whirling armとは 意味・読み方・使い方

The sample stand is formed in a horizontal-loading type, and equipped with a first whirling arm allowing a spectrum to enter, at a required angle, the sample loaded on the horizontal surface of the sample stand, and a second whirling arm for receiving transmitted light or reflected light thereof.例文帳に追加

試料台を横置式として、さらに試料台の水平面に載せた試料に必要な角度で分光を入射できる第１の回転アームとその透過光或は反射光を受光する第２の回転アームとを備えた。 - 特許庁

Consequently, at the time of delivering a wafer 19 from a whirling arm 22 to a robot hand 18, such a case may occur that the advance of the robot hand 18 is not inhibited by the whirling arm 22.例文帳に追加

これによって旋回アーム２２からロボットハンド１８にウェハ１９を受渡すにあたって、ロボットハンド１８の進行を旋回アーム２２が阻害することがない場合がある。 - 特許庁

In this case, the wafer 19 held by the whirling arm 22 can be delivered to the robot hand 18 without shifting the wafer 19 from one hand to the other hand.例文帳に追加

この場合には、旋回アーム２２に保持されたウェハ１９を持ち替えることなく、ロボットハンド１８にウェハ１９を受渡すことができる。 - 特許庁

A whirling arm 40 carries a reticle mechanically place-corrected on a second pre-alignment stage 39 up to the place LP of a loading, and a reticle stage RST carries the reticle delivered from the whirling arm 40 at a specified place.例文帳に追加

旋回アーム４０は、第２プリアライメントステージ３９上で機械的に位置補正されたレチクルをローディング位置ＬＰまで搬送し、レチクルステージＲＳＴは旋回アーム４０から受け渡されたレチクルを所定位置に搬送する。 - 特許庁

When the reticle carried at the specified place is carried again; the place of the reticle is corrected by the whirling arm 40 on the basis of the result of a measurement when the reticle is carried precedently, and the measurement by the pre-alignment sensor 41 is omitted after the reticle is delivered from the whirling arm 40 to the reticle stage RST.例文帳に追加

所定位置に搬送されたレチクルを再度搬送する場合には、先にレチクルを搬送した時の計測結果に基づいて旋回アーム４０によりレチクルの位置補正を行い、旋回アーム４０からレチクルステージＲＳＴに受け渡した後のプリアライメントセンサ４１による計測を省略する。 - 特許庁

A reticle mark formed on the reticle is measured by using a pre-alignment sensor 41 before and after the reticle is delivered from the whirling arm 40 to the reticle stage RST in the case of the first carrying of the reticle.例文帳に追加

レチクルの第１回目の搬送時には、旋回アーム４０からレチクルステージＲＳＴに受け渡される前後でプリアライメントセンサ４１を用いてレチクルに形成されたレチクルマークを計測する。 - 特許庁

A control means 38 causes holding bodies 26 and 27 to hold a wafer 19 by angularly displacing a whirling arm 22 so that the holding bodies 26 and 27 and the notch 17 may be deviated relative to each other in the peripheral direction B.例文帳に追加

制御手段３８は、各保持体２６，２７とノッチ１７とが相互に周方向Ｂにずれるように旋回アーム２２を角変位させて、各保持体２６，２７によってウェハ１９を保持する。 - 特許庁