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DE10046973B4 - Verfahren zur Herstellung eines CVD-Diamantwerkzeugs und Verwendung - Google Patents

Verfahren zur Herstellung eines CVD-Diamantwerkzeugs und Verwendung Download PDF

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DE10046973B4
DE10046973B4 DE10046973A DE10046973A DE10046973B4 DE 10046973 B4 DE10046973 B4 DE 10046973B4 DE 10046973 A DE10046973 A DE 10046973A DE 10046973 A DE10046973 A DE 10046973A DE 10046973 B4 DE10046973 B4 DE 10046973B4
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Abstract

Verfahren zur Herstellung eines CVD-Diamantwerkzeugs mit den Schritten:
– Bereitstellen einer Negativform (40) mit einer Oberfläche, die der Oberflächengestalt des gewünschten Werkzeugs entspricht,
– Abscheiden von CVD-Diamant (42) auf der Oberfläche der Form, an die der CVD-Diamant mit einer Nukleationsfläche angrenzt,
– Auflösen der Form durch Säure oder ein anderes Lösungsmittel, so dass der abgeschiedene CVD-Diamant als ein Diamantprodukt (20), 420) verbleibt, wobei die freigelegte Nukleationsfläche eine Arbeitsfläche des gewünschten Werkzeugs bildet, und
– Verbinden des Diamantproduktes an einer von der Nukleationsfläche verschiedenen Verbindungsfläche mit einem Werkzeugsubstrat (22, 460),
dadurch gekennzeichnet, dass
- der Verbindungsschritt folgende Teilschritte beinhaltet:
i) Anbringen eines hochschmelzenden Partikelmaterials an der Verbindungsfläche des Diamantprodukts und Hinzufügen eines Legierungsmaterials und
ii) Aufheizen der Anordnung bis zum Schmelzen des Legierungsmaterials, das sich dadurch mit dem hochschmelzenden Partikelma terial zu einem mit dem Diamantprodukt verbundenen Substrataufbau verbindet.

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung eines CVD-Diamantwerkzeugs, das heißt auf ein durch chemische Gasphasenabscheidung (CVD) hergestelltes Werkzeug aus Diamant.
  • Diamant ist ein Material mit zahlreichen außergewöhnlichen Eigenschaften, wie hohe Abriebfestigkeit, hohe thermische Leitfähigkeit, schnelle Übertragung von Schallwellen und Korrosionsunanfälligkeit. Diese überlegenen Eigenschaften haben Diamant zum idealen Material für viele fortschrittliche Anwendungen gemacht. Zum Beispiel findet Diamant weitverbreiteten Einsatz als Hochleistungsschleifmittel, Wärmeverteiler, Akustikbauelement und chemische Barrieren. Herkömmlicherweise wird Diamant unter einem hohen Druck von mehr als dem 50fachen des Atmosphärendrucks synthetisiert, derartiger Diamant liegt jedoch typischerweise in Sandform vor. Wenngleich ein solcher Diamant ideal für Hochleistungsschleifmittel, wie zum Beispiel auch für Diamantsägen, ist, ist er für nicht mechanische Anwendungen, wie zum Beispiel als Wärmeverteiler, ungeeignet.
  • In den letzten Jahren wurden kommerziell auch Diamantfilme mit einer Dicke von bis zu 1 mm abgeschieden, und zwar durch CVD-Verfahren unter Verwendung von Reaktionsgasen. Diese Gase beinhalten typischerweise eine geringe Menge von weniger als 5% an kohlenstoffhaltigem Material, wie Methan (CH4), das in reichlich Wasserstoff (H2) verteilt ist. Während des Prozesses werden die Gase auf eine hohe Temperatur erhitzt, so dass das kohlenstoffhaltige Gas zur Freisetzung von Kohlenstoffatomen zersetzt wird. Gleichzeitig dissoziieren die Wasserstoffmoleküle und bilden Wasserstoffatome. Normalerweise scheiden sich die Kohlenstoffatome entweder als amorpher Kohlenstoff oder Graphit ab, in der Umgebung von Wasserstoffatomen behalten sie aber die Diamantstruktur der sp3-Bindung bei, wie im Fall von Methan, und scheiden sich als Diamant ab. Selbst bei Bildung von nicht-diamantartigem Kohlenstoff wandelt sich durch die rasche Anwesenheit von Wasserstoff der Kohlenstoff in Methan zurück. Die Wasserstoffatome spielen daher eine Schlüsselrolle zur Katalysierung der Diamantbildung. Je höher die Konzentration an Wasserstoffatomen, umso besser ist folglich die Qualität des gebildeten Diamants.
  • Es gibt verschiedene Möglichkeiten der Aufheizung des Gasgemischs, von denen Aufheizung durch Heißdraht, zum Beispiel unter Verwendung von Wolfram, Mikrowellenanregung, Oxyacetylenflamme und Gleichstrom(DC)-Bogen allgemein Verwendung finden. Zwar liegt die Temperatur zur Diamantabscheidung typischerweise im Bereich zwischen 800°C und 900°C, die Reaktionstemperatur für die Gase ist jedoch deutlich höher. Tatsächlich sind die Zersetzung der Gase zur Bildung von Kohlenstoff und Wasserstoffatomen umso vollständiger und die Depositionsrate des Diamants umso höher, je höher die Reaktionstemperatur ist. Die Heißdrahtmethode kann lediglich 2000°C oder geringfügig mehr erreichen, so dass mit ihr die Deposition am langsamsten abläuft, mit etwa 1μm/h. Die Mikrowellenanregung kann die Gase auf eine höhere Temperatur erhitzen, so dass eine mittlere Depositionsrate von etwa 10μm/h erreicht wird. Die Oxy-acetylenmethode kann noch höhere Plasmatemperaturen erreichen, so dass ihre Depositionsrate relativ hoch ist, zum Beispiel 30μm/h. Die DC-Bogenmethode kann die Gase auf die höchsten Temperaturen von etwa 6000°C bringen und daher Diamant mit der höchsten Rate aller obigen Methoden abscheiden, zum Beispiel mit 50μm/h. Allerdings ist die Depositionsfläche umso kleiner und der erzeugte Diamantfilm umso weniger gleichmäßig, je höher die Depositionsrate ist. Daher gibt es einen Kompromiss zwischen Depositionsrate und Depositionsfläche.
  • CVD-Diamantfilme enthalten polykristalline Diamantkörner. Dabei werden auf der Oberfläche des Substrats zuerst Diamantkristallkeime gebildet, und diese Kristallkeime wachsen dann mit zunehmender Körnigkeit, wie in den 1a bis 1d dargestellt. Daher hat der Film auf der Nukleationsseite die Tendenz, dieselbe Oberflächenbeschaffenheit aufzuweisen wie das Substratmaterial, die Wachstumsseite wird jedoch mit wachsender Grobkörnigkeit des Korns immer rauer. Für die meisten Anwendungen, wie Wärmeverteiler, muss die raue Oberfläche geschliffen und poliert werden. Da Diamant jedoch das härteste bekannte Material ist, ist die Bearbeitung von grobem Diamant extrem schwierig und aufwendig. Als Folge hiervon sind die mit der Nachbearbeitung eines Diamantfilms verbundenen Kosten oftmals höher als diejenige für seine Deposition. Die 1a bis 1d veranschaulichen die Nukleation und das Wachstum eines Diamantfilms. Hierzu ist anzumerken, dass die Nukleationsoberfläche ein Negativ der Substratoberfläche darstellt, und die Wachstumsoberfläche wird mit wachsender Depositionszeit immer rauer.
  • Des weiteren sind bestimmte Bearbeitungsprozeduren, wie das Einbringen einer gekrümmten Vertiefung in die Diamantoberfläche oder das Bohren einer quadratischen Öffnung durch Diamant hindurch, fast nicht zu erreichen. Solche Beschränkungen haben die möglichen Anwendungen von Diamantfilmen merklich beschränkt.
  • CVD-Diamantfilme wurden beispielsweise als ausgezeichneter Schneideinsatz verwendet. Wenn Diamant dazu benutzt wird, biegsames Material, wie eine Kupferlegierung, zu schneiden, muss der lange Schneidgang von Zeit zu Zeit unterbrochen werden. Dies erfolgt herkömmlicherweise durch Bereitstellen einer Mulde nahe der Schneidkante, wie es allgemein bei anderen Schneidwerkzeugen gemacht wird, um das während des Gewindeschneidvorgangs entfernte Material zu biegen und zu brechen. Es ist jedoch unmöglich, eine solche Mulde auf dem flachen Diamantfilm zu erzeugen. Daher sind CVD-Diamantschneider trotz ihrer extremen Beständigkeit nicht geeignet, biegsame Materialien zu schneiden.
  • Als ein weiteres Beispiel benötigen zahlreiche fortgeschrittene Anwendungen, zum Beispiel Schaltkreise in der Elektronikindustrie, die Verwendung von Metalldrähten mit dreieckiger, quadratischer oder unregelmäßiger Form. Diese Drähte können nicht mit herkömmlichen Drahtziehwerkzeugen aus Diamant gezogen werden, die nur kreisförmige Öffnungen aufweisen. Es gibt daher kein geeignetes Produkt, um diesen wichtigen Bedarf des Marktes zu decken.
  • Außerdem verwenden die meisten Anwendungen die Oberfläche von Diamantfilmen, zum Beispiel eines Extrudierwerkzeugs, wobei dann die Eigenschaft des Volumenmaterials möglicherweise unkritisch ist. Das herkömmliche CVD-Verfahren muss den Diamantfilm jedoch vom Boden aus aufwärts erzeugen. Wenn daher die Oberseite benötigt wird, muss der gesamte Film langsam aufgewachsen werden, um den oberseitigen Teil in gewünschter Weise zu erhalten. Ein derart aufwendiger Wachstumsprozess kann sehr kostspielig sein.
  • Beispiel 1: Aus Diamant gefertigte Schneideinsätze
  • Herkömmliche Diamantschneideinsätze umfassen hauptsächlich zwei Typen. Der erste Typ besteht darin, ein Einsatzstück aus Wolframcarbid (WC) mit einem dünnen Diamantfilm von zum Beispiel 30μm zu beschichten. Das Problem dieser Gestaltung besteht darin, dass die abgeschiedene Diamantoberfläche rau ist, so dass die Schneidoberfläche keine feine Oberflächenbe schaffenheit aufweist. Alternativ kann ein dicker Diamantfilm von zum Beispiel 30μm aufgewachsen werden. Der Diamantfilm kann dann mittels eines Lasers geschliffen und poliert werden, um eine dreieckförmige Schneidspitze zu bilden. Diese Spitze wird dann auf ein WC-Einsatzstück gelötet. Dieses Verfahren ist aufwendig und kostenintensiv. Zusätzlich zu den oben erwähnten Schwierigkeiten besteht bei diesen Diamantfilm-Schneideinsätzen das weitere Problem, dass ihre Oberseiten stets flach sind. Sie besitzen daher keine Spanbrecher zum effizienten Schneiden biegsamer Materialien.
  • 2 zeigt ein herkömmliches WC-Einsatzstück 10 mit einem eingedrückten Spanbrecher 12 in der Nähe jeder Schneidecke. 3 zeigt ein diamtbeschichtetes WC-Einsatzstück 14 ohne einen Spanbrecher. 4 illustriert einen auf ein WC-Einsatzstück 16 gelöteten, dicken Diamant, wiederum ohne einen Spanbrecher.
  • Beispiel 2: Aus Diamant gefertigte Drahtziehwerkzeuge
  • Zahlreiche Metalldrähte werden unter Verwendung von Werkzeugen aus polykristallinem Diamant (PCD) gezogen. Wie in 8 dargestellt, wird ein PCD 30 von WC 32 umgeben, und durch den PCD 30 hindurch wird, wie in 9 gezeigt, eine Öffnung 34 gebohrt, typischerweise mittels eines Lasers. Die Öffnung 34 wird dann vergrößert, um einen Trichter 340 zu bilden, wie in 10 gezeigt, und die Oberfläche wird unter Verwendung einer feinen Diamantpaste poliert. Obwohl dies von viel mühsamer Nachbearbeitung begleitet ist, stellen solche PCD-Werkzeuge noch immer die besten Werkzeuge für das Ziehen von Metalldrähten dar. Dennoch umfassen PCD-Werkzeuge nur solche mit runden Öffnungen, so dass es mit ihnen nicht möglich ist, polygonale Drähte zu ziehen, wie solche mit quadratischem Querschnitt.
  • Alle PCDs enthalten mehr als 10% Kobalt. Da Kobalt Diamant in amorphen Kohlenstoff oder Graphit zurückverwandeln kann, muss der PCD unterhalb einer Temperatur von etwa 700°C gehalten werden. Daher ist eine Schmierung und Kühlung durch Wasser oder eine andere Flüssigkeit wichtig. Während des Ziehprozesses tendiert der Metalldraht aber dazu, sich gegen den PCD anzupressen, wodurch er mit in dem PCD eingebettetem Kobalt verschweißen kann. Als Folge hiervon ist übermäßiges Erhitzen unumgänglich, und der PCD kann sich rasch aufgrund der Rückverwandlung in amorphen Kohlenstoff oder Graphit verschlechtern. Zudem kann das Ziehen die Oberfläche des Metalldrahtes durch Verursachen von Schweißpunkten und Brandmarken verschlechtern.
  • Beispiel 3: Aus Diamant gefertigte Pad-Konditionierer
  • Chemisch mechanisches Polieren (CMP) ist ein wichtiger Schritt bei der Herstellung von Silicium-Chips mit hochentwickelter Architektur. Während des CMP-Prozesses werden Silicium-Wafer gegen ein rotierendes Pad gedrückt, das typischerweise aus Polyurethan besteht. Ein Tisch wird mit einer Strömung aus einer Aufschlämmung versorgt, die ultrafeines Schleifmittel mit Abmessungen von weniger als 0,2μm enthält, zum Beispiel aus Silicium- oder Aluminiumoxid. Die Wafer werden folglich durch das Schleifmittel poliert, um eine bestimmte Ebenheit und Glattheit zu erreichen. Die wegpolierten Teilchen können jedoch das Pad beschichten und letzteres unbrauchbar machen, so dass von Zeit zu Zeit ein Diamantkonditionierer erforderlich ist, um die abgelagerten Bruchstücke abzukratzen.
  • Der Pad-Konditionierer enthält eine Mehrzahl von Diamantkörnern, die an einem Metallsubstrat, zum Beispiel aus Edelstahl, angebracht sind. Diese Körner dienen dazu, das Pad zu harken, um zu verhindern, dass sich seine Oberseite zusetzt. Die Effektivität der Säuberung des Pads und die Beständigkeit des Konditionierers sind von zwei kritischen Faktoren abhängig, dem Abstand der Diamantkörner und der Nivellierung ihrer Oberseiten. Diese zwei Faktoren sind notorisch schwer zu steuern. Deshalb enthalten fast alle herkömmlich verwendeten Diamantkonditionierer zufallsverteilte Diamantkörner mit einer hohen Schwankung ihrer Oberseitenhöhe.
  • In der Offenlegungsschrift DE 195 47 571 A1 ist ein Verfahren zur Herstellung eines Drahtziehwerkzeugs beschrieben, bei dem ein Rohling, der einen Mantel aus CVD-Diamant umfasst, an einem ihn umgebenden, relativ massiven Träger durch Löten, mechanisch oder eine Kombination dieser beiden Befestigungsarten befestigt wird. Der Träger ist typischerweise aus einer Aufschweiß-Hartlegierung, Stahl oder dgl. gefertigt. Zur Herstellung des Rohlings wird eine Diamantschicht durch CVD auf einem Metalldraht oder einem nicht metallischen Filament abgeschieden, wonach der Draht bzw. das Filament beispielsweise durch Säureätzen entfernt wird, so dass eine CVD-Diamanthülse als Rohling erhalten wird.
  • Bei einem in der Offenlegungsschrift EP 0 518 591 A1 offenbarten Verfahren zur Herstellung eines Gegenstands aus CVD-Material, z.B. eines freistehenden, trichterförmigen Mischrohrs aus Diamant, wird zunächst ein Substrat, z.B. aus Graphit, mit einer Oberfläche von gewünschter Gestalt bereitgestellt, wonach auf der Oberfläche ein Trägermaterial abgeschieden wird, das anschließend vom Substrat getrennt wird. Dann wird auf dem Träger mittels CVD Material abgeschieden, welches den herzustellenden Gegenstand bildet, indem es danach vom Träger getrennt wird.
  • Bei einem in der Offenlegungsschrift EP 0 400 947 A1 beschriebenen Verfahren wird ein Diamantfilm oder diamantartiger Film dadurch hergestellt, dass er auf einem festen Substrat aufgewachsen wird, das mit dem gewünschten Profil gestaltet ist, wobei optional auf die profilierte Oberfläche des Substrats eine dünne Karbidschicht vor dem Aufwachsen des Diamantfilms aufgebracht wird. Nach Aufwachsen des Diamantfilms wird das Substrat und optional die Karbidschicht entfernt.
  • Der Erfindung liegt als technisches Problem die Bereitstellung eines Verfahrens der eingangs genannten Art, mit dem sich ein CVD-Diamantwerkzeug in vorteilhafter Weise herstellen lässt, wobei es wenig oder keine aufwendigen Nachbehandlungsvorgänge erfordert und sich bei Bedarf auch in unregelmäßigen und/oder neuartigen Volumengestaltungen realisieren lässt, und einer vorteilhaften Verwendung zugrunde.
  • Die Erfindung löst dieses Problem durch die Bereitstellung eines Herstellungsverfahrens mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und einer Verwendung mit den Merkmalen des Anspruchs 9, 10 oder 11.
  • Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
  • Vorteilhafte, nachfolgend näher beschriebene Ausführungsformen der Erfindung sowie die zu deren besserem Verständnis oben erläuterten, herkömmlichen Ausführungsbeispiele sind in den Zeichnungen dargestellt, in denen zeigen:
  • Stand der Technik:
  • 1a bis 1d aufeinanderfolgende Stufen der Bildung von Diamantkristallkeimen auf der Oberfläche eines Substrats,
  • 2 einen herkömmlichen Werkzeugeinsatz aus Wolframcarbid (WC),
  • 3 einen herkömmlichen Werkzeugeinsatz aus diamantbeschichtetem Wolframcarbid ohne Spanbrecher,
  • 4 einen herkömmlichen Werkzeugeinsatz aus Wolframcarbid mit einem dicken Diamantfilm ohne Spanbrecher,
  • Erfindung:
  • 5 eine dünne Metallform zur Verwendung in der vorliegenden Erfindung,
  • 6 die Form von 5 nach erfindungsgemäßem Füllen mit einer Diamantfilmabscheidung,
  • 7 das Produkt von 6 nach Auflösen der Form,
  • Stand der Technik:
  • 8 einen herkömmlichen polykristallinen Diamant (PCD) umgeben von Wolframcarbid,
  • 9 den PCD von 8 mit einer hindurchgebohrten Öffnung,
  • 10 den PCD von 9 nach Vergrößerung der Öffnung,
  • Erfindung:
  • 11 eine Form zur Verwendung in der vorliegenden Erfindung,
  • 12 die Form von 11 mit einer Diamantabscheidung,
  • 13 die Diamantabscheidung von 12, gebildet als ein Werkzeug, nach Auflösen der Form,
  • 13a das Diamantwerkzeug von 13 umgeben von einem Metallpulver und einem Metallring vor einem abschließenden Verfestigungsschritt und
  • 14 das Diamantwerkzeug von 13a nach dem Verfestigungsschritt.
  • Die vorliegende Erfindung dreht die übliche Vorgehensweise um, bei der ein Diamantschicht Bildung eines Körpers erzeugt wird und dann bearbeitet wird, um eine gewünschte Gestalt zu zielen. Stattdessen wird in einem einzigen Prozess eine Diamantschicht in einer Form erzeugt, um die gewünschte Volumengestalt und Oberflächenbeschaffenheit zu erzielen. Ein restlicher Teil kann dann in einem späteren Stadium unter Verwendung eines viel kostengünstigeren Materials und/oder eines viel kostengünstigeren Verfahrens gefüllt werden. Dieses neuartige Konzept ist in der Lage, das Produkt zu erzeugen, das die Volumengestalt und Oberflächenbeschaffenheit der Form dupliziert, so dass aufwendige Nachbearbeitungsvorgänge eliminiert werden. Außerdem können sowohl komplizierte Volumengestaltungen als auch feine Oberflächenbeschaffenheiten aus der Form erzielt werden. Als Ergebnis können erstmals Diamant-Produkte mit neuartigen und einzigartigen Geometrien hergestellt werden.
  • Ein zentraler Aspekt der Erfindung ist die Fähigkeit, eine bestimmte Oberflächenbeschaffenheit der Form im abgeschiedenen Diamantprodukt zu reproduzieren, wobei Experimente durchgeführt worden sind, um. diese Fähigkeit zu überprüfen.
  • Es wurden zahlreiche Materialien mit unterschiedlichen Oberflächenbeschaffenheiten als Substrat zur Abscheidung von CVD-Diamant verwendet. Der verwendete CVD-Reaktor ist ein Serienproduktionssystem, das von sp3, Inc. in Kalifornien gefertigt wird. Der Reaktor beinhaltet ein Heißdrahtsystem mit einer Depositionsfläche von 30cm × 40cm. Es wurde festgestellt, dass auf diese Weise abgeschiedene Diamantschichten die Oberflächeneigenschaften des Substrates naturgetreu reproduzieren können, wenn das Substratmaterial geeignet ist, zum Beispiel Kupfer und Wolframcarbid, und die richtige Oberflächenbehandlung erfolgt ist, zum Beispiel sorgfältiges Reinigen. Das Konzept der Umkehrbeschichtung wurde somit erfolgreich bestätigt.
  • Herkömmlich wird die Wachstumsseite des Diamants als Werkzeugfläche verwendet. Die vorliegende Erfindung basiert hingegen auf der Nutzung der Nukleationsseite für die Anwendung. Die Nukleationsseite enthält Diamant-Mikrokristalle, die auf der Form gebildet wurden. Diese Kristallisationskeime brauchen nicht chemisch rein und auch nicht strukturell fehlerfrei zu sein. Zudem können dort auch amorpher Kohlenstoff oder pyrolitisches Graphit durch Co-Deposition abgeschieden werden. Da die Nukleationsseite als Werkzeugoberfläche verwendet wird, ist es entscheidend diese Seite so herzustellen, dass sie möglichst viel Diamant enthält.
  • Es wurden verschiedene Techniken eingesetzt, um die Diamantqualität der Nukleationsseite zu steigern. Beispielsweise können während der Anfangsphase der Diamantabscheidung die Methanflussrate reduziert und der Gasdruck erhöht werden. Auf diese Weise wird die Zersetzungsrate für Kohlenstoff herabgesetzt, die Konzentration an Wasserstoffatomen hingegen erhöht. Die niedrige Abscheidungsrate gekoppelt mit der erhöhten Menge an Katalysator gewährleistet, dass Diamantkristallisationskeime hoher Qualität gebildet werden.
  • Zudem sollte die Nukleationsrate so erhöht werden, dass geringfügige Risse im Substrat aufgefüllt werden. Die Nukleationsrate kann durch Anlegen einer negativen Vorspannung von zum Beispiel 100V an das Substrat effektiv gesteigert werden, bis zu einem Faktor von einer Million. Alternativ kann das Substrat durch Verwendung einer feinen Diamantpaste poliert werden. Nach dem Polieren können die eingebetteten Diamantmikropulver als effektive Kristallisationskeime für die Diamantnukleation dienen. Wenn die Nukleationsrate angehoben wird, erhöht sich die Diamantqualität auf der Nukleationsseite, und die -Substratoberflächenbeschaffenheit kann naturgetreu auf die Nukleationsoberfläche übertragen werden.
  • Bestimmte Metalle, wie Eisen, Kobalt, Nickel und deren Legierungen, können bei hoher Temperatur von mehr als 700°C Diamant in amorphen Kohlenstoff oder Graphit zurückkatalysieren. Es ist wesentlich, dass das Substratmaterial möglichst wenig von solchen Materialien enthält. Beispielsweise stellt mit Kobalt gesintertes Wolframcarbid (WC) ein gutes Substratmaterial zur Diamantabscheidung dar. Wenn WC zur Diamantabscheidung verwendet wird, sollte der Kobaltanteil auf 4% oder weniger begrenzt werden. In den letzten Jahren sind bindemittelfreie WC-Materialien erhältlich geworden. Diese Materialien sind zur Herstellung von Gießformen geeignet, zum Beispiel einer Öffnung für ein Drahziehwerkzeug. Wenn das WC-Korn ultrafein ist, das heißt mit Abmessungen im Submikrometer-Bereich, wird die Diamantnukleation weiter gesteigert. Das Ergebnis ist eine sehr glatte Oberfläche mit hohem Diamantgehalt, die für viele Anwendungen geeignet ist.
  • 5 zeigt eine dünne Metallform 20 mit der Negativgeometrie eines herkömmlichen Schneideinsatzes mit Spanbrechern. Das Metall kann W, Mo, Ta, Zr, Ti, Cr, V, Cu, Si oder ein anderes geeignetes Material sein. 6 zeigt diese Metallform 20 nach der Diamantabscheidung. 7 zeigt das Produkt nach dem Auflösen der Metallform 20, zum Beispiel mittels einer geeigneten Säure. Der untere Teil 22 der verbleibenden Diamantschicht enthält identisch die geometrische Gestalt der Metallform 20. Der oberer Teil 21 wird dann mit WC-Partikeln oder anderen hochschmelzenden Körnern, zum Beispiel SiC, versehen und mit einer Legierung versetzt, zum Beispiel einer Kupfer-Mangan-Legierung. Die festgewordene Legierung kann dann als Schneideinsatz dienen, wie in 7 gezeigt. Dieser Diamanteinsatz weist die Originaloberfläche der Metallform 20 auf, einschließlich der Spanbrecher. Dieses Diamantschneidwerkzeug benötigt keine aufwendige mechanische Nachbearbeitung. Die Erfindung löst somit die eingangs erwähnten Schwierigkeiten des Standes der Technik.
  • In einem weiteren erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel wird gemäß 11 zunächst eine zentrale Säule 40. aus bindemittelfreiem WC oder aus W-Metall mit der gewünschten Geometrie und Oberflächenbeschaffenheit hergestellt. Diese zentrale Säule 40 wird dann, wie in 12 gezeigt, mit CVD-Diamant 42 in einer Dicke von 50μm bis 100μm beschichtet. Die zentrale Säule 40 wird anschließend in Säure aufgelöst, so dass ein Diamantrohr 420 mit derselben Geometrie wie die zentrale Säule 40 zurückbleibt, wie in 13 dargestellt. Dieses Diamantrohr 420 wird in die Mitte eines Edelstahlrings 46 eingesetzt, wobei ein verbleibender Zwischenraum mit WC-Partikeln oder SiC-Körnern gefüllt wird, wie in 13a gezeigt. Auf die Oberseite dieser Partikel wird eine Kupfer-Mangan-Nickel-Legierung aufgehäuft. Dieses Zwischenprodukt wird als nächstes in einen Vakuumofen gebracht und geheizt, um ein Schmelzen der Kupferlegierung zu bewirken. Die Kupfer-Legierung dringt dann in das Pulver ein und verfestigt den Aufbau. Der starre Aufbau umfasst somit einen äußeren Edelstahlring 46 und ein Innenrohr 44 aus Diamant, wie in 14 gezeigt.
  • Das Diamantrohr wird durch die schrumpfende Kupfer-Legierung zusammengedrückt, deren Volumen sich während des Verfestigungsprozesses deutlich verringert. Diese Kompression ist sehr erwünscht, weil sie das Rohr vor Ausdehnung schützt, wenn durch einen zu ziehenden Draht eine nach außen drückende Kraft ausgeübt wird. Zudem ist diese Kompressionskraft einstellbar und kann so verändert werden, dass sie zum Typ des zu ziehenden Drahtes passt, zum Beispiel niedrig zum Ziehen von Kupfer und hoch zum Ziehen von Wolfram. Die Kompressionskraft kann in einfacher Weise durch Einstellen des Verhältnisses von Pulver zu Metall verändert werden. Je mehr Metall verwendet wird, umso höher ist die Kompressionskraft.
  • Die oben beschriebene, neuartige Technologie macht nicht nur die aufwendige Nachbearbeitung überflüssig und reduziert dadurch die Produktionskosten deutlich, sondern verbessert auch die Qualität des Drahtziehwerkzeugs in mehrfacher Hinsicht. Im Unterschied zu PCD, der weniger als 90Vol.% Diamant enthält, besteht der CVD-Diamant (CVDD) vollständig aus Diamant, so dass seine Verschleißlebensdauer viel höher als diejenige von PCD sein kann, wobei die Gebrauchsdauer nicht linear proportional zum Diamantgehalt ist, sondern mit diesem über eine Exponentialfunktion zusammenhängt.
  • CVDD ist viel glatter als PCD, der Kobalt anlagerndes Metall enthält, so dass die beim Drahtziehen erzeugte Wärme deutlich niedriger bleibt. Außerdem kann CVDD einer Temperatur von 1200°C standhalten, was viel höher als die 700°C für PCD ist. Daher kann der Gebrauch von flüssigem Schmiermittel eventuell entfallen. Dies trägt nicht nur zur Kostenverringerung des Drahtziehwerkzeugs selbst bei, sondern vermeidet auch mit dem Schmiermittel verbundene Umweltbelastungen. Aus Gründen des Umweltschutzes wird die Bearbeitungsindustrie zu "trockenem" Betrieb gedrängt, so dass die vorliegende Erfindung diesem weltweiten Trend entgegenkommt.
  • Des weiteren kann die Eliminierung von Kobalt in der Kontaktoberfläche die Oberflächenbeschaffenheit des Drahtes deutlich verbessern, beispielsweise bewirken, dass er eine reflektierende Beschaffenheit aufweist. Solche Hochqualitätsdrähte werden von der Elektronikindustrie zum Beispiel als verunrei nigungsfreie Kupferdrähte und von der Schmuckbranche zum Beispiel für glänzende Golddrähte stark gewünscht.
  • Ein noch bemerkenswerterer Durchbruch auf Basis der vorliegenden Erfindung besteht darin, dass das Ziehen von Draht mit Hilfe von nicht kreisförmigen Öffnungen genauso einfach durchgeführt werden kann wie mit Hilfe von kreisförmigen Öffnungen. Daher können Drähte mit dreieckförmigem oder quadratischem Querschnitt sehr einfach gefertigt werden. Die Einführung von gegenwärtig kaum erhältlichen Drähten mit nichtkreisförmigem Querschnitt ermöglicht neue Gestaltungen von Produkten für bestimmte Anwendungsgebiete, zum Beispiel in der Elektronikindustrie, und kann folglich die Gründung einer neuen Industrie anspornen.

Claims (11)

  1. Verfahren zur Herstellung eines CVD-Diamantwerkzeugs mit den Schritten: – Bereitstellen einer Negativform (40) mit einer Oberfläche, die der Oberflächengestalt des gewünschten Werkzeugs entspricht, – Abscheiden von CVD-Diamant (42) auf der Oberfläche der Form, an die der CVD-Diamant mit einer Nukleationsfläche angrenzt, – Auflösen der Form durch Säure oder ein anderes Lösungsmittel, so dass der abgeschiedene CVD-Diamant als ein Diamantprodukt (20), 420) verbleibt, wobei die freigelegte Nukleationsfläche eine Arbeitsfläche des gewünschten Werkzeugs bildet, und – Verbinden des Diamantproduktes an einer von der Nukleationsfläche verschiedenen Verbindungsfläche mit einem Werkzeugsubstrat (22, 460), dadurch gekennzeichnet, dass - der Verbindungsschritt folgende Teilschritte beinhaltet: i) Anbringen eines hochschmelzenden Partikelmaterials an der Verbindungsfläche des Diamantprodukts und Hinzufügen eines Legierungsmaterials und ii) Aufheizen der Anordnung bis zum Schmelzen des Legierungsmaterials, das sich dadurch mit dem hochschmelzenden Partikelma terial zu einem mit dem Diamantprodukt verbundenen Substrataufbau verbindet.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, weiter dadurch gekennzeichnet, dass die Negativform aus Metall besteht.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, weiter dadurch gekennzeichnet, dass das Metall überwiegend ein solches ist, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die aus W, Mo, Ta, Ti, Zr, V, Cr, Si und Cu besteht.
  4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, weiter dadurch gekennzeichnet, dass die Form eine konkave, insbesondere schalenförmige, oder konvexe, insbesondere zylindrische, Gestalt besitzt.
  5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, weiter dadurch gekennzeichnet, dass der CVD-Diamant unter Verwendung eines Heißdrahtes, eines Mikrowellenplasmas, einer Oxyacetylenflamme oder eines DC-Bogens zur Aufheizung von hierzu verwendetem Gas abgeschieden wird.
  6. Verfahren nach Anspruch 5, weiter dadurch gekennzeichnet, dass das Gas Methan und Wasserstoff enthält.
  7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, weiter dadurch gekennzeichnet, dass der CVD-Diamant eine Dicke von 30μm bis 200μm aufweist.
  8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, weiter dadurch gekennzeichnet, dass das Werkzeugsubstrat einen Metallring (46) beinhaltet, in den das verbliebene Diamantprodukt (420) im Verbindungsschritt eingebracht wird, um es mit diesem durch den Verbindungsprozess zu verbinden.
  9. Verwendung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 8 zur Herstellung eines aus Diamant bestehenden Schneidwerkzeugs, eines aus Diamant bestehenden Drahtziehwerkzeugs, ei nes aus Diamant bestehenden Pad-Konditionierers, einer Diamantmembran oder eines Diamantrohrs.
  10. Verwendung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 8 zur Herstellung eines aus Diamant bestehenden Schneidwerkzeugs, das Spanbrecher aufweist.
  11. Verwendung eines Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 8 zur Herstellung eines aus Diamant bestehenden Drahtziehwerkzeugs mit einer nicht kreisförmigen Öffnung.
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