DE10146752A1

DE10146752A1 - Optoelektronische Vorrichtung

Info

Publication number: DE10146752A1
Application number: DE10146752A
Authority: DE
Inventors: Martin Argast
Original assignee: Leuze Electronic GmbH and Co KG
Current assignee: Leuze Electronic GmbH and Co KG
Priority date: 2000-09-25
Filing date: 2001-09-22
Publication date: 2002-04-18
Anticipated expiration: 2021-09-23
Also published as: DE10146752B4

Abstract

Die Erfindung betrifft eine optoelektronische Vorrichtung (1) zum Erfassen von Objekten (7) in einem Überwachungsbereich mit einem Sendelichtstrahlen emittierten Sender (3), einem Empfangslichtstrahlen (4) empfangenden Empfänger (5) sowie einer Auswerteeinheit (10) zur Auswertung der am Empfänger (5) anstehenden Empfangssignale. Nur die Sendelichtstrahlen (2) werden über einen Schwingungspegel periodisch in zwei Raumrichtungen abgelenkt, so dass diese auf der Oberfläche des Objekts (7) eine Abtastfläche (8) überstreichen. Zur Generierung eines Objektfeststellungssignals werden in der Auswerteeinheit (10) die Empfangssignale in Abhängigkeit der Ablenkposition des Schwingspiegels (6) ausgewertet.

Description

Die Erfindung betrifft eine optoelektronische Vorrichtung gemäß dem Ober begriff des Anspruchs 1.

Derartige optoelektronische Vorrichtungen sind insbesondere als Lichttaster ausgebildet, bei welchen der Sendelichtstrahlen emittierende Sender und der Empfangslichtstrahlen empfangende Empfänger mit einer Ausweiteeinheit in einem gemeinsamen Gehäuse untergebracht sind. Ein derartiger Lichttaster ist aus der DE 35 13 671 bekannt. Die vom Sender emittierten Sendelichtstrahlen sind auf ein Objekt gerichtet. Die von dem Objekt zurückreflektierten Emp fangslichtstrahlen werden durch eine Empfangsoptik auf den Empfänger fokus siert. Der Empfänger besteht aus einem Nahelement und einem Fernelement.

In der Auswerteeinheit wird insbesondere die Differenz der Empfangssignale des Nah- und Fernelements gebildet und mit einem vorgegebenen Schwellwert verglichen, welcher einer einen Tastbereich begrenzenden Tastweite entspricht. Damit können Objekte innerhalb des Tastbereichs erkannt und von einem Hin tergrund, der außerhalb des Tastbereichs liegt, unterschieden werden. Zur Ein stellung der Tastweite werden die Empfangslichtstrahlen mittels eines Dreh spiegels abgelenkt und zum Empfänger geführt. Dabei erfolgt die Spiegelver stellung manuell durch einen Spindelantrieb. Die Einstellung des Spiegels er folgt vor Inbetriebnahme des Lichttasters und bleibt während des anschließen den Betriebs des Lichttasters erhalten. Befindet sich ein Objekt im Abstand der eingestellten Tastweite, liegt der Empfangslichtfleck gerade zur Hälfte auf dem Nah- und Fernelement. Die Einstellung der Tastweite kann durch Drehung des Spiegels erfolgen.

Grundsätzlich erfolgt die Bewertung der Empfangssignale eines Lichttasters mittels zweier Schwellwerte. Insbesondere wird auch das Differenzempfangs signal eine Lichttasters mit einem Nah- und Fernelement mittels zweier Schwellwerte bewertet, woraus ein binäres Schaltsignal abgeleitet wird. Über schreitet das Differenzempfangssignal den oberen Schwellwert, so gilt das Objekt als erkannt, das heißt das Schaltsignal nimmt den Schaltzustand "ein" an. Bei Unterschreitung des unteren Schwellwerts nimmt das Schaltsignal den Schaltzustand "aus" ein, das heißt ein Objekt gilt als nicht erkannt. Liegt das Differenzempfangssignal innerhalb des Hysteresebereichs zwischen den beiden Schwellwerten, so bleibt der jeweils aktuelle Schaltzustand des Schaltsignals erhalten. Dadurch wird ein unerwünschter Wechsel des Schaltzustandes durch kleine Empfangssignalschwankungen aufgrund von Störungen oder von Rauscheffekten elektronischer Bauteile des Lichttasters verhindert.

Ein Nachteil derartiger Vorrichtungen besteht darin, dass bei der Objektdetek tion der Sendelichtfleck der Sendelichtstrahlen fest auf einen Punkt der Objekt oberfläche gerichtet ist. Durch Inhomogenitäten der lokalen Oberflächenstruk tur des Objekts wie zum Beispiel kleine Bohrungen oder Kontraständerungen kann die Detektion eines Objektes verfälscht werden.

Eine Fehlfunktion des Lichttasters kann beispielsweise dann entstehen, wenn bei der Objektdetektion ein Teil des Sendelichtfleckes auf ein Oberflächenele ment des Objekts mit geringer Reflexion und der andere Teil des Sendelicht flecks auf eine Fläche höherer Reflexion fällt. Dieser Fall tritt in der Regel an der Objektkante auf. Im Vergleich zur Detektion einer homogenen Objektober fläche werden die Empfangslichtstrahlen von den Oberflächenelementen unter schiedlicher Reflektivität unterschiedlich stark reflektiert, wodurch eine Ver schiebung des Schwerpunkts des Empfangslichtfleckes auf dem von Nah- und Fernelement gebildeten Empfänger erhalten wird. Die Verschiebung des Schwerpunkts des Empfangslichtfleckes kann insbesondere zum Nahelement hin erfolgen. Dadurch kann das Schaltsignal den Schaltzustand "Objekt er kannt" einnehmen, obwohl sich das Objekt außerhalb der eingestellten Tast weite befindet. Dies bedeutet, dass in diesem Fall eine Fehldetektion des Lichttasters vorliegt.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde eine optoelektronische Vorrichtung der eingangs genannten Art so auszubilden, dass Objekte und Objektstrukturen sicher erfassbar sind.

Zur Lösung dieser Aufgabe sind die Merkmale des Anspruchs 1 vorgesehen. Vorteilhafte Ausführungsformen und zweckmäßige Weiterbildungen der Erfin dung sind in den Unteransprüchen beschrieben.

Die erfindungsgemäße optoelektronische Vorrichtung zum Erfassen von Ob jekten in einem Überwachungsbereich weist einen Sendelichtstrahlen emittie renden Sender, einen Empfangslichtstrahlen empfangenden Empfänger sowie eine Auswerteeinheit zur Auswertung der am Empfänger anstehenden Emp fangssignale auf. Nur die Sendelichtstrahlen werden über einen Schwingungs pegel periodisch in zwei Raumrichtungen abgelenkt, so dass diese auf der Oberfläche des Objekts eine Abtastfläche überstreichen. Zur Generierung eines Objektfestsstellungssignals in der Auswerteeinheit werden die Empfangssig nale in Abhängigkeit der Ablenkposition des Schwingspiegels ausgewertet.

Der Grundgedanke der Erfindung besteht darin, ein in einer bestimmten Dis tanz zur optoelektronischen Vorrichtung angeordnetes Objekt nicht statisch und punktuell mittels eines auf die Objektoberfläche abgebildeten Sendelichtflecks zu erfassen. Erfindungsgemäß überstreichen die Sendelichtstrahlen durch die Umlenkung am Schwingspiegel eine Abtastfläche auf der Oberfläche des je weiligen Objekts. Die Empfangssignale des Empfängers werden dann winkel aufgelöst, das heißt in Abhängigkeit der Ablenkposition des Schwingspiegels ausgewertet. Dadurch kann die Oberflächenbeschaffenheit des Objektes erfasst werden. Insbesondere können damit Fehldetektionen der Vorrichtung, die durch die Inhomogenitäten der Oberflächenbeschaffenheit des Objektes verur sacht sind, weitgehend vermieden werden.

Im einfachsten Fall erfolgt zur Generierung eines Objektfeststellungssignals eine Bewertung der Amplituden der Empfangssignale mittels wenigstens einer Schwellwerteinheit. Dabei erfolgt die Auswertung in Abhängigkeit der aktuel len Ablenkpositionen der Sendelichtstrahlen. Alternativ oder zusätzlich werden auch die Distanzwerte in Abhängigkeit der Ablenkpositionen ermittelt.

Ein wesentlicher Vorteil der so ausgebildeten optoelektronischen Vorrichtung besteht darin, dass neben einer bloßen Anwesenheitskontrolle von Objekten auch eine Erfassung von Strukturen von Objekten und deren Oberflächen mög lich ist. Damit eignet sich die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Erfassung von Höhenprofilen, insbesondere Kantenstrukturen von Objekten. Weiterhin ist eine Erfassung von Kontrastmustern möglich.

Weiterhin ist bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung eine äußerst präzise Ein stellung von Tastbereichen, innerhalb dessen ein Objekt erkannt wird, möglich. Damit können insbesondere Hintergrundsignale von Objekten . außerhalb des Tastbereichs mit großer Sicherheit und weitgehend unabhängig von deren Oberflächenbeschaffenheit ausgeblendet werden.

Die Erfindung wird im nachstehenden anhand der Zeichnung erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 Blockschaltbild eines ersten Ausführungsbeispiels der optoelektro nische Vorrichtung.

Fig. 2 Schematische Darstellung der optischen Komponenten der opto elektronischen Vorrichtung gemäß Fig. 1.

Fig. 3 Schematische Darstellung eines Schwingspiegels für die Vorrich tung gemäß den Fig. 1 und 2.

Fig. 4a Erstes Anwendungsbeispiel der optoelektronischen Vorrichtung gemäß den Fig. 1 und 2 zur Abtastung einer gekrümmten Ob jektoberfläche.

Fig. 4b Schematische Darstellung der mit der Vorrichtung auf der Objekt oberfläche gemäß Fig. 4a erzeugten Abtastfläche.

Fig. 5 Zweites Anwendungsbeispiel der optoelektronischen Vorrichtung gemäß den Fig. 1 und 2 zur Abtastung einer schräg liegenden Objektoberfläche.

Fig. 6a Drittes Anwendungsbeispiel der optoelektronischen Vorrichtung gemäß den Fig. 1 und 2 zur Abtastung zweier aufeinander lie genden Objekte.

Fig. 6b Verlauf der Empfangssignale in Abhängigkeit der Ablenkpositio nen der Sendelichtstrahlen der optoelektronischen Vorrichtung für das Anwendungsbeispiel gemäß Fig. 5b.

Fig. 7a Viertes Anwendungsbeispiel der optoelektronischen Vorrichtung gemäß den Fig. 1 und 2 zur Abtastung einer Kantenstruktur.

Fig. 7b Verlauf der Empfangssignale in Abhängigkeit der Ablenkpositio nen der Sendelichtstrahlen für das Anwendungsbeispiel gemäß Fig. 7a.

Fig. 1 zeigt das Blockschaltbild eines Ausführungsbeispiels der erfindungs gemäßen optoelektronischen Vorrichtung 1. Die optoelektronische Vorrichtung 1 ist als Lichttaster ausgebildet und weist einen Sendelichtstrahlen 2 emittie renden Sender 3 und einen Empfangslichtstrahlen 4 empfangenden Empfänger 5 auf. Der Sender 3 ist von einer Laserdiode gebildet. Der Empfänger 5 besteht aus einer Fotodiode. Die Sendelichtstrahlen 2 werden durch einen Schwing spiegel 6 periodisch in zwei Raumrichtungen abgelenkt, so dass die Sendelicht strahlen 2 auf dem zu detektierenden Objekt 7 eine Abtastfläche 8 überstrei chen. Dabei werden die vom Objekt 7 reflektierten Empfangslichtstrahlen 4 nicht über den Schwingspiegel 6 geführt und gelangen direkt zum Empfänger 5. In dem Schwingspiegel 6 ist eine nicht dargestellte Ansteuereinheit integ riert. In dieser werden Ansteuerspannungen U_x, U_y generiert, mittels derer die Sendelichtstrahlen 2 in zwei Raumrichtungen x und y abgelenkt werden. Die Empfangssignale 4 am Ausgang des Empfängers 5 werden in einem Verstärker 9 verstärkt und dann auf eine Auswerteeinheit 10 geführt, die vorzugsweise von einem Mikroprozessor gebildet ist.

Zur Generierung des Objektfeststellungssignals werden die Amplituden der Empfangssignale mit wenigstens einem Schwellwert bewertet. Mittels des Schwellwerts wird aus den analogen Empfangssignalen ein binäres Schaltsig nal gebildet, dessen Schaltzustände angeben, ob sich ein Objekt 7 im Überwa chungsbereich befindet oder nicht. Zudem werden mit der optoelektronischen Vorrichtung 1 die Distanzen des jeweiligen Objekts 7 zur Vorrichtung 1 er mittelt. Der Sender 3 und der Empfänger 5 bilden dabei einen nach dem Licht laufzeitverfahren arbeitenden Distanzsensor. Die Distanzmessung kann nach dem Phasenmessprinzipverfahren erfolgen. Dabei wird dem vom Sender 3 emittierten Sendelichtstrahlen 2 mittels einer nicht dargestellten Modulations einheit eine Amplitudenmodulation aufgeprägt. In der Auswerteeinheit 10 wird die Phasendifferenz zwischen den vom Sender 3 emittierten Sendelichtstrahlen 2 und den vom Objekt 7 zum Empfänger 5 zurückreflektierten Empfangslicht strahlen 4 berechnet. Aus diesen Phasendifferenzen werden die Distanzwerte für die aktuellen Ablenkpositionen der Sendelichtstrahlen 2 ermittelt. Alterna tiv kann die Distanzmessung nach dem Impulslaufzeitverfahren erfolgen. In diesem Fall emittiert der Sender 3 Sendelichtstrahlen 2 in Form von vorgege benen Folgen von Sendelichtimpulsen. In der Auswerteeinheit 10 wird zur Distanzbestimmung die Laufzeit der vom Sender 3 emittierten und als Emp fangslichtimpulse zum Empfänger 5 zurückreflektierten Sendelichtimpulse ermittelt.

Das in der Auswerteeinheit 10 generierte binäre Schaltsignal wird über einen Schaltausgang 11 ausgegeben, der an die Auswerteeinheit 10 angeschlossen ist. Die ermittelten analogen Distanzwerte werden über eine Schnittstelleneinheit 12, die eine serielle Schnittstelle bildet und ebenfalls an die Auswerteeinheit 10 angeschlossen ist, ausgegeben.

In einer vorteilhaften Ausführungsform können die Distanzwerte in der Aus werteeinheit 10 mit vorgegebenen Schwellwerten bewertet werden. Dadurch sind unterschiedliche Distanzbereiche definierbar. In diesem Fall wird über die Schnittstelleneinheit 12 ausgegeben, in welchem Distanzbereich sich ein Ob jekt 7 befindet. In die Auswerteeinheit 10 können insbesondere über die Schnittstelleneinheit 12 Parameterwerte eingegeben werden. Hierzu gehören insbesondere die Schwellwerte sowie die Parameter zur Ansteuerung des Sen ders 3 und des Schwingspiegels 6. Weiterhin können als Parameterwerte Refe renzwerte in die Auswerteeinheit 10 eingegeben werden. Zur Objektdetektion werden dann die Amplituden- oder Distanzwerte, die aus den aktuellen Mes sungen gewonnen werden, mit den abgespeicherten, zugeordneten Referenz werten zur Generierung von Objektfeststellungssignalen verglichen.

Alternativ können zur Ermittlung der Referenzwerte auch Referenzmessungen mit der optoelektronischen Vorrichtung 1 durchgeführt werden.

Fig. 2 zeigt die optischen Komponenten der optoelektronischen Vorrichtung 1 gemäß Fig. 1. Dem Sender 3 ist ein Kollimator 13 zur Strahlformung der Sendelichtstrahlen 2 nachgeordnet. Die kollimierten Sendelichtstrahlen 2 wer den durch den Schwingspiegel 6 in zwei Raumrichtungen abgelenkt, wobei der Winkelbereich in jeder Raumrichtung, welcher von dem am Schwingspiegel 6 abgelenkten Sendelichtstrahlen 2 überstrichen wird, im Bereich zwischen 5° und 15° liegt und vorzugsweise 10° beträgt. Die von dem Objekt 7 zurückre flektierten Empfangslichtstrahlen 4 werden durch eine Empfangsoptik 14 auf den Empfänger 5 abgebildet.

Fig. 3 zeigt eine Detaildarstellung des Schwingspiegels 6. Der Schwingspie gel 6 ist als mikromechanischer Scannerspiegel ausgebildet, welcher ein plat tenförmiges Spiegelelement 15 aufweist, an welchem die Sendelichtstrahlen 2 reflektiert werden. Das Spiegelelement 15 besteht aus einer einkristallinen Sili ziumplatte, welche mit einer Aluminiumschicht beschichtet ist. Diese bildet die Spiegelfläche, an welcher die Sendelichtstrahlen 2 reflektiert werden.

Das Spiegelelement 15 ist mittels zwei ersten Torsionsstegen 16 an einem ers ten Rahmen 17 befestigt. Die Torsionsstege 16 münden an gegenüberliegenden Seitenwänden des Spiegelelements 15 aus und verlaufen entlang einer ersten Drehachse D_x. Durch eine Torsion der Torsionsstege 16 ist das Spiegelelement 15 bezüglich der Drehachse D_x im ersten Rahmen 17 drehbar gelagert.

Der erste Rahmen 17 liegt innerhalb eines zweiten Rahmens 18. Dabei sind die beiden Rahmen 17, 18 über zweite Torsionsstege 19 verbunden, die in einer zweiten Drehachse D_y verlaufen. Durch Torsion der zweiten Torsionsstege 19 ist der erste Rahmen 17 mit dem Spiegelelement 15 bezüglich der Drehachse D_y im zweiten Rahmen 18 drehbar gelagert.

Das plattenförmige Spiegelelement 15 weist einen quadratischen Querschnitt auf. Der erste und zweite Rahmen 17, 18 weisen quadratische Konturen auf und sind konzentrisch zum Spiegelelement 15 angeordnet.

In den parallel zur ersten Drehachse D_x verlaufenden Wandsegmenten des ers ten Rahmens 17 sind erste Antriebselektroden 20 vorgesehen. Durch Anlegen von Ansteuerspannungen U_x mit einer vorgegebenen Anregungsfrequenz f_x wird das Spiegelelement 15 mit der entsprechenden Anregungsfrequenz f_x be züglich der Drehachse D_x gedreht.

In dem parallel zur zweiten Drehachse D_y verlaufenden Wandsegmenten des zweiten Rahmens 18 sind zweite Antriebselektroden 21 vorgesehen. Durch Anlegen von Ansteuerspannungen U_y mit einer vorgegebenen Anregungsfre quenz f_y wird der erste Rahmen 17 mit der entsprechenden Anregungsfrequenz f_y bezüglich der zweiten Drehachse gedreht.

Durch Einstellen der beiden Anregungsfrequenzen der an den Antriebselektro den 20, 21 anliegenden Ansteuerspannungen U_x, U_y sind die Geschwindigkeit und Auflösung der Abtastung der Abtastfläche 8 einstellbar.

Fig. 4 zeigt ein erstes Anwendungsbeispiel der optoelektronischen Vorrich tung 1 zur Detektion eines Objektes 7 mit einer kugelförmigen spiegelnden Oberfläche. Da die Sendelichtstrahlen 2 an dieser Oberfläche gerichtet reflek tiert werden, ist diese mit einem herkömmlichen Lichtstrahler ohne Ablenkung der Sendelichtstrahlen 2 nur dann abtastbar, wenn die Sendelichtstrahlen 2 so orientiert sind, dass diese von der Oberfläche direkt in den Empfänger 5 zu rückreflektiert werden.

Wie insbesondere aus Fig. 4b ersichtlich, wird durch den Einsatz des Schwingspiegels 6 bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung 1 mit den in der Abtastfläche 8 geführten Sendelichtstrahlen 2 ein erheblicher Teil der Oberflä che des Objekts 7 erfasst. Damit wird insbesondere auch die Winkelposition der Sendelichtstrahlen 2 erhalten, bei der die Sendelichtstrahlen 2 so auf die Objektoberfläche gerichtet sind, dass die Empfangslichtstrahlen 4 gerichtet in den Empfänger 5 zurückreflektiert werden, so dass eine sichere Objektdetekti on gewährleistet ist.

Wie aus Fig. 4b ersichtlich, verläuft der Strahlfleck der Sendelichtstrahlen 2 in der Ebene der Abtastfläche 8 entlang von Abtastlinien, welche ein Lissajou muster bilden.

Durch Einstellung der Anregungsfrequenzen f_x, f_y des Schwingungsspiegels ist dieses Lissajoumuster gezielt vorgebbar.

Dabei ist insbesondere die Anzahl n der Abtastlinien innerhalb der Abtastfläche 8 gemäß folgender Beziehung vorgebbar.

n = ABS (1/(p-1)).

Dabei bildet p das Verhältnis der Anregungsfrequenz f_x, f_y. Die Abkürzung ABS steht für die Bildung des Absolutbezugs.

Auch die Bildfrequenz f_B, d. h. die Geschwindigkeiten der Abtastung der Ab tastfläche 8 ist gemäß folgender Beziehung einstellbar

f_b ~ f_x/n

d. h. die Bildfrequenz ist proportional zu der Anregungsfrequenz f_x (und auch f_y) und umgekehrt proportional zur Anzahl n der Abtastlinien pro Abtastfläche 8.

Fig. 5 zeigt als zweites Anwendungsbeispiel die Abtastung einer geneigten Objektoberfläche. Insbesondere durch Auswertung des Distanzprofils kann die Neigung der Objektoberfläche erfasst werden.

Fig. 6a zeigt als drittes Anwendungsbeispiel die Erfassung eines Objektes 7a, welches auf einem eine Unterlage bildenden Objekt 7 aufliegt. Die mittels der optoelektronischen Vorrichtung 1 erfasste Abtastfläche 8 ist auf das Objekt 7a sowie die Unterlage ausgerichtet. Durch Auswertung des Amplituden- und/oder Distanzwerte wird das in Fig. 6b dargestellte Höhenprofil erhalten. Da bei sind in Fig. 6b die mit Ue bezeichneten Empfangssignale in Abhängigkeit der Ablenkwinkel w_(x), w_(y) der Sendelichtstrahlen 2 aufgetragen.

Fig. 7a zeigt als viertes Ausführungsbeispiel die Abtastung eines quaderför migen Objektes 7a, welches auf der ebenen Oberfläche eines weiteren Objektes 7 aufliegt.

Durch Ermittlung des in Fig. 7b dargestellten Höhenprofils, d. h. der Emp fangssignale Ue in Abhängigkeit der Ablenkwinkel w_(x), w_(y) analog zu dem Ausführungsbeispiel gemäß den Fig. 6a, 6b kann die Lage der Kante des Objektes 7a bestimmt werden.

Bezugszeichenliste

1

Optoelektronische Vorrichtung

2

Sendelichtstrahlen

3

Sender

4

Empfangslichtstrahlen

5

Empfänger

6

Schwingspiegel

7

Objekt

7

a Objekt

8

Abtastfläche

9

Verstärker

10

Auswerteinheit

11

Schaltausgang

12

Schnittstelleneinheit

13

Kollimator

14

Empfangsoptik

15

Spiegelelement

16

Erster Torsionssteg

17

Erster Rahmen

18

Zweiter Rahmen

19

Zweiter Torsionssteg

20

Erste Antriebselektrode

21

Zweite Antriebselektrode

Claims

1. Optoelektronische Vorrichtung zum Erfassen von Objekten in einem Überwachungsbereich mit einem Sendelichtstrahlen emittierenden Sen der, einem Empfangslichtstrahlen empfangenden Empfänger sowie einer Auswerteeinheit zur Auswertung der am Empfänger anstehenden Emp fangssignale, dadurch gekennzeichnet, dass nur die Sendelichtstrahlen (2) über einen Schwingspiegel (6) periodisch in zwei Raumrichtungen abge lenkt werden, so dass diese auf der Oberfläche des Objekts (7) eine Ab tastfläche (8) überstreichen, und dass zur Generierung eines Objektfests stellungssignals in der Auswerteeinheit (10) die Empfangssignale in Ab hängigkeit der Ablenkposition des Schwingspiegels (6) ausgewertet wer den.

2. Optoelektronische Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich net, dass der Sender (3) von einer Laserdiode gebildet ist.

3. Optoelektronische Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, da durch gekennzeichnet, dass der Empfänger (5) von einer Fotodiode ge bildet ist.

4. Optoelektronische Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-3, dadurch gekennzeichnet, dass der Sender (3) und der Empfänger (5) einen nach dem Lichtlaufzeitverfahren arbeitenden Distanzsensor bilden.

5. Optoelektronische Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeich net, dass die Distanzmessung nach dem Phasenmessprinzip erfolgt, wo bei den Sendelichtstrahlen (2) des Senders (3) eine Amplitudenmodulati on aufgeprägt ist, und wobei zur Distanzbestimmung die Phasendifferenz zwischen den vom Sender (3) emittierten Sendelichtstrahlen (2) und den von einem Objekt (7) zum Empfänger (5) zurückreflektierten Empfangs lichtstrahlen (4) ermittelt wird.

6. Optoelektronische Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeich net, dass die Distanzmessung nach dem Impulslaufzeitverfahren erfolgt, wobei vom Sender (3) die Sendelichtstrahlen (2) als Folgen von Sende lichtimpulsen emittiert werden, und wobei zur Distanzbestimmung die Laufzeit der vom Sender (3) emittierten und als Empfangslichtimpulse von einem Objekt (7) zum Empfänger (5) zurückreflektierten Sende lichtimpulse ermittelt wird.

7. Optoelektronische Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, da durch gekennzeichnet, dass die Amplituden der Empfangssignale des Empfängers (5) mit wenigstens einem Schwellwert bewertet werden.

8. Optoelektronische Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeich net, dass mittels des Schwellwerts ein binäres Schaltsignal generiert wird, dessen Schaltzustände angeben, ob sich ein Objekt (7) innerhalb des Überwachungsbereichs befindet oder nicht.

9. Optoelektronische Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-8, dadurch gekennzeichnet, dass die aus den Empfangssignalen abgeleiteten Dis tanzwerte mit wenigstens einem Schwellwert bewertet werden.

10. Optoelektronische Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-9, dadurch gekennzeichnet, dass die Amplituden- und/oder die Distanzwerte der in Abhängigkeit der Ablenkwinkel des Schwingspiegels (6) erfassten Emp fangssignale mit in den Auswerteeinheit (10) abgespeicherten Referenz werten verglichen werden.

11. Optoelektronische Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-10, da durch gekennzeichnet, dass der Schwingspiegel (6) von einem mikrome chanischen Scannerspiegel gebildet ist.

12. Optoelektronische Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeich net, dass der mikromechanische Scannerspiegel ein plattenförmiges Spiegelelement (15) aufweist, welches mittels zwei ersten Torsionsstegen (16), die an gegenüberliegenden Seitenwänden des Spiegelelements (15) ausmünden und deren Längsachsen entlang einer ersten Drehachse D_x verlaufen, an einem ersten Rahmen (17) befestigt sind, wobei der erste Rahmen (17) innerhalb eines zweiten Rahmens (18) liegt und über zwei entlang einer zweiten Drehachse D_y verlaufende zweite Torsionsstege (19) mit dem zweiten Rahmen (18) verbunden ist.

13. Optoelektronische Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeich net, dass das plattenförmige Spiegelelement (15) einen quadratischen Querschnitt aufweist und im Zentrum des ersten Rahmens (17) liegt, welcher im Zentrum des zweiten Rahmens (18) liegt, wobei die beiden Rahmen (17, 18) jeweils eine quadratische Kontur aufweisen,

14. Optoelektronische Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass in der parallel zur ersten Drehachse D_x verlaufenden Wandsegmenten des ersten Rahmens (17) erste Antriebs elektroden (20) angeordnet sind mittels derer das Spiegelelement (15) be züglich der ersten Drehachse D_x drehbar ist.

15. Optoelektronische Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12-14, da durch gekennzeichnet, dass in den parallel zur zweiten Drehachse D_y verlaufenden Wandsegmenten des zweiten Rahmens (18) zweite An triebselektroden (21) angeordnet sind, mittels derer der erste Rahmen (17) mit dem Spiegelsegment (15) bezüglich der ersten Drehachse D_x drehbar ist.

16. Optoelektronische Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12-15, da durch gekennzeichnet, dass das Spiegelelement (15) aus einer einkristal linen Siliziumplatte besteht, welche mit einer Aluminiumschicht be schichtet ist.

17. Optoelektronische Vorrichtung nach einem der Ansprüche 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, dass durch Einstellen der Anregungsfrequenzen der an den Antriebselektroden (20, 21) anliegenden Ansteuerspannungen die Geschwindigkeit und die Auflösung der Abtastung der Abtastfläche (8) vorgebbar sind.