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CN216549963U - 一种无需氮封的超纯水装置 - Google Patents

一种无需氮封的超纯水装置 Download PDF

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CN216549963U
CN216549963U CN202123004095.9U CN202123004095U CN216549963U CN 216549963 U CN216549963 U CN 216549963U CN 202123004095 U CN202123004095 U CN 202123004095U CN 216549963 U CN216549963 U CN 216549963U
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CN
China
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water
reverse osmosis
edi
tank
stage reverse
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CN202123004095.9U
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English (en)
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苏战华
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Liaoning Lavender Environmental Engineering Co ltd
Original Assignee
Liaoning Lavender Environmental Engineering Co ltd
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Abstract

本实用新型公开一种无需氮封的超纯水装置,涉及超纯水制备技术领域,包括原水预处理系统、双级反渗透系统、EDI系统、EDI产水箱、EDI产水箱底部电阻率测试仪、合格产水阀、不合格产水回流阀和PLC;通过EDI产水箱底部电阻率测试仪实时检测EDI产水箱中的水质情况,当水质合格时通过合格产水阀为用水点供水,当水质不合格时,PLC控制合格产水阀关闭,同时控制不合格产水回流阀打开,EDI产水箱中水质不合格的水通过不合格产水回流阀回流至EDI系统再次处理,直至EDI产水箱中的水合格。本实用新型取消了对EDI产水箱进行氮封,极大地降低了成本。

Description

一种无需氮封的超纯水装置
技术领域
本实用新型涉及超纯水制备技术领域,特别是涉及一种无需氮封的超纯水装置。
背景技术
常规的超纯水系统就是通过一系列的除盐工艺,将自来水的电导率从 1000us/cm降至0.055us/cm,最后盛装超纯水的水箱,一般采用氮封,即为了保证超纯水的出水水质稳定,一般使用氮封的超纯水水箱(EDI产水箱),避免空气中的二氧化碳气体溶解到超纯水中。溶解到超纯水中的二氧化碳最终变化为水体中的碳酸根,会导致超纯水中离子含量的增加,进而使超纯水的水质下降。为防止这一现象,实际生产中人们经常采用向EDI产水箱中填充氮气这一方法,对EDI产水箱进行氮封,使超纯水和空气隔绝开来。但是这种方法的弊端就是氮气耗费量较大,因而净水成本高。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种无需氮封的超纯水装置,取消了对EDI产水箱进行氮封,极大地降低了成本。
为实现上述目的,本实用新型提供了如下方案:
一种无需氮封的超纯水装置,所述装置包括原水预处理系统、双级反渗透系统、EDI系统、EDI产水箱、EDI产水箱底部电阻率测试仪、合格产水阀、不合格产水回流阀和PLC;
所述原水预处理系统、所述双级反渗透系统、所述EDI系统和所述EDI 产水箱依次连接;所述EDI产水箱分别与所述合格产水阀和所述不合格产水回流阀连接;所述PLC分别与所述EDI产水箱底部电阻率测试仪、所述合格产水阀和所述不合格产水回流阀连接;所述不合格产水回流阀与所述EDI系统连接;
所述原水预处理系统用于对原水进行预处理;所述双级反渗透系统用于对预处理后的原水进行脱盐,得到双级反渗透产水;所述EDI系统用于脱除所述双级反渗透产水中的离子,得到EDI产水;所述EDI产水箱用于收集所述 EDI产水;所述合格产水阀的初始状态为开启状态;所述不合格产水回流阀的初始状态为关闭状态;所述EDI产水箱底部电阻率测试仪用于实时检测所述 EDI产水箱中所述EDI产水的水质,并判断所述水质是否低于设定阈值,在所述水质低于所述设定阈值时发送信号给所述PLC;所述PLC用于在接收所述信号后,控制所述合格产水阀关闭,并控制所述不合格产水回流阀开启,使所述EDI产水箱中的所述EDI产水经所述不合格产水回流阀进入所述EDI系统再次处理。
可选地,所述原水预处理系统具体包括依次连接的原水箱、原水泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器和保安过滤器;
所述保安过滤器与所述双级反渗透系统连接;
所述原水箱用于对进入所述原水箱的原水稳定流量;所述原水泵用于对稳定流量后的原水进行增压;所述石英砂过滤器用于去除增压后的原水中的杂质;所述活性炭过滤器用于吸附去除杂质后的原水中的余氯、胶体和有机物;所述保安过滤器用于对吸附余氯、胶体和有机物后的原水进一步去除杂质和微生物,得到预处理后的原水。
可选地,所述原水预处理系统还包括阻垢剂加药系统;
所述阻垢剂加药系统分别与所述活性炭过滤器和所述保安过滤器连接;
所述阻垢剂加药系统用于阻止所述吸附余氯、胶体和有机物后的原水中的钙镁离子和碳酸根或者硫酸根结合。
可选地,所述双级反渗透系统具体包括依次连接的一级反渗透系统、一级反渗透水箱、二级反渗透系统和二级反渗透水箱;
所述一级反渗透系统与所述保安过滤器连接;所述二级反渗透水箱分别与所述EDI系统和所述不合格产水回流阀连接;
所述一级反渗透系统用于对所述预处理后的原水进行第一次脱盐,得到一级反渗透产水;所述一级反渗透水箱用于收集所述一级反渗透产水;所述二级反渗透系统用于对所述一级反渗透产水进行第二次脱盐,得到双级反渗透产水;所述二级反渗透水箱用于收集所述双级反渗透产水以及经所述不合格产水回流阀回流的所述EDI产水箱中的所述EDI产水。
可选地,所述双级反渗透系统还包括一级反渗透高压泵和二级反渗透高压泵;
所述一级反渗透高压泵分别与所述保安过滤器和所述一级反渗透系统连接;所述二级反渗透高压泵分别与所述一级反渗透水箱和所述二级反渗透系统连接;
所述一级反渗透高压泵用于为所述一级反渗透系统提供除盐的动力;所述二级反渗透高压泵用于为所述二级反渗透系统提供除盐的动力。
可选地,所述双级反渗透系统还包括pH调节剂加药系统;
所述pH调节剂加药系统分别与所述二级反渗透高压泵和所述一级反渗透水箱连接;
所述pH调节剂加药系统用于调整所述一级反渗透产水的pH值。
可选地,所述EDI系统具体包括依次连接的EDI增压泵、紫外线杀菌器、精密过滤器和EDI模块;
所述EDI增压泵与所述二级反渗透水箱连接;所述EDI模块与所述EDI 产水箱连接;
所述EDI增压泵用于对所述双级反渗透产水进行增压;所述紫外线杀菌器用于对增压后的双级反渗透产水进行紫外线杀菌;所述精密过滤器用于对紫外线杀菌后的双级反渗透产水进行过滤;所述EDI模块用于脱除过滤后的双级反渗透产水中的离子,得到EDI产水。
可选地,所述装置还包括恒压给水泵;
所述恒压给水泵分别与所述EDI产水箱、所述合格产水阀和所述不合格产水回流阀连接;
所述恒压给水泵用于将所述EDI产水以恒定的压力外输。
根据本实用新型提供的具体实施例,本实用新型公开了以下技术效果:
本实用新型公开的无需氮封的超纯水装置,通过EDI产水箱底部电阻率测试仪实时检测EDI产水箱中的水质情况,当水质合格时通过合格产水阀为用水点供水,当水质不合格时,PLC控制合格产水阀关闭,同时控制不合格产水回流阀打开,EDI产水箱中水质不合格的水通过不合格产水回流阀回流至 EDI系统再次处理,直至EDI产水箱中的水合格,从而实现了即使EDI产水箱不填充氮气,也能保证超纯水装置产水水质合格且稳定,取消了对EDI产水箱进行氮封,为用户减少了现场氮气的使用量,极大地降低了成本。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型无需氮封的超纯水装置实施例的结构图;
符号说明:1-原水箱、2-原水泵、3-石英砂过滤器、4-活性炭过滤器、5- 阻垢剂加药系统、6-保安过滤器、7-一级RO高压泵、8-一级反渗透系统、9- 一级反渗透系统产水电导率检测仪表、10-一级RO水箱、11-pH调节剂加药系统、12-二级RO高压泵、13-二级反渗透系统、14-二级反渗透系统产水电导率检测仪表、15-二级RO水箱16-EDI增压泵、17-紫外线杀菌器、18-精密过滤器、19-EDI模块、20-EDI模块产水电阻率检测仪表、21-EDI产水箱、22-EDI 产水箱底部电阻率检测仪表、23-恒压给水泵、24-合格产水阀、25-不合格产水回流阀。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型的目的是提供一种无需氮封的超纯水装置,取消了对EDI产水箱进行氮封,极大地降低了成本。
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
图1为本实用新型无需氮封的超纯水装置实施例的结构图。参见图1,该无需氮封的超纯水装置包括原水预处理系统、双级反渗透系统、EDI系统、EDI 产水箱21、EDI产水箱底部电阻率测试仪22、合格产水阀24、不合格产水回流阀25和PLC(图中未示出)。
原水预处理系统、双级反渗透系统、EDI系统和EDI产水箱21依次连接; EDI产水箱21分别与合格产水阀24和不合格产水回流阀25连接;PLC分别与EDI产水箱底部电阻率测试仪22、合格产水阀24和不合格产水回流阀25 连接;不合格产水回流阀25与EDI系统连接。
原水预处理系统用于对原水进行预处理;双级反渗透系统用于对预处理后的原水进行脱盐,得到双级反渗透产水;EDI系统用于脱除双级反渗透产水中的离子,得到EDI产水;合格产水阀24的初始状态为开启状态;不合格产水回流阀25的初始状态为关闭状态;EDI产水箱21用于收集EDI产水;EDI 产水箱底部电阻率测试仪22用于实时检测EDI产水箱21中EDI产水的水质,并判断水质是否低于设定阈值,在水质低于设定阈值时发送信号给PLC;PLC 用于在接收信号后,控制合格产水阀24关闭,并控制不合格产水回流阀25 开启,使EDI产水箱21中的EDI产水经不合格产水回流阀25进入EDI系统再次处理。
其中,PLC仅是收发信号的简单功能,EDI产水箱底部电阻率测试仪22 能够实时检测EDI产水箱21中EDI产水的水质,并将水质与EDI产水箱底部电阻率测试仪22中设置的阈值进行比较,在水质低于设定阈值时发送信号给 PLC,PLC接收信号后不需要对接收的信号进行处理,只是在接收到EDI产水箱底部电阻率测试仪22发送的信号后便发送开关信号给合格产水阀24和不合格产水回流阀25,具体为发送关闭信号给合格产水阀24,发送开启信号给不合格产水回流阀25。
具体的,原水预处理系统具体包括依次连接的原水箱1、原水泵2、石英砂过滤器3、活性炭过滤器4和保安过滤器6。
保安过滤器6与双级反渗透系统连接。
原水箱1用于对进入原水箱1的原水稳定流量;原水泵2用于对稳定流量后的原水进行增压;石英砂过滤器3用于去除增压后的原水中的杂质;活性炭过滤器4用于吸附去除杂质后的原水中的余氯、胶体和有机物;保安过滤器6 用于对吸附余氯、胶体和有机物后的原水进一步去除杂质和微生物(简单的机械过滤),得到预处理后的原水。
进一步的,原水预处理系统还包括阻垢剂加药系统5。
阻垢剂加药系统5分别与活性炭过滤器4和保安过滤器6连接,具体为:阻垢剂加药系统5与活性炭过滤器4和保安过滤器6之间的管道连接。
阻垢剂加药系统5用于阻止吸附余氯、胶体和有机物后的原水中的钙镁离子和碳酸根或者硫酸根结合。
具体的,双级反渗透系统具体包括依次连接的一级反渗透系统8、一级反渗透水箱10、二级反渗透系统13和二级反渗透水箱15。
一级反渗透系统8与保安过滤器6连接;二级反渗透水箱15分别与EDI 系统和不合格产水回流阀25连接。
一级反渗透系统8用于对预处理后的原水进行第一次脱盐,得到一级反渗透产水;一级反渗透水箱10用于收集一级反渗透产水;二级反渗透系统13 用于对一级反渗透产水进行第二次脱盐,得到双级反渗透产水;二级反渗透水箱15用于收集双级反渗透产水以及经不合格产水回流阀25回流的EDI产水箱21中的EDI产水。经不合格产水回流阀25回流的EDI产水箱21中的EDI 产水即不合格产水。
进一步的,双级反渗透系统还包括一级反渗透高压泵7和二级反渗透高压泵12。
一级反渗透高压泵7分别与保安过滤器6和一级反渗透系统8连接;二级反渗透高压泵12分别与一级反渗透水箱10和二级反渗透系统13连接。
一级反渗透高压泵7用于为一级反渗透系统8提供除盐的动力;二级反渗透高压泵12用于为二级反渗透系统13提供除盐的动力。
双级反渗透系统还包括pH调节剂加药系统11。
pH调节剂加药系统11分别与二级反渗透高压泵12和一级反渗透水箱10 连接,具体为:pH调节剂加药系统11与一级反渗透水箱10和二级反渗透高压泵12之间的管道连接。
pH调节剂加药系统11用于调整一级反渗透产水的pH值。
具体的,EDI系统具体包括依次连接的EDI增压泵16、紫外线杀菌器17、精密过滤器18和EDI模块19。
EDI增压泵16与二级反渗透水箱15连接;EDI模块19与EDI产水箱21 连接。
EDI增压泵16用于对双级反渗透产水进行增压;紫外线杀菌器17用于对增压后的双级反渗透产水进行紫外线杀菌;精密过滤器18用于对紫外线杀菌后的双级反渗透产水进行过滤;EDI模块19用于脱除过滤后的双级反渗透产水中的离子,得到EDI产水。
该无需氮封的超纯水装置还包括恒压给水泵23。
恒压给水泵23分别与EDI产水箱21、合格产水阀24和不合格产水回流阀25连接。
恒压给水泵23用于将EDI产水以恒定的压力外输。
进一步的,该无需氮封的超纯水装置还包括PLC自动控制系统,即常规超纯水系统中所包括的PLC自动控制系统。常规超纯水系统中PLC自动控制系统为整个超纯水系统的自动控制系统。常规超纯水系统中PLC自动控制系统的自动控制包括水箱液位和水泵的联动、水泵的高压、低压报警等等,都是 PLC自动控制系统自动控制,水箱液位和水泵的联动、水泵的高压、低压报警这些自动控制的控制程序均是现有程序。此外,PLC自动控制系统还可以替代本实用新型无需氮封的超纯水装置中的PLC实现不合格产水回流,即电阻率测试仪将测量的电阻率传入PLC自动控制系统,PLC自动控制系统自动将其与设定的电阻率值对比(简单的数值比较功能,采用比较器也可实现),若电阻率测试仪测量的电阻率比设定的电阻率值低,则PLC自动控制系统会发送开关信号控制合格产水阀关闭、不合格产水回流阀开启。
该无需氮封的超纯水装置可替换现有处理工艺,适用于石英玻璃清洗等对于超纯水水质要求不太严格的行业和领域,该无需氮封的超纯水装置主要包括的处理系统有原水箱1、原水泵2、石英砂过滤器3、活性炭过滤器4、阻垢剂加药系统5、保安过滤器6、一级反渗透高压泵(一级RO高压泵)7、一级反渗透系统8、一级反渗透水箱(一级RO水箱)10、二级反渗透+高压泵(二级RO高压泵)12、二级反渗透系统13、二级反渗透水箱(二级RO水箱)15、 EDI增压泵16、紫外线杀菌器17、精密过滤器18、EDI模块19、EDI产水箱 21、恒压给水泵23、合格产水阀24和不合格产水回流阀25,这些都是常规超纯水制备的工艺,本实用新型也是采用这种工艺,只不过取消EDI产水箱21 的氮封,增加了产水末端的两个电动阀,即合格产水阀24和不合格产水回流阀25。系统原水进水可以是自来水、地表水和地下水,进水水质符合《生活饮用水卫生标准》(GB 5749-2006)。
本实用新型无需氮封的超纯水装置的工艺流程(工作流程)参见图1,具体如下:
本实用新型无需氮封的超纯水装置包括原水箱1、原水泵2、石英砂过滤器3、活性炭过滤器4、阻垢剂加药系统5、保安过滤器6、一级RO高压泵7、一级反渗透系统8、一级反渗透系统产水电导率检测仪表9、一级RO水箱10、pH调节剂加药系统11、二级RO高压泵12、二级反渗透系统13、二级反渗透系统产水电导率检测仪表14、二级RO水箱15、EDI增压泵16、紫外线杀菌器17、精密过滤器18、EDI模块19、EDI模块产水电阻率检测仪表20、EDI 产水箱21、EDI产水箱底部电阻率测试仪(EDI产水箱底部电阻率检测仪表) 22、恒压给水泵23、合格产水阀24和不合格产水回流阀25。
其中,原水箱1包括原水箱进出水阀组、溢流管道和水箱液位计;石英砂过滤器3包括填料、布水系统和自动控制阀头;活性炭过滤器4包括填料、布水系统和自动控制阀头;一级反渗透系统8包括浓水和产水端流量检测组件、压力检测组件、浓水调节阀组以及自动冲洗阀组;二级反渗透系统13包括浓水和产水端流量检测组件、压力检测组件、浓水调节阀组以及自动冲洗阀组; EDI模块19包括浓水和产水端流量检测组件、压力检测组件以及浓水流量过低报警系统,这些均是现有的、可以直接拿来用的装置。
无需氮封的超纯水装置的原水从现场自动进水管道进入原水箱1。原水箱1的出水口与原水泵2的进水口相连。原水泵2的出水口与石英砂过滤器3的进水口相连。石英砂过滤器3的出水口与活性炭过滤器4的进水口相连。活性炭过滤器4的出水口与保安过滤器6的进水口相连,阻垢剂加药系统5通过三通安装在保安过滤器6的进水口。保安过滤器6的出水口与一级RO高压泵7 的进水口相连。一级RO高压泵7的出水口与一级反渗透系统8的进水口相连。一级反渗透系统8的出水口与一级RO水箱10的进水口相连。一级反渗透系统产水电导率检测仪表9通过三通安装在一级反渗透系统8的出水口。一级 RO水箱10的出水口与二级RO高压泵12的进水口相连。pH调节剂加药系统 11通过三通安装在二级RO高压泵12的进水口。二级RO高压泵12的出水口与二级反渗透系统13的进水口相连。二级反渗透系统13的出水口与二级RO 水箱15的进水口相连,二级反渗透系统产水电导率检测仪表14通过三通安装在二级反渗透系统13出水口。二级RO水箱15的出水口与EDI增压泵16的进水口相连。EDI增压泵16的出水口与紫外线杀菌器17的进水口相连。紫外线杀菌器17的出水口与精密过滤器18的进水口相连。精密过滤器18的出水口与EDI模块19的进水口相连。EDI模块19的出水口与EDI产水箱21的进水口相连。EDI产水箱底部电阻率检测仪表22通过三通安装在EDI产水箱21 的进水口(即能检测到EDI产水箱21中水的水质的位置)。EDI产水箱21 的出水口与恒压给水泵23的进水口相连。恒压给水泵23的出水口与合格产水阀24的进水口相连。不合格产水回流阀25通过三通安装在合格产水阀24的进水口。
利用本实用新型无需氮封的超纯水装置,包括如下步骤:
原水经过原水箱1稳定流量后,经过原水泵2的增压后,进入石英砂过滤器3和活性炭过滤器4,石英砂过滤器3可去除原水中大颗粒杂质,活性炭过滤器4可吸附原水中的余氯、胶体、有机物,由于原水中硬度较高,所以在原水进入双级反渗透系统之前设置阻垢剂加药系统5,将钙镁离子与硫酸根、碳酸根、碳酸氢根等分离,避免反渗透膜元件表面结垢,同时原水中的钙镁离子、硫酸根、碳酸根、碳酸氢根等离子会以离子的形式被反渗透膜元件截留在浓水侧,就这样原水中的硬度被有效去除。
由于反渗透系统的膜元件孔径较小,很容易被大颗粒杂质和细菌污堵,所以在双级反渗透系统之前设置保安过滤器6,保安过滤器6的过滤精度为5微米,可以有效截留石英砂过滤器没有截留的大颗粒杂质,也可有效截留活性炭过滤器没有吸附的微生物。保安过滤器6是反渗透系统进水的水质的最后保障。双级反渗透系统的除盐原理是利用高压,使水中的离子克服渗透压而向浓水侧聚集,所以在反渗透系统之前设置反渗透高压泵,为反渗透系统提供除盐的动力。即一级RO高压泵7为一级反渗透系统8提供除盐的动力;二级RO 高压泵12为二级反渗透系统13提供除盐的动力。一级RO水箱10的主要作用是使进入二级反渗透系统13的流量和压力稳定,保证双级反渗透系统的稳定运行。双级反渗透系统是主要的除盐设备,其脱盐率可达95%-98%,反渗透系统的产水进入后端的一级RO水箱(一级RO产水箱)10,或者二级RO 水箱(二级RO产水箱)15。
二级RO水箱15中的产水(二级RO产水)经过EDI增压泵16增压,进入EDI模块19进一步脱除水中的离子,由于EDI模块19对于进水的水质要求较高,而且出于延长EDI模块寿命的考虑,在EDI模块之前增加紫外线杀菌器17和过滤精度为1微米的精密过滤器18。在EDI模块19出水管道上设置EDI模块产水电阻率检测仪表20,不仅可以直观的看出EDI模块的产水水质,更能良好的反应EDI模块的运行状态。
EDI模块19产水进入EDI产水箱21,EDI产水箱21设置EDI产水箱底部电阻率检测仪表22,可实时检测EDI产水箱中的水质情况,将此读数和EDI 模块产水电阻率检测仪表20的读数(EDI模块出水管道上的电阻率仪表读数) 作比较,可以清楚的了解EDI产水箱21中水质的变化情况。
恒压给水泵23可将EDI产水以恒定的压力外输。恒压给水泵23后的合格产水阀24和不合格产水回流阀25与EDI产水箱底部电阻率检测仪表22联动,当电阻率低于设定数值时,且用水点需要恒压给水时,EDI产水箱21中的产水先通过不合格产水回流阀25回流到二级RO水箱15,再次经过EDI模块19处理,提升水质。此时二级RO水箱15至EDI产水箱21之间的超纯水一直在不断流动,水中的离子随着EDI的浓水不断的回流到一级RO水箱10,直至EDI产水箱21中水质高于设定数值时,超纯水经过合格产水阀24进入用水点。
本实用新型无需氮封的超纯水装置,为一种无需氮封的超纯水制备新工艺。本实用新型提供了一种无需氮封的超纯水系统的新工艺路线和一种工艺系统,通过现有处理工艺的优化替换,可实现无需设置氮封系统就可以保证超纯水系统的出水电阻率达到实际需求,减少了现场氮气的使用量。本实用新型通过在EDI产水箱21设置电阻率传感器(EDI产水箱底部电阻率测试仪22),实时检测EDI产水箱21中的水质情况(通过电阻率传感器测量的读数获知),同时在用水点设置不合格产水回流阀组,保证用水点的水质,即设置两个电动阀24和25,当产水水质合格的时候,电动阀24开、25关,产水进入用水点,当产水水质不合格的时候,24关、25开,产水回流到前端水箱。当EDI产水箱21中的水质低于设定水质(通过电阻率传感器测量的读数获知),且用水点恰好用水时,恒压给水泵23正常启动,此时的不合格产水通过用水点的不合格回流阀组,回流到二级反渗透产水箱(二级RO水箱)15,重新经过EDI 系统(EDI系统为由很多个EDI模块19组成的撬装设备,作用是除盐)的处理后再次到达用水点电阻率监测点(采用电阻率检测仪表监测用水点电阻率),用水点电阻率监测点即图1中EDI产水箱底部电阻率测试仪22所设置的位置,若水质合格(通过电阻率传感器测量的读数获知),则进入用水点,若水质不合格,继续回流至二级反渗透产水箱15,这样就实现了即使EDI产水箱21不填充氮气,也能保证超纯水系统产水水质合格且稳定,为用户减少了现场氮气的使用量。
相较于现有的处理工艺,本实用新型具有如下优点:
1、无需使用氮封的方式将超纯水和空气隔离,减少了系统氮气的使用量。
2、在产水箱中设置电阻率检测仪表,产水水质更加直观。
3、设置不合格产水回流,保证了产水水质稳定。
本说明书中各个实施例采用递进的方式描述,每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处,各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。
本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想;同时,对于本领域的一般技术人员,依据本实用新型的思想,在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述,本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (8)

1.一种无需氮封的超纯水装置,其特征在于,所述装置包括原水预处理系统、双级反渗透系统、EDI系统、EDI产水箱、EDI产水箱底部电阻率测试仪、合格产水阀、不合格产水回流阀和PLC;
所述原水预处理系统、所述双级反渗透系统、所述EDI系统和所述EDI产水箱依次连接;所述EDI产水箱分别与所述合格产水阀和所述不合格产水回流阀连接;所述PLC分别与所述EDI产水箱底部电阻率测试仪、所述合格产水阀和所述不合格产水回流阀连接;所述不合格产水回流阀与所述EDI系统连接;
所述原水预处理系统用于对原水进行预处理;所述双级反渗透系统用于对预处理后的原水进行脱盐,得到双级反渗透产水;所述EDI系统用于脱除所述双级反渗透产水中的离子,得到EDI产水;所述EDI产水箱用于收集所述EDI产水;所述合格产水阀的初始状态为开启状态;所述不合格产水回流阀的初始状态为关闭状态;所述EDI产水箱底部电阻率测试仪用于实时检测所述EDI产水箱中所述EDI产水的水质,并判断所述水质是否低于设定阈值,在所述水质低于所述设定阈值时发送信号给所述PLC;所述PLC用于在接收所述信号后,控制所述合格产水阀关闭,并控制所述不合格产水回流阀开启,使所述EDI产水箱中的所述EDI产水经所述不合格产水回流阀进入所述EDI系统再次处理。
2.根据权利要求1所述的无需氮封的超纯水装置,其特征在于,所述原水预处理系统具体包括依次连接的原水箱、原水泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器和保安过滤器;
所述保安过滤器与所述双级反渗透系统连接;
所述原水箱用于对进入所述原水箱的原水稳定流量;所述原水泵用于对稳定流量后的原水进行增压;所述石英砂过滤器用于去除增压后的原水中的杂质;所述活性炭过滤器用于吸附去除杂质后的原水中的余氯、胶体和有机物;所述保安过滤器用于对吸附余氯、胶体和有机物后的原水进一步去除杂质和微生物,得到预处理后的原水。
3.根据权利要求2所述的无需氮封的超纯水装置,其特征在于,所述原水预处理系统还包括阻垢剂加药系统;
所述阻垢剂加药系统分别与所述活性炭过滤器和所述保安过滤器连接;
所述阻垢剂加药系统用于阻止所述吸附余氯、胶体和有机物后的原水中的钙镁离子和碳酸根或者硫酸根结合。
4.根据权利要求2所述的无需氮封的超纯水装置,其特征在于,所述双级反渗透系统具体包括依次连接的一级反渗透系统、一级反渗透水箱、二级反渗透系统和二级反渗透水箱;
所述一级反渗透系统与所述保安过滤器连接;所述二级反渗透水箱分别与所述EDI系统和所述不合格产水回流阀连接;
所述一级反渗透系统用于对所述预处理后的原水进行第一次脱盐,得到一级反渗透产水;所述一级反渗透水箱用于收集所述一级反渗透产水;所述二级反渗透系统用于对所述一级反渗透产水进行第二次脱盐,得到双级反渗透产水;所述二级反渗透水箱用于收集所述双级反渗透产水以及经所述不合格产水回流阀回流的所述EDI产水箱中的所述EDI产水。
5.根据权利要求4所述的无需氮封的超纯水装置,其特征在于,所述双级反渗透系统还包括一级反渗透高压泵和二级反渗透高压泵;
所述一级反渗透高压泵分别与所述保安过滤器和所述一级反渗透系统连接;所述二级反渗透高压泵分别与所述一级反渗透水箱和所述二级反渗透系统连接;
所述一级反渗透高压泵用于为所述一级反渗透系统提供除盐的动力;所述二级反渗透高压泵用于为所述二级反渗透系统提供除盐的动力。
6.根据权利要求5所述的无需氮封的超纯水装置,其特征在于,所述双级反渗透系统还包括pH调节剂加药系统;
所述pH调节剂加药系统分别与所述二级反渗透高压泵和所述一级反渗透水箱连接;
所述pH调节剂加药系统用于调整所述一级反渗透产水的pH值。
7.根据权利要求4所述的无需氮封的超纯水装置,其特征在于,所述EDI系统具体包括依次连接的EDI增压泵、紫外线杀菌器、精密过滤器和EDI模块;
所述EDI增压泵与所述二级反渗透水箱连接;所述EDI模块与所述EDI产水箱连接;
所述EDI增压泵用于对所述双级反渗透产水进行增压;所述紫外线杀菌器用于对增压后的双级反渗透产水进行紫外线杀菌;所述精密过滤器用于对紫外线杀菌后的双级反渗透产水进行过滤;所述EDI模块用于脱除过滤后的双级反渗透产水中的离子,得到EDI产水。
8.根据权利要求1所述的无需氮封的超纯水装置,其特征在于,所述装置还包括恒压给水泵;
所述恒压给水泵分别与所述EDI产水箱、所述合格产水阀和所述不合格产水回流阀连接;
所述恒压给水泵用于将所述EDI产水以恒定的压力外输。
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CN115286154A (zh) * 2022-08-02 2022-11-04 深圳市龙图光电有限公司 掩模版清洗用超纯水系统及检测方法

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