cusp magnetic fieldとは 意味・読み方・使い方

Since a cusp magnetic field is formed by a pair of coils 18, 24, a high density Ar ion beam IB can be obtained.例文帳に追加

さらに、一対のコイル１８、２４によってカスプ磁場を形成するので、高密度のＡｒのイオンビームＩＢを得ることができる。 - 特許庁

To increase uniformity in a plasma process by increasing a plasma confining effect by a cusp magnetic field over the whole circumference.例文帳に追加

周方向全体に渡ってカスプ磁場によるプラズマの閉じこめ効果を高めることでプラズマ処理の均一性を高める。 - 特許庁

The magnetic field generation member (coils 7, 8) applies a gradient magnetic field (for example, a cusp magnetic field shown by lines 9, 10 of magnetic flux) which gradually increases in magnetic field intensity from one surface of the catalyst member 4 to the other surface opposing to the one surface.例文帳に追加

磁場発生部材（コイル７、８）は、触媒部材４の一方表面から、当該一方表面と対向する他方表面に向けて、磁場強度が徐々に高くなる勾配磁場（たとえば磁束線９、１０で示されるカスプ磁場）を印加する。 - 特許庁

The silicon single crystal is manufactured by a Czochralski method of impressing a horizontal magnetic field of cusp magnetic field and when the single crystal under growth is dislocated, the dislocated single crystal is melted in the state of the absence of the magnetic field and thereafter again the magnetic field is impressed to the melt and the silicon single crystal is pulled up.例文帳に追加

水平磁場あるいはカスプ磁場を印加するチョクラルスキー法によりシリコン単結晶を製造し、育成中の単結晶が有転位化した場合に、有転位化した単結晶を無磁場の状態で溶解した後、再び磁場を印加してシリコン単結晶を引き上げる。 - 特許庁

To provide a surface treatment device which can maintain the periodicity of the point-cusp magnetic field as much as possible even on a circumferential edge part, reduce the asymmetry of the magnetic field distribution in an area with the periodicity of the circumferential edge part disturbed, maintain the symmetry of the point-cusp magnetic field without considerably changing the configuration of the device, and perform the uniform surface treatment.例文帳に追加

ポイントカスプ磁場の周期性を周縁部でも可能な限り維持し、周縁部の周期性が乱れる領域で磁場分布の非対称性を小さくし、装置構成に大きな変更を加えることなくポイントカスプ磁場の対称性を維持し、均一な表面処理を行うことができる表面処理装置を提供する。 - 特許庁

The ion implantation apparatus includes a mass spectrometry magnet 114, a power source 174 applying an electric field to a passage 139, and a magnetic apparatus 170 applying a multi-cusp magnetic field to the passage 139.例文帳に追加

本発明のイオン注入装置は、質量分析磁石114、通路139に電界を与えるパワー源174、及び通路139にマルチ−カスプド磁界を与える磁気装置170を含む。 - 特許庁

The device uses a cylindrical electrode as one in a plasma generating room opposed to a treatment substrate and arranges a magnetic field generating device at an atmosphere side for generating a point cusp magnetic field.例文帳に追加

本発明では、処理基板と対向するプラズマ発生室の電極に円筒型の電極を使用し，大気側にポイントカスプ磁場を発生する磁場発生装置を配置する。 - 特許庁

A magnetic field generators 1 and 2 which are arranged in the peripheral area of a vacuum container 3 to form a cusp magnetic face 9 in the vacuum container 3 and an antenna 7 are concentrically arranged.例文帳に追加

真空容器３の周域に配置され、真空容器３の中にカスプ磁気面９を形成する磁場発生器１，２と、アンテナ７とが同心状に配置されている。 - 特許庁