您现在的位置：中国传动网 > 技术频道 > 应用方案 > 【应用案例】半导体行业EtherCAT总线驱控一体转台应用

【应用案例】半导体行业EtherCAT总线驱控一体转台应用

时间：2023-08-22 09:38:29来源：广东凯福电子科技有限公司

导语：作为半导体制造工艺中的重要一环，单晶硅硅片制造工艺尤为重要。多晶硅片经过切片、倒角、研磨、表面处理、抛光、外延等不同工序加工后，表面已经受到严重的玷污，因此有一个很重要的工艺段便是清洗，其目的就是为了去除硅片表面颗粒、金属离子以及有机物等污染。

驱动器

　　作为半导体制造工艺中的重要一环，单晶硅硅片制造工艺尤为重要。多晶硅片经过切片、倒角、研磨、表面处理、抛光、外延等不同工序加工后，表面已经受到严重的玷污，因此有一个很重要的工艺段便是清洗，其目的就是为了去除硅片表面颗粒、金属离子以及有机物等污染。

　　凯福科技针对单晶硅片制造清洗工艺提出了SSDC集成式EtherCAT总线驱动器+YKW系列一体式转台的方案。具有尺寸更小，速度波动平稳等特点。

工艺流程图

驱动器

案例展示

驱动器

方案优势

驱控一体尺寸更小

驱动器

速度更稳

驱动器

-【End】-

广东凯福电子科技有限公司

电话：0769-23033384

传真：0769-22493047

官网: www.kaifull.net

地址：东莞市高埗镇高龙东路5号凯福科技园

分享到：

中国传动网版权与免责声明：凡本网注明[来源：中国传动网]的所有文字、图片、音视和视频文件，版权均为中国传动网(www.chuandong.com)独家所有。如需转载请与0755-82949061联系。任何媒体、网站或个人转载使用时须注明来源“中国传动网”，违反者本网将追究其法律责任。

本网转载并注明其他来源的稿件，均来自互联网或业内投稿人士，版权属于原版权人。转载请保留稿件来源及作者，禁止擅自篡改，违者自负版权法律责任。