschnitt eines Druckluftzufuhrkanals aufweist, so daß die in dem Endabschnitt erwärmte Druckluft in den ersten Druckraum abgegeben wird, kann die Platte mit der Druckluft so erwärmt werden, daß die Plattentem­ peratur kurzfristig auf eine bestimmte Temperatur ansteigt, so daß das Band fest auf die Platte aufgetragen werden kann.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungsformen der Erfindung werden anhand der Ausführungsbeispiele mit Hinweis auf die Zeichnungen beschrieben.

Die Zeichnungen zeigen ein der vorliegenden Erfindung zugrundelie­ gendes Ausführungsbeispiel. Es zeigt:

Fig. 1 den Grundriß einer der vorliegenden Erfindung zugrun­ deliegenden Plattenmontagevorrichtung,

Fig. 2 in einer Ansicht von vorn die Plattenmontagevorrich­ tung,

Fig. 3 in einer Ansicht von vorn die Bandauftragsstation, teil­ weise im Aufriß,

Fig. 4 die Explosionszeichnung eines wesentlichen Teils der abmontierten Bandauftragsstation,

Fig. 5 die Explosionszeichnung einer abmontierten Tischplatte,

Fig. 6 die Tischplatte in einer Schnittdarstellung von der Seite,

Fig. 7 den Grundriß der Tischplatte und

Fig. 8 die herkömmliche Tischplatte in einer Schnittdarstellung von der Seite.

Die in Fig. 1 gezeigte Plattenmontagevorrichtung zeigt folgenden Aufbau:

Ein Platteneinzug 2 zieht jeweils eine Platte W von einer Platten­ stapeleinspannvorrichtung 1, und die Platte W wird durch eine die Ausrichtung der Platte bestimmende Vorrichtung 3 ausgerichtet. Danach wird die Platte W umgedreht und mit Hilfe eines Platten­ transportes 4 zu einer Bandauftrags-Station 5 transportiert. Anderer­ seits kehrt eine die Ausrichtung des Außenrahmens bestimmende Vorrichtung 6, die auch als Einspannvorrichtung für den Außenrah­ menstapel funktioniert, einen Außenrahmen F um und richtet den Außenrahmen aus. Der Außenrahmen F wird mit Hilfe eines Aus­ senrahmentransportes 7 einzeln in die Bandauftragsstation 5 trans­ portiert.

Auf der Bandauftragsstation 5 sind koaxial ein Plattenträger 10 zum Halten der umgedrehten Platte W und ein Außenrahmenträger 11 zum Halten des umgedrehten Außenrahmens F angeordnet.

Die Fig. 1 und 2 zeigen eine Bandauftragsvorrichtung 36 und eine Schneidevorrichtung 37, die über der Bandauftragsstation 5 angeord­ net sind. Nach dem Transport der Platte W und des Außenrahmens F in die Bandauftragsstation 5 wird die Bandauftragsstation 5 nach oben ausgefahren, wodurch sie die Platte W und den Außenrahmen F in eine bestimmte Auftragsposition anhebt.

Die Bandauftragsvorrichtung 36 ist folgendermaßen konstruiert:

Nach dem Anheben der Platte W und des Außenrahmens F in die Auftragsposition wickelt eine Abnahmerolle 39 einen nicht erforder­ lichen Teil eines Bandes T von einer Zuführungsrolle 38 für das Band T ab, so daß das Band T von der Zuführungsrolle 38 abgezogen und mit einer Auflegevorrichtung 36a auf die Oberfläche der Platte W und des Außenrahmens F aufgelegt werden kann. Die Auflegevor­ richtung 36a und eine Druckrolle 36b bewegen sich aus einer Stel­ lung oberhalb der Bandauftragsstation 5 in eine andere Stellung, so daß das Band T mit Hilfe der Druckrolle 36b auf die Rückseiten jeder Platte W und Außenrahmen F aufgedrückt und befestigt werden kann.

Die Schneidevorrichtung 37 ist folgendermaßen konstruiert:

Nach dem Auftragen des Bandes T auf die Platte W und den Außen­ rahmen F werden ein Motor 37b und ein Drehmesser 37c mit Hilfe eines Zylinders 37a in die Schneideposition gesenkt, in der das Drehmesser 37c mit dem Außenrahmen F in Kontakt gebracht wird, und der Motor 37b dreht sich um mehr als eine Drehung, um das Band T um den benötigten Teil herum in einen benötigten und einen nicht benötigten Teil zu zerschneiden. Danach zieht sich der Zylinder 37a zurück und hebt den Motor 37b und das Drehmesser 37c in die ursprüngliche Wartestellung an.

Die Bandauftragsvorrichtung 36 ist darüber hinaus so konstruiert, daß sie den nicht benötigten Teil des Bandes T von dem Außenrahmen F durch Zurückziehen der Auflegevorrichtung 36a und der Druckrolle 36c aus ihren Stellungen in die ursprünglichen Stellungen oberhalb der Bandauftragsstation 5 trennt, nachdem das Band T geschnitten und um den benötigten Teil herum in den benötigten und den nicht benötigten Teil zerschnitten wurde.

Das Band T ist übrigens ein die Grundlage bildendes Kunststoffband mit einer auf einer Bandseite aufgebrachten Haftschicht. Ein Trenn­ streifen ist so beschaffen, daß die Haftschicht des Bandes T mit der anderen Fläche nicht haftet, wenn das Band T aufgerollt ist. Der Trennstreifen wird nach dem Abziehen des Bandes T von der Zufüh­ rungsrolle 38 abgezogen und auf eine Trennstreifenrolle 40 gewic­ kelt.

Das Material für das Band T ist nicht auf eine bestimmte Kunststoff­ art begrenzt, wobei sich jedoch ein Material empfiehlt, das eine leicht regulierbare Bandstärke zuläßt und dessen Stärke sich bei Zug nur geringfügig verändert. Geeignete Materialien sind beispielsweise Zellophan, Zelluloseazetat, Polyäthylen, Polypropylen, Polyvinyl­ chlorid, Polystyrol, Polyester wie Polyäthylenterephthalat, Polykar­ bonat, Polyamid oder Polyimid. Das in diesem Ausführungsbeispiel für das Band T verwendete Material ist Polyvinylchlorid, das gegen­ über den hier genannten Materialien preisgünstig ist.

Als Kleber auf dem Band T eignen sich alle normalerweise als Kleber oder Haftmittel verwendeten Materialien. Beispielsweise eignen sich Schmelzkleber oder thermoplastische Harze. Vorzugsweise wird jedoch ein Kleber verwendet, dessen Beschichtungsstärke sich leicht regulieren läßt und der unregelmäßige Hafteigenschaften ausschließt. Um dieser Forderung gerecht zu werden, wird in diesem Ausfüh­ rungsbeispiel ein thermoplastisches Harz als Kleber verwendet, das im wesentlichen aus Expoxidharz besteht.

Die Plattenmontagevorrichtung ist, wie in den Fig. 1 und 2 darge­ stellt, so ausgelegt, daß sie die Platte W, den Außenrahmen F und das Band T, die zu einem Körper zusammengefügt sind, aus der Bandauftragsstation herauszieht, während die Oberflächen mit Hilfe einer Transporteinrichtung 8 erneut bearbeitet werden, wonach diese zu einer Außenrahmenstapeleinspannvorrichtung 9 transportiert wer­ den.

Wie in Fig. 3 und 4 gezeigt, wird ein Wellenpaar 14 und 14 von einem Rahmen 13 der Plattenmontagevorrichtung auf einer Bandauf­ tragsstation 5 getragen, so daß sie sich heben und senken können. Eine Hubebene bzw. Hubbasis 15 ist an den oberen Enden der Wel­ len 14 und 14 befestigt.

Der Rahmen 13 trägt einen zwischen den Wellen 14 und 14 so an­ geordneten Luftzylinder 16, daß er die Hubebene 15 heben und senken kann. Über der Mitte der Hubebene 15 ist ein Plattenträger 10 und um den Plattenträger 10 der Außenrahmenträger 11 angeord­ net.

Fig. 3 zeigt einen Plattenträger 10 mit einer die Heizung tragenden Grundplatte 18, einer auf der Grundplatte 18 montierten Heizung 19 und einer auf der Heizung 19 montierten Tischplatte 20.

Die Heizung 19 umfaßt einen Heizblock 19a, in den ein elektrisches Heizelement 21 (Fig. 4) eingeführt ist, eine auf der Rückseite des Heizblocks 19a über eine Wärmeisolierung 19b befestigte Höhenver­ stellschraube 19c, eine mit der Höhenverstellschraube 19c ver­ schraubte und an einer Außenkante 18a des Heizblocks 19a ver­ schiebbar und drehbar befestigte Stellmutter 19d, und ein Paar auf der Rückseite des Heizblocks 19a und in die die Heizung tragende Heizungsgrundplatte 18 vor und zurück beweglich eingeführte Füh­ rungsstifte 19e.

Darüber hinaus ist am Heizblock 19a ein Druckluftkanal 23, wie in Fig. 4 gezeigt, ausgebildet, der und von außen in einen mittleren Abschnitt seiner Oberfläche durch sein Inneres hindurchläuft. Der Druckluftkanal ist mit der hier nicht dargestellten druckluftzuführen­ den Quelle verbunden.

An der die Heizung tragenden Grundplatte 18 ist ein Paar Führungs­ löcher 18b und 18b zum Einführen der Führungsstifte 19e, Fig. 3 und 4, ausgebildet. Darüber hinaus ist in jedem der Führungslöcher 18b eine mit dem Führungsstift 19e verschiebbar in Eingriff stehende Buchse 22 angeordnet, so daß die Führungsstifte 19e gleichmäßig und mit hoher Präzision angehoben und gesenkt werden können.

Die Tischplatte 20 ist koaxial zu der Hubebene 15 und der Heizung 19 angeordnet und, wie in Fig. 4 gezeigt, beispielsweise mit Hilfe von 2 bis 4 Bolzen 24 auf der Oberfläche der Heizung 19 befestigt.

Fig. 5 bis 7 zeigen die Tischplatte 20 mit einem ringförmig ausge­ bildeten Hauptteil 20a, einem beispielsweise aus Fluorharz bestehen­ den und an der Oberfläche eines mittleren Abschnitts des Hauptteils 20a befestigten mittleren Teil 20b, einem beispielsweise aus Flu­ orharz bestehenden und am Rand des Hauptteils 20a befestigten Randteil 20c und einem Paar Innen- und Außenhalterahmen 20d und 20e zum Befestigen des Randteils 20c.

Fig. 5 zeigt den Randteil 20c mit einem ringförmig ausgebildeten sich entsprechend dem Rand der Platte W nach oben erstreckenden Aufnehmer 25. Eine Saugöffnung 26 ist zur Schaffung einer durchgehenden Nut entsprechend dem Rand der Platte W an der Oberfläche des Aufnehmers 25 angeformt. Ein ringförmig ausgebil­ deter Saugkanal 27 ist zwischen der unteren Fläche des Randteils 20b und dem Hauptteil 20a ausgebildet. Die Saugöffnung 26 ist über einen Saugkanal 27 und einen das Randteil 20b senkrecht durchsto- ßenden Verbindungskanal 28 mit einer hier nicht dargestellten Vaku­ umquelle verbunden.

Eine ringförmig ausgebildete druckeinstellende Wand 29 ist so an­ geordnet, daß sie sich über den Rand des mittleren Teils 20b erhebt, wobei die Höhe der Wand geringfügig niedriger ist als die des Auf­ nehmers 25. Eine druckluftzuführende Öffnung 30 ist an der Ober­ fläche des mittleren Abschnitts des mittleren Teils 20b angeformt. Ein Druckluftkanal 31 ist darüber hinaus an dem mittleren Abschnitt des Hauptteils 20a und des mittleren Teils 20b ausgebildet, wobei der Kanal mit einem Druckluftkanal 23 des Heizblocks 19a in Verbindung steht.

Die in Fig. 4 und 5 gezeigten Dichtungen 32 sind zwischen der Tischplatte 20 und der Heizung 19 angeordnet, um beide Druckluft­ kanäle 23 und 31 zur Gewährleistung der präzisen Drucksteuerung durch eine Doppeldichtungsanordnung gegenüber der Atmosphäre abzudichten.

Eine Reihe von Drosselöffnungen 33 ist darüber hinaus radial so an einem Zwischenabschnitt des Hauptteils 20a ausgebildet, saß sie den Hauptteil 20a durchstößt.

Die hier beschriebene Konstruktion der Tischplatte schafft einen Druckraum 34 zwischen der Tischplatte 20 und der auf der Tisch­ platte liegenden Platte W, der innerhalb des Aufnehmers 25 geteilt ist. Der Druckraum 34 wird darüber hinaus durch die druckeinstel­ lende Wand 29 in einen ersten Druckraum 34a innerhalb und in einen zweiten Druckraum 34d außerhalb der druckeinstellenden Wand 29 geteilt.

Der erste Druckraum 34a ist über den Druckluftkanal 31 der Tisch­ platte 20, den Druckluftkanal 23 des Heizblocks 19a und den hier nicht dargestellten Mikroregler mit einer Druckluftquelle verbunden. Der erste Druckraum 34a und der zweite Druckraum 34b sind über einen sehr kleinen zwischen der Platte W und der oberen Kante der druckeinstellenden Wand 29 ausgebildeten Drosselkanal 35 mitein­ ander verbunden. Der zweite Druckraum 34b ist darüber hinaus über Drosselöffnungen 33 mit der Atmosphäre verbunden.

Die Fläche des ersten Druckraums 34a und die Größe des Drosselka­ nals 35 sind entsprechend einem Druckluftzufuhrdruck und einem zum Halten der Platte W erforderlichen Druck auslegbar. Bei einem Preßdruck einer Druckrolle 36e einer im folgenden näher beschriebe­ nen Bandauftragsvorrichtung 36 von zwischen 1,2 und 2 kg/cm² sollte der Zufuhrdruck der Druckluft in den ersten Druckraum 34a bei etwa 1,2 bis 2 kg/cm² liegen, ein Durchmesser des ersten Druck­ raums 34a auf etwa 20 mm festgelegt sein und eine Höhe oder Breite des Drosselkanals 34 etwa 3 µm betragen.

Der Außenrahmenträger 11 umfaßt zwei auf dem Randabschnitt der Hubebene 15 stehende Ständer 10a und einen ringförmig ausgebilde­ ten an den oberen Enden der Ständer befestigten Aufnehmerrahmen 10b, dessen Durchmesser größer ist als der der Tischplatte 20. Die Höhe der Oberfläche des Aufnehmerrahmens 10b ist um eine Diffe­ renz zwischen der Stärke der Platte W und der des Außenrahmens F niedriger als die Höhe der Oberfläche des Aufnehmers 25 der Tisch­ platte 20.

Das Verfahren der Plattenmontage mit Hilfe der Plattenmontagevor­ richtung nach diesem Ausführungsbeispiel wird im folgenden be­ schrieben.

Alle Schritte zur Montage einer Platte vor dem Transport der Platte W zum Plattenträger 9 sowie der Transport der Platte W und des Außenrahmens F, auf den das Band T aufgelegt ist, von der Band­ auftragsstation 5 sind in der üblichen Weise durchführbar. Auf die Beschreibung dieser Schritte soll deshalb hier verzichtet werden.

Das in diesem Ausführungsbeispiel der Erfindung beschriebene Ver­ fahren zum Halten der Platte wird während des Transportes der Platte W zum Plattenträger 9 und aus diesem heraus angewandt. Das Verfahren eignet sich insbesondere zum Aufdrücken und Auflegen des Bandes T auf die Platte W und den Außenrahmen F, nachdem die Platte W zum Plattenträger 9 transportiert wurde.

Der Randabschnitt der umgedrehten Platte W wird auf den Aufneh­ mer 25 der Tischplatte 20 gesetzt und durch den Betrieb einer Vaku­ umquelle auf dem Aufnehmer 25 angesaugt. Danach, bewegt sich die Druckrolle 36c der Bandauftragsvorrichtung 36 von einer Stellung in die andere in der Bandauftragsstation 5. Während der Druck der Druckrolle über das Band T auf die Platte W einwirkt, wird Druck­ luft aus einer druckluftzuführenden Quelle durch den Druckluftkanal 23 des Heizblocks 19a und den Druckluftkanal 31 des Tisches 20 in den ersten Druckraum 34a geführt. Die Druckluft wird mit Hilfe eines Mikroreglers auf einen Druck von 1,2 bis 2,0 kg/cm² reguliert und gesteuert.

Die Druckluft wird auf eine Temperatur von 45 bis 150°C und vorzugsweise auf 60 bis 130°C erwärmt, während sie den Druck­ luftkanal 23 des Heizblocks 19a durchläuft, und dann dem ersten Druckraum 34a zugeführt. Die Platte W wird durch den dynamischen Druck der Druckluft und den durch eine Drosselfunktion der Dros­ selöffnung 35 erzeugten statischen Druck gehalten.

Der zum Halten der Platte notwendige Druck ist abhängig von Fak­ toren wie dem Zufuhrdruck der Druckluft, der Fläche des ersten Druckraums 34a und der Höhe (Breite) der Drosselöffnung 35, und er wirkt konzentriert auf einen mittleren Abschnitt der Platte W. Mit anderen Worten, ein bestimmter Haltedruck ist unabhängig von der radialen Größe der Platte W durch Festlegung der Fläche des ersten Druckraums 34a, der Höhe der Drosselöffnung 35 und des Zufuhr­ drucks der Druckluft erreichbar. Dadurch werden ein durch den Druck der Druckrolle 36c bedingtes Durchbiegen der Platte W nach unten und der Einschluß von Blasen zwischen Band T und Platte W verhindert.

Der Haltedruck ist zur Erreichung eines voreingestellten Wertes in dem Raum zwischen der Platte W und der druckeinstellenden Wand 29 automatisch regelbar. Der Haltedruck wird dadurch stabil, und das Band T wird gleichmäßig aufgelegt. Hierdurch lassen sich auch Probleme durch den Betrieb der Vorrichtung vermeiden, und War­ tungsarbeiten, wie z. B. das Regulieren des Druckes, entfallen.

Die durch den Drosselkanal 35 aus dem ersten Druckraum 34a in den zweiten Druckraum eingeströmte Druckluft wird über Drosselöff­ nungen 33 in die Atmosphäre abgegeben, so daß sich der Druck der in dem zweiten Druckraum befindlichen Druckluft dem atmosphäri­ schen Druck annähert. Der von dem zweiten Druckraum 34b aus auf die Platte W einwirkende Haltedruck verringert sich, und dann kann der auf die ganze Platte W einwirkende Haltedruck kleiner sein, als der auf den Randabschnitt der Platte W einwirkende Saugdruck, so daß die Platte W fest auf dem Aufnehmer 25 gehalten wird.

Da die Druckluft in diesem Ausführungsbeispiel nach dem Erwärmen im Heizblock 19a in den ersten Druckraum 34a eingeführt wird, läßt sich die Platte W kurzfristig auf eine voreingestellte Temperatur erwärmen, so daß das Band T leicht und sicher auf die Platte W und auf den Außenrahmen F auftragbar ist.

Claims (5)

1. Verfahren zum Halten einer Platte bestehend aus dem Absetzen der umgedrehten Platte und eines umgedrehten Außenrahmens auf einer Tischplatte, Aufdrücken und Auflegen eines Bandes auf die Rückseiten der Platte und des Außenrahmens mit Hilfe einer Rolle, während ein Randabschnitt der Platte angesaugt wird und ein Halte­ druck (Sicherungsdruck) mit Hilfe von Druckluft auf die Plattenoberfläche einwirkt, dadurch gekennzeichnet, daß:
ein zwischen der Tischplatte und der Platte ausgebildeter Druckraum mit einer druckeinstellenden sich von der Tischplatte zur Platte hin erhebenden Wand in einen ersten Druckraum eines mitt­ leren Abschnitts der Tischplatte und in einen zweiten Druckraum eines Randabschnitts einer Tischplatte unterteilt wird,
ein Haltedruck mit aus einer Druckluftquelle dem ersten Druckraum zugeführter Druckluft mit Hilfe einer Drosselfunktion eines zwischen der den Druck regulierenden Wand und der Platte ausgebildeten Drosselkanals aufgebaut wird, und
ein weiterer Haltedruck mit durch den Drosselkanal aus dem ersten Druckraum dem zweiten Druckraum zugeführter Druckluft mit Hilfe einer Drosselfunktion einer die Verbindung zwischen dem zweiten Druckraum und der Atmosphäre herstellenden Drosselöffnung aufgebaut wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Druckluft erwärmt wird und diese dann von einer Druckluftquelle dem ersten Druckraum zugeführt wird.

3. Plattenträger mit einer Tischplatte, einem im wesentlichen ringförmig ausgebildeten sich von einer Oberfläche der Tischplatte entsprechend einem Randabschnitt der Platte erhebenden Aufnehmer, einer an der Oberfläche des Aufnehmers ausgebildeten und mit der Vakuumquelle verbundenen Saugöffnung, einem innerhalb des Auf­ nehmers und zwischen der Tischplatte und der umgedreht auf dem Aufnehmer liegenden Platte ausgebildeten Druckraum und einer innerhalb des Aufnehmers und an der Oberfläche der Tischplatte ausgebildeten und mit der Druckluftquelle verbundenen druckluftzu­ führenden Öffnung, gekennzeichnet durch:
eine druckeinstellende ringförmige auf einem mittleren Ab­ schnitt der Tischplatte angeordnete Wand, die sich von der Tisch­ platte zu der auf dem Aufnehmer liegenden Platte erhebt und die den Druckraum in einen ersten Druckraum innerhalb der druckeinstellen­ den Wand und einen zweiten Druckraum außerhalb dieser unterteilt, wobei der erste Druckraum mit der die Druckluft zuführenden Öff­ nung verbunden ist und
eine an der Tischplatte zur Herstellung der Verbindung zwischen dem zweiten Druckraum und der Atmosphäre ausgebildete Drosselöffnung.

4. Plattenträger nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch eine unter der Oberfläche der Tischplatte fest montierte angeordnete Heizung und einen die Druckluftquelle mit der die Druckluft zufüh­ renden Öffnung verbindenden druckluftzuführenden Kanal, wobei der druckluftzuführende Kanal mit einem in der Heizung angeordneten Endstück versehen ist, wodurch die in dem Endstück erwärmte Druckluft direkt in den ersten Druckraum abgegeben wird.

5. Plattenmontagevorrichtung im Plattenträger nach einem der Ansprüche 3 oder 4.