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CN102980897A - 检测方法及检测装置 - Google Patents

检测方法及检测装置 Download PDF

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CN102980897A
CN102980897A CN2012105281676A CN201210528167A CN102980897A CN 102980897 A CN102980897 A CN 102980897A CN 2012105281676 A CN2012105281676 A CN 2012105281676A CN 201210528167 A CN201210528167 A CN 201210528167A CN 102980897 A CN102980897 A CN 102980897A
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China
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CN2012105281676A
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林勇佑
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TCL China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Original Assignee
Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
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Publication date
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Abstract

本发明公开了一种用于阵列基板的检测方法和检测装置，其中，检测方法包括步骤：扫描阵列基板的缺陷，确定所述缺陷的尺寸；根据所述缺陷的尺寸，生成切换控制指令，将镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率；采用切换后的所述镜头拍摄所述缺陷。本发明通过对扫描到的缺陷尺寸进行分析，根据缺陷尺寸切换拍摄镜头，使切换后的镜头能够拍摄到清晰、完整的缺陷图片，有利于对缺陷类型进行分析，有效提升了对缺陷的分析准确率。

Description

检测方法及检测装置
技术领域
本发明涉及到检测技术领域，特别涉及用于液晶面板制程中阵列基板的检测方法及检测装置。
背景技术
阵列基板是液晶面板的重要元件之一，在阵列基板的制程中，需要采用自动光学检测（Automatic Optic Inspection，AOI）系统对阵列基板进行检测。自动光学检测系统是基于光学原理来对阵列基板进行检测，其通过光学扫描装置自动扫描阵列基板，采集图像，检查出阵列基板上缺陷，并通过显示器或自动标志把缺陷显示或标示出来，供维修人员修复。目前常用的检测装置仅具有单一倍率的扫描镜头，在检测时通常采用该扫描镜头对阵列基板进行扫描拍照，当遇到的瑕疵太大时，超出了扫描视野，无法完整清晰的显示缺陷的图像；或当拍摄到的瑕疵部分太小时，所呈现的缺陷图像看不清缺陷，导致无法判断出正确的缺陷类型。
发明内容
本发明的主要目的为提供一种可根据基板缺陷尺寸调整拍摄视野的检测方法和装置。
本发明提出一种检测方法，用于检测阵列基板，包括步骤：
扫描阵列基板的缺陷，确定所述缺陷的尺寸；
根据所述缺陷的尺寸，生成切换控制指令，将镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率；
采用切换后的所述镜头拍摄所述缺陷。
优选地，所述将镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率的步骤具体包括：
根据所述切换控制指令，控制镜头切换器移动，带动所述镜头切换器上的与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率所对应的镜头移动至所述缺陷上方。
优选地，所述将镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率的步骤具体包括：
根据所述切换控制指令，调整所述镜头的放大倍率，使所述镜头的放大倍率与所述缺陷尺寸相适应。
优选地，所述根据缺陷的尺寸，生成切换控制指令，将镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率的步骤具体包括：
确定所述缺陷的尺寸所在的预设尺寸范围；
根据所述预设尺寸范围，生成对应的切换控制指令；
将镜头切换至与所述预设尺寸范围对应的放大倍率。
优选地，所述将镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率的步骤具体包括：
当所述缺陷的尺寸大于或等于100μm时，将镜头切换至5倍放大倍率；
当所述缺陷的尺寸大于20μm且小于100μm时，将镜头切换至10倍放大倍率；
当所述缺陷的尺寸小于或等于20μm时，将镜头切换至50倍放大倍率。
本发明还提出一种检测装置，用于检测阵列基板，包括光学扫描仪、镜头切换器和镜头，所述光学扫描仪用于扫描阵列基板的缺陷，确定所述缺陷的尺寸；所述镜头切换器用于根据所述缺陷的尺寸，生成切换控制指令，并根据切换控制指令控制所述镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率，并控制切换后的所述镜头拍摄所述缺陷。
优选地，所述镜头切换器用于根据所述切换控制指令移动，带动所述镜头切换器上的与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率所对应的镜头移动至所述缺陷上方。
优选地，所述镜头切换器用于根据所述切换控制指令调整所述镜头的放大倍率，使所述镜头的放大倍率与所述缺陷尺寸相适应。
优选地，所述镜头切换器具体包括：
尺寸范围确定单元，用于确定所述缺陷的尺寸所在的预设尺寸范围；
切换控制指令生成单元，用于根据所述预设尺寸范围，生成对应的切换控制指令；
放大倍率切换单元，用于将镜头切换至与所述预设尺寸范围对应的放大倍率。
优选地，所述放大倍率切换单元进一步用于：
当所述缺陷的尺寸大于或等于100μm时，将镜头切换至5倍放大倍率；
当所述缺陷的尺寸大于20μm且小于100μm时，将镜头切换至10倍放大倍率；
当所述缺陷的尺寸小于或等于20μm时，将镜头切换至50倍放大倍率。
本发明通过对扫描到的缺陷尺寸进行分析，根据缺陷尺寸切换拍摄镜头，确保切换后的镜头能够拍摄到清晰、完整的缺陷图片，有利于对缺陷类型进行分析，有效提升了对缺陷的分析准确率。
附图说明
图1为本发明检测方法的第一实施例的流程图；
图2为本发明检测方法的第二实施例的流程图；
图3为本发明检测方法的第三实施例的流程图；
图4为本发明检测方法的第四实施例的流程图；
图5为本发明检测方法的第五实施例的流程图；
图6为本发明检测装置的第一实施例的结构示意图；
图7为本发明检测装置的第二实施例的结构示意图。
本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
如图1所示，图1为本发明检测方法的第一实施例的流程图。本实施例提到的检测方法，包括步骤：
步骤S101，扫描阵列基板的缺陷，确定缺陷的尺寸；
本实施例中，阵列基板在进入检测装置后，由检测装置的光学扫描仪对阵列进行扫描，确定阵列基板上的缺陷数量和缺陷尺寸。
步骤S102，根据缺陷的尺寸，生成切换控制指令，将镜头切换至与缺陷尺寸相适应的放大倍率；
针对每一个缺陷，当缺陷尺寸较大时，减小镜头的放大倍率；当缺陷尺寸较小时，增大镜头的放大倍率。放大倍率的切换可采用切换镜头的方式，不同的镜头具有不同的放大倍率，或者采用放大倍率可调的镜头，对镜头的放大倍率进行调整。
步骤S103，采用切换后的镜头拍摄缺陷。
切换后的镜头相对于当前缺陷尺寸具备合适的视野，能够将当前缺陷拍摄清楚、完整。
本实施例通过对扫描到的缺陷尺寸进行分析，根据缺陷尺寸切换拍摄镜头，确保切换后的镜头能够拍摄到清晰、完整的缺陷图片，有利于对缺陷类型进行分析，有效提升了对缺陷的分析准确率，提高了制程监控效果。
如图2所示，图2为本发明检测方法的第二实施例的流程图。本实施例的检测方法包括：
步骤S201，扫描阵列基板的缺陷，确定缺陷的尺寸；
本实施例中，阵列基板在进入检测装置后，由检测装置的光学扫描仪对阵列进行扫描，确定阵列基板上的缺陷数量和缺陷尺寸。
步骤S202，根据缺陷的尺寸，生成切换控制指令；
针对每一个缺陷，当缺陷尺寸较大时，切换控制指令指示减小镜头的放大倍率；当缺陷尺寸较小时，切换控制指令指示增大镜头的放大倍率。
步骤S203，根据切换控制指令，控制镜头切换器移动，带动镜头切换器上的与缺陷尺寸相适应的放大倍率所对应的镜头移动至缺陷上方；
本实施例采用切换不同的镜头，实现放大倍率的切换，将多个不同放大倍率的镜头排列于镜头切换器上，例如，放大倍率分别为50倍、20倍、10倍、5倍、2倍的镜头，可采用一字型排列，或采用圆形排列。当缺陷的尺寸较大时，可采用放大倍率较小的镜头，通过控制镜头切换器移动，带动5倍放大倍率的镜头移动至缺陷上方，采用5倍放大倍率的镜头拍摄缺陷的照片；当缺陷的尺寸较小时，采用放大倍率较大的镜头，通过控制镜头切换器移动，带动50倍放大倍率的镜头移动至缺陷上方，采用50倍放大倍率的镜头拍摄缺陷的照片。
步骤S204，采用切换后的镜头拍摄缺陷。
本实施例根据切换控制指令控制镜头切换器的移动，带动镜头移动，使适用于当前缺陷尺寸的镜头切换至当前缺陷上方，实现放大倍率的切换，确保切换后的镜头能够拍摄到清晰、完整的缺陷图片，有利于对缺陷类型进行分析，有效提升了对缺陷的分析准确率。
如图3所示，图3为本发明检测方法的第三实施例的流程图。本实施例的检测方法包括：
步骤S301，扫描阵列基板的缺陷，确定缺陷的尺寸；
本实施例中，阵列基板在进入检测装置后，由检测装置的光学扫描仪对阵列进行扫描，确定阵列基板上的缺陷数量和缺陷尺寸。
步骤S302，根据缺陷的尺寸，生成切换控制指令；
针对每一个缺陷，当缺陷尺寸较大时，切换控制指令指示减小镜头的放大倍率；当缺陷尺寸较小时，切换控制指令指示增大镜头的放大倍率。
步骤S303，根据切换控制指令，调整镜头的放大倍率，使镜头的放大倍率与缺陷尺寸相适应；
本实施例在镜头切换器上连接一个放大倍率可调的镜头，当缺陷的尺寸较大时，镜头切换器将镜头的放大倍率调至较小的放大倍率，采用较小的放大倍率拍摄缺陷的照片；当缺陷的尺寸较小时，镜头切换器将镜头的放大倍率调至较大的放大倍率，采用较大的放大倍率拍摄缺陷的照片。
步骤S304，采用切换后的镜头拍摄缺陷。
本实施例根据切换控制指令控制镜头切换器调整镜头的放大倍率，使镜头的放大倍率适用于当前缺陷尺寸，实现放大倍率的切换，确保放大倍率切换后的镜头能够拍摄到清晰、完整的缺陷图片，有利于对缺陷类型进行分析，有效提升了对缺陷的分析准确率。
如图4所示，图4为本发明检测方法的第四实施例的流程图。本实施例的检测方法包括：
步骤S401，扫描阵列基板的缺陷，确定缺陷的尺寸；
本实施例中，阵列基板在进入检测装置后，由检测装置的光学扫描仪对阵列进行扫描，确定阵列基板上的缺陷数量和缺陷尺寸。
步骤S402，确定缺陷的尺寸所在的预设尺寸范围；
调用缺陷尺寸数据表，获取预设尺寸范围与放大倍率的映射关系；或预先手动输入合适的尺寸范围，将预设尺寸范围与放大倍率建立映射关系。然后判断当前扫描的缺陷尺寸落入了哪一个预设尺寸范围，以确定当前缺陷的尺寸范围。
步骤S403，根据预设尺寸范围，生成对应的切换控制指令；
查找对应的预设尺寸范围后，查询映射关系数据表，获得与预设尺寸范围对应的放大倍率，并生成响应的切换控制指令。
步骤S404，将镜头切换至与预设尺寸范围对应的放大倍率；
根据切换控制指令，将镜头放大倍率切换至与预设尺寸范围对应的放大倍率。
步骤S405，采用切换后的镜头拍摄缺陷。
本实施例通过预设尺寸范围与放大倍率建立映射关系，根据当前扫描的缺陷尺寸，获得需要切换的放大倍率，使切换后的镜头能够拍摄到清晰、完整的缺陷图像，有利于对缺陷类型进行分析，有效提升了对缺陷的分析准确率。
如图5所示，图5为本发明检测方法的第五实施例的流程图。本实施例以图4所示实施例为基础，对确定放大倍率的步骤进行了详细描述。
步骤S501，扫描阵列基板的缺陷，确定缺陷的尺寸；
本实施例中，阵列基板在进入检测装置后，由检测装置的光学扫描仪对阵列进行扫描，确定阵列基板上的缺陷数量和缺陷尺寸。
步骤S502，确定缺陷的尺寸所在的预设尺寸范围；
调用缺陷尺寸数据表，获取预设尺寸范围与放大倍率的映射关系；或预先手动输入合适的尺寸范围，将预设尺寸范围与放大倍率建立映射关系。然后判断当前扫描的缺陷尺寸落入了哪一个预设尺寸范围，以确定当前缺陷的尺寸范围。
步骤S503，根据预设尺寸范围，生成对应的切换控制指令；
查找对应的预设尺寸范围后，查询映射关系数据表，获得与预设尺寸范围对应的放大倍率，并生成响应的切换控制指令，其包括以下步骤：
步骤S511，当缺陷的尺寸大于或等于100μm时，将镜头切换至5倍放大倍率；
步骤S512，当缺陷的尺寸大于20μm且小于100μm时，将镜头切换至10倍放大倍率；
步骤S513，当缺陷的尺寸小于或等于20μm时，将镜头切换至50倍放大倍率；
步骤S504，采用切换后的镜头拍摄缺陷。
本实施例以放大倍率分别为5倍、10倍和50倍为例，预设尺寸范围与放大倍率的映射关系如下表：
预设尺寸范围 放大倍率
≥100μm 5倍
20μm~100μm 10倍
≤20μm 50倍
根据预设尺寸范围与放大倍率的映射关系，获得需要切换的放大倍率，使切换后的镜头能够拍摄到清晰、完整的缺陷图像，有利于对缺陷类型进行分析，有效提升了对缺陷的分析准确率。
如图6所示，图6为本发明检测装置的第一实施例的结构示意图。本实施例提到的检测装置，用于检测阵列基板，包括光学扫描仪10、镜头切换器20以及镜头30，光学扫描仪10用于扫描基板的缺陷并确定缺陷的尺寸；镜头切换器20用于根据光学扫描仪确定缺陷的尺寸，生成切换控制指令，并根据控制指令控制镜头30切换至与缺陷尺寸相适应的放大倍率，并控制切换后的镜头30拍摄缺陷。
本实施例中，阵列基板在进入检测装置后，由检测装置的光学扫描仪10对阵列进行扫描，确定阵列基板上的缺陷数量和缺陷尺寸。针对每一个缺陷，当缺陷尺寸较大时，减小镜头30的放大倍率；当缺陷尺寸较小时，增大镜头30的放大倍率。放大倍率的切换可采用切换镜头30的方式，不同的镜头30具有不同的放大倍率，或者采用放大倍率可调的镜头30，对镜头30的放大倍率进行调整。切换后的镜头30相对于当前缺陷尺寸具备合适的视野，能够将当前缺陷拍摄清楚、完整。本实施例通过对扫描到的缺陷尺寸进行分析，根据缺陷尺寸切换拍摄镜头30，确保切换后的镜头30能够拍摄到清晰、完整的缺陷图片，有利于对缺陷类型进行分析，有效提升了对缺陷的分析准确率，提高了制程监控效果。
本发明实施例可采用多个不同放大倍率的镜头30，镜头切换器20根据切换控制指令移动，带动镜头切换器20上的与缺陷尺寸相适应的放大倍率所对应的镜头30移动至缺陷上方，实现镜头30的切换。具体为，采用切换不同的镜头30，实现放大倍率的切换，将多个不同放大倍率的镜头30排列于镜头切换器20上，例如，放大倍率分别为50倍、20倍、10倍、5倍、2倍的镜头30，可采用一字型排列，或采用圆形排列。当缺陷的尺寸较大时，可采用放大倍率较小的镜头30，通过控制镜头切换器20移动，带动5倍放大倍率的镜头30移动至缺陷上方，采用5倍放大倍率的镜头30拍摄缺陷的照片；当缺陷的尺寸较小时，采用放大倍率较大的镜头30，通过控制镜头切换器20移动，带动50倍放大倍率的镜头30移动至缺陷上方，采用50倍放大倍率的镜头30拍摄缺陷的照片。本实施例根据切换控制指令控制镜头切换器20的移动，带动镜头30移动，使适用于当前缺陷尺寸的镜头30切换至当前缺陷上方，实现放大倍率的切换，确保切换后的镜头30能够拍摄到清晰、完整的缺陷图片，有利于对缺陷类型进行分析，有效提升了对缺陷的分析准确率。
本发明实施例还可采用一个放大倍率可调的镜头30，镜头切换器20根据切换控制指令调整镜头30的放大倍率，使镜头30的放大倍率与缺陷尺寸相适应，实现镜头30的放大倍率切换。具体为，在镜头切换器20上连接该放大倍率可调的镜头30，当缺陷的尺寸较大时，镜头切换器20将镜头30的放大倍率调至较小的放大倍率，采用较小的放大倍率拍摄缺陷的照片；当缺陷的尺寸较小时，镜头切换器20将镜头30的放大倍率调至较大的放大倍率，采用较大的放大倍率拍摄缺陷的照片。本实施例根据切换控制指令控制镜头切换器20调整镜头30的放大倍率，使镜头30的放大倍率适用于当前缺陷尺寸，实现放大倍率的切换，确保放大倍率切换后的镜头30能够拍摄到清晰、完整的缺陷图片，有利于对缺陷类型进行分析，有效提升了对缺陷的分析准确率。
如图7所示，图7为本发明检测装置的第二实施例的结构示意图。本实施例以图6所示实施例为基础，对镜头切换器20的具体结构进行详细说明，以说明根据缺陷尺寸范围切换镜头30的具体工作原理。其中，镜头切换器20具体包括：
尺寸范围确定单元21，用于确定缺陷的尺寸所在的预设尺寸范围；
切换控制指令生成单元22，用于根据预设尺寸范围，生成对应的切换控制指令；
放大倍率切换单元23，用于将镜头30切换至与预设尺寸范围对应的放大倍率。
本实施例的检测装置中存储有缺陷尺寸数据表，该缺陷尺寸数据表预设尺寸范围与放大倍率的映射关系；或预先手动输入合适的尺寸范围，将预设尺寸范围与放大倍率建立映射关系。尺寸范围确定单元21用于判断当前扫描的缺陷尺寸落入了哪一个预设尺寸范围，以确定当前缺陷的尺寸范围。切换控制指令生成单元22用于在尺寸范围确定单元21找到对应的预设尺寸范围后，查询映射关系数据表，获得与预设尺寸范围对应的放大倍率，并生成对应的切换控制指令。放大倍率切换单元23用于根据切换控制指令将镜头30放大倍率切换至与预设尺寸范围对应的放大倍率。本实施例通过预设尺寸范围与放大倍率建立映射关系，根据当前扫描的缺陷尺寸，获得需要切换的放大倍率，使切换后的镜头30能够拍摄到清晰、完整的缺陷图像，有利于对缺陷类型进行分析，有效提升了对缺陷的分析准确率。
本发明实施例中，放大倍率切换单元23实现了缺陷尺寸范围与放大倍率的对应切换，其中，放大倍率切换单元23进一步用于：
当缺陷的尺寸大于或等于100μm时，将镜头30切换至5倍放大倍率；
当缺陷的尺寸大于20μm且小于100μm时，将镜头30切换至10倍放大倍率；
当缺陷的尺寸小于或等于20μm时，将镜头30切换至50倍放大倍率。
本实施例以放大倍率分别为5倍、10倍和50倍为例，预设尺寸范围与放大倍率的映射关系如下表：
预设尺寸范围 放大倍率
≥100μm 5倍
20μm~100μm 10倍
≤20μm 50倍
根据预设尺寸范围与放大倍率的映射关系，获得需要切换的放大倍率，使切换后的镜头30能够拍摄到清晰、完整的缺陷图像，有利于对缺陷类型进行分析，有效提升了对缺陷的分析准确率。
以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种检测方法，用于检测阵列基板，其特征在于，包括步骤：
扫描阵列基板的缺陷，确定所述缺陷的尺寸；
根据所述缺陷的尺寸，生成切换控制指令，将镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率；
采用切换后的所述镜头拍摄所述缺陷。
2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述将镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率的步骤具体包括：
根据所述切换控制指令，控制镜头切换器移动，带动所述镜头切换器上的与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率所对应的镜头移动至所述缺陷上方。
3.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述将镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率的步骤具体包括：
根据所述切换控制指令，调整所述镜头的放大倍率，使所述镜头的放大倍率与所述缺陷尺寸相适应。
4.根据权利要求1至3任一项所述的检测方法，其特征在于，所述根据缺陷的尺寸，生成切换控制指令，将镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率的步骤具体包括：
确定所述缺陷的尺寸所在的预设尺寸范围；
根据所述预设尺寸范围，生成对应的切换控制指令；
将镜头切换至与所述预设尺寸范围对应的放大倍率。
5.根据权利要求4所述的检测方法，其特征在于，所述将镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率的步骤具体包括：
当所述缺陷的尺寸大于或等于100μm时，将镜头切换至5倍放大倍率；
当所述缺陷的尺寸大于20μm且小于100μm时，将镜头切换至10倍放大倍率；
当所述缺陷的尺寸小于或等于20μm时，将镜头切换至50倍放大倍率。
6.一种检测装置，用于检测阵列基板，其特征在于，包括光学扫描仪、镜头切换器和镜头，所述光学扫描仪用于扫描阵列基板的缺陷，确定所述缺陷的尺寸；所述镜头切换器用于根据所述缺陷的尺寸，生成切换控制指令，并根据切换控制指令控制所述镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率，并控制切换后的所述镜头拍摄所述缺陷。
7.根据权利要求6所述的检测装置，其特征在于，所述镜头切换器用于根据所述切换控制指令移动，带动所述镜头切换器上的与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率所对应的镜头移动至所述缺陷上方。
8.根据权利要求6所述的检测装置，其特征在于，所述镜头切换器用于根据所述切换控制指令调整所述镜头的放大倍率，使所述镜头的放大倍率与所述缺陷尺寸相适应。
9.根据权利要求6至8任一项所述的检测装置，其特征在于，所述镜头切换器具体包括：
尺寸范围确定单元，用于确定所述缺陷的尺寸所在的预设尺寸范围；
切换控制指令生成单元，用于根据所述预设尺寸范围，生成对应的切换控制指令；
放大倍率切换单元，用于将镜头切换至与所述预设尺寸范围对应的放大倍率。
10.根据权利要求9所述的检测装置，其特征在于，所述放大倍率切换单元进一步用于：
当所述缺陷的尺寸大于或等于100μm时，将镜头切换至5倍放大倍率；
当所述缺陷的尺寸大于20μm且小于100μm时，将镜头切换至10倍放大倍率；
当所述缺陷的尺寸小于或等于20μm时，将镜头切换至50倍放大倍率。
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